한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR-PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구

Electrical properties of ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ thin film heat-treated in $O_2$ and $N_2$

  • 김일 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 김종석 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 안성덕 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 천성순 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • 발행 : 1994.05.01
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