AFM을 이용한 MOS(Metal-Oxide-Semiconductor) 구조에서의 터널링 특성

  • 맹경무 (서울대학교 전자공학과) ;
  • 이상민 (서울대학교 물리학과) ;
  • 박영준 (서울대학교 전자공학과) ;
  • 국양 (서울대학교 물리학과)
  • 발행 : 1994.06.01