Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Development of ICB Equibment and the Prepparation of Cu Film on Si Substrate for High Quality Laser Mirror

ICB 증착 장비 개발 및 이 장비를 이용한 Cu 박막 제작

  • 이지연 (한국과학기술연구원, 세라믹스부) ;
  • 김철호 (한국과학기술연구원, 세라믹스부) ;
  • 송석균 (한국과학기술연구원, 세라믹스부) ;
  • 한성남 (한국과학기술연구원, 세라믹스부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원, 세라믹스부) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원, 세라믹스부)
  • Published : 1994.02.01
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Abstract

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