Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Numerical Analysis of Ion Implantation in Amorphous chalcogenide Thin Film

  • 김민수 (광운대학교 공과대학 전자재료공학과) ;
  • 이현용 (광운대학교 공과대학 전자재료공학과) ;
  • 정홍배 (광운대학교 공과대학 전자재료공학과)
  • Published : 1994.02.01
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