대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1994년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1463-1465
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- 1994
ICBE 기법에 의한 저온 탄탈륨 산화막의 형성에 관한 연구
A Study on the Growth of Tantalum Oxide Films with Low Temperature by ICBE Technique
- 강호철 (고려대학교 전기공학과) ;
- 황상준 (고려대학교 전기공학과) ;
- 배원일 (고려대학교 전기공학과) ;
- 성만영 (고려대학교 전기공학과) ;
- 이동회 (수원대학교 전기공학과) ;
- 박성희 (호서대학교 전자공학과)
- Kang, Ho-Cheol (Dept. or Electrical Eng., Korea Univ.) ;
- Hwang, Sang-Jun (Dept. or Electrical Eng., Korea Univ.) ;
- Bae, Won-Il (Dept. or Electrical Eng., Korea Univ.) ;
- Sung, Man-Young (Dept. or Electrical Eng., Korea Univ.) ;
- Rhie, Dong-Hee (Dept or Electrical Eng., Suwon Univ.) ;
- Park, Sung-Hee (Dept. of Electronic Eng., Hoseo Univ.)
- 발행 : 1994.07.21
초록
The electrical characteristics of
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