Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of SOI wafers by wafer bonding

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

  • 강성건 (산업과학기술연구소 전자전기분야) ;
  • 서광 (산업과학기술연구소 전자전기분야) ;
  • 김흥락 (산업과학기술연구소 전자전기분야) ;
  • 류근걸 (산업과학기술연구소 전자전기분야)
  • Published : 1993.11.01
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Abstract

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