A study on the interfacial reaction of Si/Co/GaAs system used for ohmic contact to GaAs

GaAs계의 ohmic contact개발을 위한 Si/Co/GaAs계의 계면반응에 대한 연구

  • 곽준섭 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 신동원 (포항공과대학 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학 재료금속공학과) ;
  • 김창수 (한국표준과학연구원) ;
  • 노삼규 (한국표준과학연구원)
  • Published : 1993.11.01