Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

고온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에서 게이트 절연막에 관한 연구

  • 박원규 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 김홍규 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 양명수 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 장석필 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 여주천 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 이호영 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 김성철 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 임인곤 ((주) 금성사 안양연구소) ;
  • 소회섭 ((주) 금성사 안양연구소)
  • Published : 1993.07.01
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Abstract

Keywords