Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1993.07b
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- Pages.1271-1273
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- 1993
A Study on Planarized Formation of Inter-Level Dielectric Films by Laser CVD Method
Laser CVD법에 의한 평탄화 층간 절연막 형성에 관한 연구
- Lee, K.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Park, G.Y. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Lee, H.S. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Houng, S.H. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Huh, Y.J. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.) ;
- Sung, Y.K. (Dept. of Electrical Eng. Korea Univ.)
- 이계신 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 박근영 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 이한신 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 홍성훈 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 허윤종 (고려대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 성영권 (고려대학교 공과대학 전기공학과)
- Published : 1993.07.18
Abstract
Keywords