한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 1992년도 추계학술대회 논문집
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- Pages.123-127
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- 1992
$Co^{60}-{\gamma}$ ray을 조사시킨 MOS 구조에서의 I-V특성의 방사선 조사 효과
Radiation effects of I-V characteristics in MOS structure irradiated under $Co^{60}-{\gamma}$ ray
- Kwon, S.S. (Dept. of Electrical Eng., Chungbuk Nat‘l Univ.) ;
- Jeong, S.H. (Dept. of Electrical Eng., Chungbuk Nat‘l Univ.) ;
- Lim, K.J. (Dept. of Electrical Eng., Chungbuk Nat‘l Univ.) ;
- Ryu, B.H. (KINS) ;
- Kim, B.H. (Dept. of Electrical Eng., Hanyang Univ.)
- 발행 : 1992.11.07
초록
MOS 커패시터가 이온화 방사선에 노출되었을 경우, MOS 커패시터의 방사선 조사 효과는 소자의 전기적 특성 및 동작 수명에 심각한 영향을 일으킬 수 있다. MOS 커패시터는 (100) 방향의 P-type Si wafer 위에 산화막층을
When MOS devices is exposed to radiation, radiation effects of P-type MOS capacitor can cause modulation and/or degradation in devices characteristics and its operating life. The oxide layer is grown in
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