Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Using Focused Ion Beams for Testing Microstructure Isolation and Continuity

이온빔 접속장치에 의한 회로단선 추적기술

  • 김호정 (현대전자(주) 반도체연구소) ;
  • 김정태 (현대전자(주) 반도체연구소) ;
  • 최수한 (현대전자(주) 반도체연구소)
  • Published : 1992.05.01
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Abstract

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