한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Sub-halfmicron 급 소자분리를 위한 SIROX Isolation의 물리적, 전기적 특성 고찰

The Physical and Electrical Properties of SIROX Method for Sub-halfmicron Isolation

  • 반천수 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김윤기 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김용배 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 김병렬 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 이문용 (삼성전자(주)반도체부문) ;
  • 이종길 (삼성전자(주)반도체부문)
  • 발행 : 1992.05.01
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