Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

S$F_6$ 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 식각

  • 박상규 (포항공과대학 화학공학과 반도체 재료공정 연구실) ;
  • 김태영 (포항공과대학 화학공학과 반도체 재료공정 연구실) ;
  • 서성우 (포항공과대학 화학공학과 반도체 재료공정 연구실) ;
  • 이시우 (포항공과대학 화학공학과 반도체 재료공정 연구실)
  • Published : 1992.07.01
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Abstract

Keywords