Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1992.07a
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- Pages.38-38
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- 1992
Theoretical Consideration of Amorpphization by Solid State Reaction and Crystalline pphase Formation in Multilayer Thin Film Diffusion Coupple
다층박막확산쌍에서의 고상반응에 의한 비정질상 및 결정상 생성에 관한 이론적 고찰
Abstract
Keywords