Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

진공계에 대한 화학 세척의 효과

  • 유선일 (포항 공과대학 물리학과) ;
  • 이성수 (포항 공과대학 물리학과) ;
  • 정진욱 (포항 공과대학 물리학과) ;
  • 정석민 (포항 공과대학 물리학과)
  • Published : 1992.02.01
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