Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Cryoppumpp 및 conflat Al gasket을 이용한 극고진공 도달 및 Al 2024 conflat flange gasket의 특성

  • 이철로 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 임재영 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 박재홍 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 홍승수 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원, 진공연구실) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원, 진공연구실)
  • Published : 1992.02.01
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Abstract

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