저압 수은 방전에서의 근사화한 충돌 단면적을 사용한 전자 에너지 분포함수 해석

The analysis of electron energy distribution function using the approximated collision cross section in the low-pressure mercury discharge

  • 류명선 (서울대학교 공과대학 전기공학과) ;
  • 이진우 (서울대학교 공과대학 전기공학과) ;
  • 지철근 (서울대학교 공과대학 전기공학과)
  • 발행 : 1989.10.01

초록

The electron energy distribution function in mercury discharge positive columns are calculated numerically from the Boltzmann eqation under a set of parameters, such as the electron temperature to. the atomic temperature Tw. the electron number density no. and the electric field E. Especially, using the approximation that collision cross sections only depend on the energy, the calculated electron energy distribution function was shown that it falls off rapidly in the high energy tail.

키워드