Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1982.07a
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- Pages.211-213
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- 1982
풀라즈마 양극산화법에 의한 $Al_{2}O_{3}$ /Inp 게이트절연막을가진 Inp MISFET의 제작
Abstract
Keywords