• 제목/요약/키워드: x-y-z 스테이지

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콘포컬 레이저 현미경을 이용한 불연속면의 거칠기 측정 연구 (A Study of Roughness Measurement of Rock Discontinuities Using a Confocal Laser Scanning Microscope)

  • Byung Gon Chae;Jae Yong Song;Gyo Cheol Jeong
    • 지질공학
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    • 제12권4호
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    • pp.405-419
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    • 2002
  • 새롭게 개발된 레이저 콘포컬 현미경을 이용해 암석 불연속면의 거칠기를 측정하였다. 레이저의 파장은 488 nm이며, 현미경은 두 개의 galvano-meter scanner mirror를 이용한 광 편광법에 의해 제어된다. 레이저 반사를 통한 자동 초점기능은 관찰대상을 빠르고 정확하게 측정할 수 있다. 이 현미경은 기존의 다른 콘포컬 현미경에 비해 광축방향의 해상도를 크게 개선하였고, 특수 제작한 현미경 스테이지를 이용해 최대 $10{\;}{\times}{\;}10{\;}cm$ 까지 크기의 시료를 측정할 수 있다. 측정간격은 x와 y 방향으로 $2.5{\;}\mu\textrm{m}$씩이며, z방향의 최대 측정해상도는 $10{\;}\mu\textrm{m}$로서, 다른 방범에 비해 훨씬 정확하다. 조립질과 세립질의 입도가 다른 화강암을 대상으로 인장시험(Brazilian test)를 통해 인공절리를 생성시켰고, 생성된 좌우의 절리면에 각각 3개씩의 측선을 설정하였다. 각 측선을 따라 측정한 높이는 1차원은 물론 거칠기의 세밀한 양상을 보여주는 2차원과 3차원의 디지털 이미지로 표현된다. 조립질 화강암의 1차원 단면은 세립질보다 불연속면의 기복이 더 심함을 잘 보여준다. 거칠기를 정량적으로 특성화하고 거칠기를 구성하는 성분 중 가장 큰 영향을 미치는 성분을 파악하기 위해 고속퓨리에 변환 (FFT)를 이용한 스펙트럼 분석을 실시하였다. 스펙트럼 분석결과 저주파 성분이 큰 시효의 경우 거칠기의 기복변화가 심하고 긴 파장을 나타내는 경향이 있음을 구명하였다.

광소자 정렬용 극초정밀 다축 스테이지의 구동 메커니즘에 관한 연구 (A Study on the Motion Mechanism of Multi-Axis Ultra Precision Stage for Optical Element Alignment)

  • 정상화;김광호;차경래;이경형;송석
    • 한국공작기계학회논문집
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    • 제15권1호
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    • pp.8-16
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    • 2006
  • The communication through optical fiber is taking an important role of the expansion of communication network with excellent transmitting rate and quality. As the optical communication is introduced to the backbone network at first and becomes a general communication method of network, the demand of kernel parts of optical communication such as PLC(Planar Light Circuit), Coupler, and WDM(Wavelength Division Multiplexing) element increases. The alignment and the attachment technology are very important in the fabrication of optical elements. In this paper, the driving mechanism of ultra precision stage is studied with the aim of optimal design of stage. The travel and the resolution of stage are investigated. The hysteresis of the stage is generated because of PZT actuator. The hysteresis and the inverse hysteresis are modeled in X, Y, and Z-axis motion. The input data of desired displacement of the stage according to input voltage is obtained from the inverse hysteresis equation. In the result of experiments with the input data, the errors due to hysteresis are well compensated.

초정밀 광소자 정렬 스테이지의 구동 특성에 관한 연구 (A Study on the Motion Characteristics of Ultra Precision Optical Element Alignment Stage)

  • 정상화;차경래;김현욱;최석봉;김광호;박준호
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.81-86
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    • 2005
  • As the optical communication is introduced to the backbone network at first and becomes a general communication method of network, the demand of kernel parts of optical communication such as PLC(Planar Light Circuit), Coupler, and WDM(Wavelength Division Multiplexing) element increases. The alignment and the attachment technology are very important in the fabrication of optical elements. In this paper, the driving mechanism of ultra precision stage is studied with the aim of optimal design of stage. The travel and the resolution of stage are investigated. The hysteresis of the stage is generated because of PZT actuator. The hysteresis and the inverse hysteresis are modeled in X, Y, and Z-axis motion. The input data of desired displacement to the stage according to input voltage is obtained from the inverse hysteresis equation. In the result of experiments with the input data, the errors due to hysteresis are well compensated.

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Polymethyl methacrylate (PMMA)의 마이크로 채널 형성을 위한 레이저의 직접식각 (Direct Etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) for Microchannels)

  • 신성권;최영진;이천
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2007년도 제38회 하계학술대회
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    • pp.286-287
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    • 2007
  • 본 논문에서는 최근 유체소자 재료로써 많이 사용되고 있는 polymethyl methacrylate (PMMA)의 레이저 직접식각에 관한 특성을 나타내었다. 식각을 위한 레이저 원으로 기본파가 1064 nm, 반복율이 10 Hz인 Nd:YAG 레이저의 4고조파 성분 ($\lambda$=266 nm)을 사용하였다. X-Y-Z 축으로 이동 가능한 스테이지의 수평 이동속도를 변화시키며, 표면으로 조사되는 펄스 수를 제어하였다. 식각 후 광학현미경으로 식각 단면을 조사하여 식각 깊이와 폭을 측정하였다. 측정된 식각 깊이로부터 식각률을 계산하고, 그 값과 레이저 빔 밀도와의 관계를 알아보았다. 그 결과 시료 표면에 조사되는 레이저 빔 밀도의 로그값과 선형적인 관계를 갖는 것을 확인할 수 있었다. 또한 주사전자현미경을 이용하여 채널 형상 및 채널 내벽을 관찰하였다. 마이크로 채널 내벽에 식각 과정에서 발생한 생성물의 제거를 위해, 레이저 식각과 함께 질소가스 블로잉을 해주었다. 질소 블로잉 압력 1500 torr에서 식각 잔유물이 제거된 내벽을 볼 수 있었다. 실험결과, Nd:YAG 4고조파를 이용하여 PMMA 기판상에 유체 이동을 위한 마이크로 채널을 형성시킬 수 있었다.

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신증후군 환아에서 스테로이드 유발 대사성 골질환에 대한 Alendronate의 치료 효과 (Therapeutic Efficacy of Alendronate for Glucocorticoid Induced Metabolic Bone Disease in Children with Nephrotic Syndrome)

  • 이지은;이현옥;백경훈;이숙향;진동규
    • Childhood Kidney Diseases
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    • 제8권1호
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    • pp.33-42
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    • 2004
  • 목 적 : 소아 신증후군에서 스테로이드 장기투여에 따른 대사성 골질환은 흔한 합병증 중의 하나이다. 저자들은 성인에서의 스테로이드 유발성 골다공증 치료에 유효한 bisphosphonate(alendronate)를 투여하여 소아 신증후군에서 스테로이드 유발 대사성 골질환에 대한 치료효과에 대해 전향적으로 평가하고자 하였다. 방 법 : 신증후군 이환 기간이 2년된 5-8세의 환자 58명에게 DEXA로 골밀도를 측정하여 요추 골밀도가 Z-score -1 이하인 환아 30명(51.7%)을 대상으로 선정한 후 이들을 alendronate 주 1회 투여군, calcitriol 투여군, 약제 비투여군등의 세 군으로 분류하여 1년간 연구하였다. 치료 6개월, 1년에 요추 L1-L4 골밀도를 측정하였고 치료 전과 치료 1년 후 생화학적 검사를 측정하였다. 각 군간 평균 연령, 기저 요추 골밀도, 스테로이드 축적량, 골밀도% 변화율, 요추 골밀도 Z-score를 측정 분석하였다. 결 과 : 총 30명 환자에서 기본 요추 골밀도 측정시 환아의 나이는 $7.4{\pm}1.7$세였고 신증후군 이환기간은 $2.2{\pm}1.2$년이었다. Z-score로 진단된 골밀도 감소증은 23명(76.7%), 골다공증은 7명(23.3%)이었다. 각 생화학적 변수들은 치료 전후로 차이가 없었으며, 군 간에도 유의한 차이가 없었다(P>0.05). 빈번 재발형 신증후군과 스테로이드 의존형 신증후군은 22명(73.3%)으로 드문 재발형 신증후군 8명(26.6%)에 비해 대사성 골질환의 빈도가 높았다. 골밀도 변화율은 alendronate 군에서 치료 1년에 8.56%였고, calcitriol군은 5.79% 증가를 보였으며, 비투여군은 1.9%증가를 보였다. Z-socre 변화는 alendronate 군과 calcitriol 군에서만 호전되었고, 비투여군에서는 감소하였다. 골밀도 증가율은 각 군간 유의한 차이를 보였지만(P=0.0002), alendronate 군과 비투여군, calcitriol 군과 비투여군 간에 있었고(P<0.05), alendronate 군과 calcitriol 군간에는 유의한 차이가 없었다. Alendronate 투여시 약복용을 중단할 만큼의 심각한 부작용은 발현되지 않았다. 결 론 : 소아 신증후군 환자에서 고용량의 스테로이드를 투여해야 하는 경우 대사성 골질환의 발생 위험이 높기 때문에 정기적인 골밀도 측정이 필요하며, 그 평가 도구로는 요추 골밀도 Z-score가 유용함을 알 수 있었다. 또한 신증후군 환아의 스테로이드 유발 대사성 골질환에서 alendronate 주 1회 경구투여는 요추 골밀도를 증가시키는 효과적인 치료법이었다.

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이차전지로 구동하기 위한 다른 발진 특성을 나타내는 조명용 광양자테 소자 개발 (Development of Photonic Quantum Ring Device with Different Oscillation Characteristics for Driving with Secondary Battery)

  • 김경보;이종필;김무진
    • 디지털융복합연구
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    • 제19권11호
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    • pp.341-349
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    • 2021
  • 최근 조명 산업이 중요한 분야로 인식되면서 PQR (Photonic Quantum Ring) 소자는 LED(Light Emitting Diode)를 대체할 수 있는 차세대 광원이 될 전망이다. 본 연구에서는 기존 연구와 유사한 결과를 검증하고, 소자의 광특성을 분석하기 위해 광섬유가 연결된 스테이지에 x, y, z 좌표를 입력하면 자동으로 이동하며, 또한, 소자에 광섬유를 근접시키는 NSOM (Near field scanning optical microscopy) 장치를 추가한 측정 시스템을 이용하여 소자의 광특성 실험과 공진 및 어레이 소자의 광특성 시뮬레이션을 통해 조명용 소자로 가능성을 검증하고자 하였다. 이를 위해 메사와 홀 형태가 동시에 존재하는 메사 직경 40㎛, 홀 직경 3㎛의 소자를 제작하여 소자의 근접장으로 PQR 소자는 ㎂에서 동작하며, 메사와 홀 소자는 서로 독립적으로 구동됨을 관찰하였다. 위치에 따른 소자의 광파장 스펙트럼을 측정하여 메사와 홀 소자에 의한 커플링 현상을 처음으로 확인하였다.

천식 환아에서 흡입용 스테로이드의 사용이 골밀도와 골대사에 미치는 영향 (Effects of inhaled corticosteroids on bone mineral density and bone metabolism in children with asthma)

  • 최익선;변정혜;이승민;라경숙;오연정;유영;이기형;정지태
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • 제52권7호
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    • pp.811-817
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    • 2009
  • 목 적 : 소아 천식에서 흡입용 스테로이드의 장기간 사용이 골밀도와 골대사에 미치는 영향에 대해 알아보고자 하였다. 방 법 : 고려대학교 안암병원 소아청소년과에서 천식으로 진단되어 최소 6개월 이상 ICS를 사용 중인 만 6세에서 12세 사이의 환아(ICS군: 26명)를 대상으로 하였다. 대조군으로 연령 및 성별이 일치하면서 LTRA만을 사용한 천식 환아(LTRA군: 15명)와 골밀도에 영향을 미칠 만한 기저 질환이 없는 정상 소아(정상군: 30명)를 선정하여 이중 에너지 X-선 흡수법으로 요추와 대퇴골 상부에서 골밀도를 측정하고, 골대사에 대한 영향은 혈청 골-특이 알칼리인산효소(BALP)를 측정하여 평가하였다. 결 과 : ICS군의 요추 골밀도는 $0.57{\pm}0.07g/cm^2$으로 LTRA군($0.55{\pm}0.06g/cm^2$) 및 정상군($0.58{\pm}0.07g/cm^2$)과 유의한 차이를 보이지 않았고(P=0.254), 대퇴골 상부의 골밀도도 ICS군에서 $0.70{\pm}0.07g/cm^2$로 LTRA군($0.66{\pm}0.06g/cm^2$)및 정상군($0.70{\pm}0.07g/cm^2$)과 유의한 차이가 없었다(P=0.297). 골밀도 Z-점수 또한 세 군에서 유의한 차이를 보이지 않았다(요추: ICS군 $-0.22{\pm}0.78$ vs. LTRA군 $-0.16{\pm}0.47$ vs. 정상군 $-0.19{\pm}0.83$, P=0.963; 대퇴골 상부: ICS 군 $-0.12{\pm}0.93$ vs. LTRA군 $0.16{\pm}0.59$ vs. 정상군 $-0.04{\pm}0.67$, P=0.560). 혈청 BALP 농도는 ICS군과 LTRA군에서 정상군에 비해 유의하게 높은 소견을 보였다(P=0.021). ICS군에서 ICS의 최근 6개월간 사용량, 총 축적 용량, 사용 기간, 투여 시작 연령과 골밀도 Z-점수는 유의한 상관관계를 보이지 않았다(모두 P>0.05). 결 론 : 천식 환아에서 저용량의 ICS 사용은 골밀도에 유의한 영향을 미치지 않음을 확인하여, ICS의 부작용에 대한 과도한 우려를 막고 치료 순응도를 높이는데 도움이 될 것으로 생각한다.