• 제목/요약/키워드: vacuum evaporation

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$In_2Se_3$$Cu_2Se$를 이용한 $CuInSe_2$박막제조 및 특성분석 (Fabrication and Characterization of $CuInSe_2$Thin Films from $In_2Se_3$ and$Cu_2Se$Precursors)

  • 허경재;권세한;송진수;안병태
    • 한국재료학회지
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    • 제5권8호
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    • pp.988-996
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    • 1995
  • CdS/CuInSe$_2$태양전지의 광흡수층인 CuInSe$_2$박막을 In$_2$Se$_3$와 Cu$_2$Se 이원화합물을 precursor로 하여 진공증발법으로 제조하였고 특성을 분석하였다. 먼저 유리기판위에 0.5$\mu\textrm{m}$ 두께의 In$_2$Se$_3$를 susceptor온도를 변화시켜가면서 증착한 결과 40$0^{\circ}C$에서 가장 평탄하고 치밀한 박막이 형성되었다. 그 위에 Cu$_2$Se$_3$를 진공증발시켜 증착함으로써 in-situ로 CuInSe$_2$박막을 형성시키고 In$_2$Se$_3$를 추가로 증발시켜 CuInSe$_2$박막내에 존재하는 제 2상인 Cu$_2$Se를 제거시켰다. 이 경우 susceptor온도가 $700^{\circ}C$ 일때 미세구조가 가장 좋은 CuInSe$_2$박막이 형성되었으며 약 1.2$\mu\textrm{m}$ 두께에서 약 2$\mu\textrm{m}$의 결정립크기와 (112) 우선배향성을 가졌다. 추가 In$_2$Se$_3$양이 증가함에 따라 CuInSe$_2$박막의 조성편차보상으로 hole 농도가 감소하고 전기 비저항이 증가하였고, optical bandgap은 거의 일정한 값인 1.04eV의 값을 가졌다. Mo/유리기판 위에 증착한 CuInSe$_2$박막도 유리기판 위에 증착한 박막과 비슷한 미세구조를 가졌으며, 이 박막을 토대로 ZnO/CdS/CuInSe$_2$/Mo 구조를 갖는 태양전지 구현이 가능할 것으로 생각된다.

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폴리이미드 패시베이션과 폴리비닐알콜 패시베이션 레이어 성막이 고성능 유기박막 트렌지스터에 주는 영향 (Effects of Polyimide Passivation Layers and polyvinylalcohol Passivation Layers for Organic Thin-Film Transistors(OTFTs))

  • 박일흥;형건우;최학범;황선욱;김영관
    • 한국진공학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.195-198
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    • 2008
  • 이 논문에서 무기 게이트 인슐레이터 위에 Polyimide 유기 점착층을 성형하여, 고성능의 유기 박막 트렌지스터(OTFT)소자를 제작한 후 450 nm 두께로 폴리이미드를 Vapor deposition polymerization (VDP)방법을 사용하여 패시베이션하였다. 이때 폴리이미드성막을 위해, 스핀코팅 방법 대신 VDP 방법 도입하였다. 이 폴리이미드 고분자막은 2,2 bis(3,4-dicarboxyphenyl) hexafluoropropane dianhydride (6FDA)와 4,4‘-oxydianiline(ODA)을 고진공에서 동시에 열증착 시킨 후, $170^{\circ}C$에서 2시간 열처리하여 고분자화 된 막을 형성하였다. 다른 종류의 유기 패시베이션 막이 소자에 주는 영향을 비교 분석하기 위해, 450 nm 두께로 스핀코팅법을 이용하여 폴리비닐알콜 패시베이션 막을 형성하였다. 이 두 가지 패시베이션 막 형성법이 소자의 문턱전압과, 전하이동도에 주는 영향을 전기적 특성을 통해 변화를 확실히 볼 수 있었다. 최초 유기 박막 트렌지스터의 전기적 특성은 문턱전압, 점멸비, 그리고 정공의 이동도는 각각, -3 V, 약 $10^6$ 그리고, $0.24cm^2$/Vs 이 측정되었고. 폴리이미드를 사용하여 패시베이션 후 특성이 각각 0 V, 약 $10^6$ 그리고, $0.26cm^2/Vs$, 폴리비닐알콜 패시베이션 경우는 특성이 각각, 문턱전압의 경우 0 V에서 +2 V로, 점멸비는 $10^6$에서 $10^5$으로 전계효과이동도는 $0.13cm^2/Vs$ 에서 $0.13cm^2/Vs$로 변화하였다.

Enhancement of Magneto-Optical Kerr Effect in Annealed Granular Films of Co-Au and $Co-AlO_x$

  • Abe, Masanori;Takeda, Eishi;Kitamoto, Yoshitaka;Shirasaki, Fumio;Todoroki, Norikazu;Gorodetzky, Gad;Ohnuma, Shigehiro;Masumoto, Tasuku;Inoue, Mitsuteru
    • The Korean Journal of Ceramics
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    • 제6권2호
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    • pp.100-102
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    • 2000
  • Co fine particles were dispersed in Au metal and $AlO_x$ amorphous matrices by vacuum evaporation and rf-sputtering, respectively, thus forming granular composite films having chemical compositions of $Co_{0.59}-Au_{0.41}$ and $Co_{0.52}/(AlO_x$)_{0.48}$. The films were annealed at 200~$500^{\circ}C$ to increase the size of the Co particles, from 30$\AA$ to 180$\AA$ in the Au matrix and 40$\AA$ to 180$\AA$ in the $AlO_x$ matrix, as revealed by X-ray diffraction analysis. The Co metal in as-deposited films have saturation magnetization equivalent to that of bulk Co, which is unchanged by the annealing, showing that the Co metal is not oxidized by the annealing. Magneto-optical Kerr rotation measured at $\lambda$=400-900nm for the $Co_{0.59}-Au_{0.41}$ film as deposited is larger than that calculated for the composition. The rotation increases as the film is annealed at $200^{\circ}C$ and $300^{\circ}C$, approaching to that of bulk Co. The Kerr rotation for the $Co_{0.52}-(AlO_x)_{0.48}$ film as deposited is smaller than that calculated for the composition based on Bruggeman effective medium theory. However, the rotation increases much, exceeding the rotation of the bulk Co as annealed at $300^{\circ}C$ and $400^{\circ}C$. As a possible origin of the marked magneto-optical enhancement a weak localization of light in granular structure is suggested.

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형광체 기반 X선 광 변조기를 위한 비정질 셀레늄 필름 특성 (Characterization of the a-Se Film for Phosphor based X-ray light Modulator)

  • 강상식;박지군;조성호;차병열;신정욱;이건환;문치웅;남상희
    • 대한의용생체공학회:의공학회지
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    • 제28권2호
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    • pp.306-309
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    • 2007
  • PXLM(Phosphor based x-ray light modulator) has a combined structure by phosphor, photoconductor, and liquid crystal and it can realize x-ray image of high resolution in clinical diagnosis area. In this study, we fabricated a photoconductor and investigated electrical and optical properties to confirm application possibility of radiator detector of PXLM structure. As photoconductor, amorphous selenium(a-Se), which is used most in DR(Digital radiography) of direct conversion method, was used and for formation of thin film, it was formed as $20{\mu}m-thick$ by using thermal vacuum evaporation system. For a produced a-Se film, through XRD(X-ray diffraction) and SEM(Scanning electron microscope), we investigated that amorphous structure was uniformly established and through optical measurement, for visible light of 40 $0\sim630nm$, it had absorption efficiency of 95 % and more. After fabricated a-Se film on the top of ITP substrate, hybrid structure was manufactured through forming $Gd_2O_3:Eu$ phosphor of $270{\mu}m-thick$ on the bottom of the substrate. As the result to confirm electrical property of the manufactured hybrid structure, in the case of appling $10V/{\mu}m$, leakage current of $2.5nA/cm^2$ and x-ray sensitivity of $7.31nC/cm^2/mR$ were investigated. Finally, we manufactured PXLM structure combined with hybrid structure and liquid crystal cell of TN(Twisted nematic) mode and then, investigated T-V(Transmission vs. voltage) curve of external light source for induced x-ray energy. PXLM structure showed a similar optical response with T-V curve that common TN mode liquid crystal cell showed according to electric field increase and in appling $50\sim100V$, it showed linear transmission efficiency of $12\sim18%$. This result suggested an application possibility of PXLM structure as radiation detector.

X선 영상센서 적용을 위한 광도전체 필름의 전기적 응답특성 연구 (A study on electrical response property of photoconductor film for x-ray imaging sensor)

  • 강상식;김찬욱;이미현;이광옥;문용수;안성아;노시철;박지군
    • 한국방사선학회논문지
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    • 제3권4호
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    • pp.29-33
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    • 2009
  • 최근 디지털 방사선 영상획득을 위한 평판형 X선 검출기에 이용되는 광도전체(a-Se, $HgI_2$, PbO, CdTe, $PbI_2$ 등)에 대한 관심이 증대되고 있다. 본 연구에서는 $HgI_2$ 와 a-Se 필름 변환체에 대해 X선에 대한 전기적 신호검출 특성을 조사하였다. 수백 마이크로의 두꺼운 광도전체 필름 제작을 위해 $HgI_2$는 입자침전방법을 이용하였고, a-Se은 종래의 진공열증착법을 이용하였다. 제작된 시편에 대한 전기적 특성 실험은 누설전류, 신호응답 특성, 민감도 등을 측정하였다. 실험결과로부터, $HgI_2$는 상용화된 a-Se에 비해 낮은 동작전압특성과 우수한 신호 발생율을 보임을 알 수 있었다.

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Tumorigenic Effects of Endocrine-disrupting Chemicals are Alleviated by Licorice (Glycyrrhiza glabra) Root Extract through Suppression of AhR Expression in Mammalian Cells

  • Chu, Xiao Ting;de la Cruz, Joseph;Hwang, Seong Gu;Hong, Heeok
    • Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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    • 제15권12호
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    • pp.4809-4813
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    • 2014
  • Endocrine-disrupting chemicals (EDCs) have been reported to interfere with estrogen signaling. Exposure to these chemicals decreases the immune response and causes a wide range of diseases in animals and humans. Recently, many studies showed that licorice (Glycyrrhiza glabra) root extract (LRE) commonly called "gamcho" in Korea exhibits antioxidative, chemoprotective, and detoxifying properties. This study aimed to investigate the mechanism of action of LRE and to determine if and how LRE can alleviate the toxicity of EDCs. LRE was prepared by vacuum evaporation and freeze-drying after homogenization of licorice root powder that was soaked in 80% ethanol for 72 h. We used 2,3,7,8-tetrachlorodibenzo-p-dioxin (TCDD) as a representative EDC, which is known to induce tumors or cancers; MCF-7 breast cancer cells, used as a tumor model, were treated with TCDD and various concentrations of LRE (0, 50, 100, 200, $400{\mu}g/mL$) for 24, 48, and 72 h. As a result, TCDD stimulated MCF-7 cell proliferation, but LRE significantly inhibited TCDD-induced MCF-7 cell proliferation in a dose- and time-dependent manner. The expression of TCDD toxicity-related genes, i.e., aryl hydrocarbon receptor (AhR), AhR nuclear translocator, and cytochrome P450 1A1, was also down-regulated by LRE in a dose-dependent manner. Analysis of cell cycle distribution after treatment of MCF-7 cells with TCDD showed that LRE inhibited the proliferation of MCF-7 cells via G2/M phase arrest. Reverse transcription-polymerase chain reaction and Western blot analysis also revealed that LRE dose-dependently increased the expression of the tumor suppressor genes p53 and p27 and down-regulated the expression of cell cycle-related genes. These data suggest that LRE can mitigate the tumorigenic effects of TCDD in breast cancer cells by suppression of AhR expression and cell cycle arrest. Thus, LRE can be used as a potential toxicity-alleviating agent against EDC-mediated diseases.

음식물류폐기물의 건식사료화 공정에서 발생되는 응축수로부터 유기탄소 추출 (Extraction of organic carbon from the condensate of food waste dry feed process)

  • 김민경;권기욱;모경;최봉호;박세용;김문일
    • 유기물자원화
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    • 제28권2호
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    • pp.41-48
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    • 2020
  • 본 연구에서는 음식물류폐기물 건조공정에서 발생하는 응축수에 포함된 유기탄소를 추출하여 외부탄소원으로서 적용 가능성을 평가하였다. 응축수의 성상은 COD, TN, TP 및 TS는 각각 21,374 (±3,238.3) mg/L, 148 (±32.6) mg/L, 4.19 (±1.5) mg/L, 455.7 (±0.015) mg/L로 나타났으며, 응축수에 포함된 생분해성 유기물의 함량은 47%였다. 응축수에 포함된 유기탄소 추출을 위하여 증발 농축 및 감압 증발 농축의 방법을 사용하였다. 본 연구에서 총 8가지 조건에서 수행 되었으나, 4가지 조건 (1. 상압 (0mmHg), 110℃ 2. 감압 (-600mmHg), 70℃ 3. 감압 (-500mmHg), 80℃ 4. 감압(-600mmHg), 80℃)에서 추출이 가능한 것으로 나타났다. 추출 결과, 추출된 4가지 조건 모두에서 유입 부피의 약 10% 추출하였을 때, 추출물의 유기물 농도가 가장 높고 추출 시간 대비 추출된 유기물의 양이 가장 많은 것으로 나타났다. 응축수에 포함된 유기탄소의 추출 최적 조건은 감압 (-600mmHg), 80℃로 판단하였으며, 유입 부피의 10% 추출이 적합한 것으로 평가하였다. 이때, 추출 농도, 추출량, 추출 효율, 추출시간, BOD/TCOD, TVFAs/TCOD의 비율 및 NH3-N의 값은 각각 174,200 mg/L, 8,710 mg, 46%, 10분, 0.97, 0.74, 75.5 mg/L로 나타났다. 따라서, 추출된 유기탄소는 외부탄소원으로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.

$Alq_3$-C545T시스템을 이용한 고성능 녹색 유기발광다이오드의 제작과 특성 평가 (Fabrication and Characterization of High Performance Green OLEDs using $Alq_3$-C545T Systems)

  • 장지근;김희원;신세진;강의정;안종명;임용규
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제13권1호통권38호
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    • pp.51-55
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    • 2006
  • [ $Alq_3$ ]-C545T 형광 시스템을 이용하여 녹색 발광 고성능 OLED를 제작하고 그 특성을 평가하였다. 소자 제작에서 ITO(Indium Tin Oxide)/glass 위에 정공 주입층으로 2-TNATA [4,4',4'-tris(2-naphthyl-phenyl-phenylamino)-triphenylamine]를, 정공수송층으로 NPB [N,N-bis(1-naphthyl)- N,N'-diphenyl-1,1'-biphenyl-4,4-diamine]를 진공 증착하였다. 녹색 발광층으로는 $Ahq_3$를 호스트로, 545T [10-(2-benzo-thiazolyl)-1,1,7,7-tetramethyl-2,3,6,7-tetrahydro-1H,5H,11H-[1]/benzopyrano[6,7,8-ij]-quinolizin-11-one]를 도펀트로 사용하였다. 또한, 전자 수송층으로는 $Alq_3$를 전자 주입층으로는 LiF를 사용하여 ITO/2-TNATA/NPB/$Alq_3$:C-545T/$Alq_3$/LiF/Al 구조의 저분자 OLED를 제작하였다. 본 실험에서 제작된 녹색 OLED는 521 nm의 중심 발광 파장을 가지며, CIE(0.29, 0.65)의 색순도, 그리고 12V의 동작전압에서 7.3 lm/W의 최대 전력효율을 나타내었다.

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이종접합 박막태양전지 흡광층 CdTe 박막의 화학적기계적연마 특성 연구 (Study on chemical mechanical polishing characteristics of CdTe thin film absorption-layer for heterojunction thin film solar cell)

  • 박주선;임채현;류승한;김남훈;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.49-49
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    • 2009
  • 최근 범세계적인 그린에너지 정책에 관련해 화석연료를 대체할 수 있는 수소, 풍력, 태양광 등의 대체 에너지에 대한 관심이 고조되고 있다. 이러한 여러 대체에너지 중에서도 태양광을 전기에너지로 변환하는 태양전지에 관한 연구가 집중되고 있다. 태양전지는 구조적으로 단순하고 제조 공정도 비교적 간단하지만, 보다 널리 보급되기 위해서는 경제성 향상이라는 문제점을 해결해야 한다. 이를 위해서는 기존의 실리콘 태양전지를 대체할 수 있는 신물질에 대한 연구가 필요하며, 그 중에서도 반도체 기술을 이용한 박막형 태양전지는 기존의 실리콘 태양 전지가 가지고 있는 고비용이라는 문제점을 극복할 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다. 박막형 태양전지의 박막 재료로는 CIGS, CdTe 등이 연구되어지고 있지만, 아직까지는 기존의 실리콘 태양전지에 비해 에너지변환효율이 낮은 이유로 인해 실용화가 많이 이루어지지 못하고 있는 것이 사실이다. 이러한 박막형 태양전지의 재료들 중에서도 CdTe는 이종접합 박막형 태양전지에 흡광층으로 사용되는 것으로 상온에서 1.45eV 정도의 밴드갭(band gap) 에너지를 갖는 II-VI족 화합물반도체로써 태양광 스펙트럼과 잘 맞는 이상적인 밴드랩 에너지와 높은 광흡수도 때문에 박막형 태양전지로 가장 주목을 받고 있다. CdTe 박막의 제조 방법으로는 진공증착법(vacuum evaporation), 전착법(electrodeposition), 스퍼터링법(sputtering) 등이 있지만 본 연구에서는 스퍼터링법을 이용하여 박막을 증착하였다. 이상과 같이 증착된 CdTe 박막을 화학적기계적연마(CMP, chemical mechanical polishing) 공정을 적용시킴으로써, 태양전지의 에너지변환효율에 직접적인 영향을 끼칠 수 있는 CdTe 박막의 물리적, 전기적 특성들의 변화를 연구하기 위한 선행 연구를 진행하였다. 특히 본 연구에서는 CdTe 박막의 화학적 기계적 연마 특성을 분석하여 정규화를 통한 모델링을 수행하였다. 또한 화학적기계적연마 공정 전과 후의 표면 특성을 관찰하기 위해 SEM(scanning electron microscopy)과 AFM(atomic forced microscope)를 이용하였으며, 구조적 특성 관찰을 XRD(X-ray diffraction)를 사용하여 실험을 수행하였다.

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Tumorigenic Effects of Endocrine-Disrupting Chemicals are Alleviated by Licorice (Glycyrrhiza glabra) Root Extract through Suppression of AhR Expression in Mammalian Cells

  • Chu, Xiao Ting;Cruz, Joseph Dela;Hwang, Seong Gu;Hong, Heeok
    • Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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    • 제15권13호
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    • pp.5117-5121
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    • 2014
  • Endocrine-disrupting chemicals (EDCs) have been reported to interfere with estrogen signaling. Exposure to these chemicals decreases the immune response and causes a wide range of diseases in animals and humans. Recently, many studies showed that licorice (Glycyrrhiza glabra) root extract (LRE) commonly called "gamcho" in Korea exhibits antioxidative, chemoprotective, and detoxifying properties. This study aimed to investigate the mechanism of action of LRE and to determine if and how LRE can alleviate the toxicity of EDCs. LRE was prepared by vacuum evaporation and freeze-drying after homogenization of licorice root powder that was soaked in 80% ethanol for 72 h. We used 2,3,7,8-tetrachlorodibenzo-p-dioxin (TCDD) as an EDC, which is known to induce tumors or cancers; MCF-7 breast cancer cells were used as a tumorigenic model. These were treated with TCDD and various concentrations of LRE (0, 50, 100, 200, $400{\mu}g/mL$) for 24, 48, and 72 h. As a result, TCDD stimulated MCF-7 cell proliferation, but LRE significantly inhibited TCDD-induced MCF-7 cell proliferation in a dose- and time-dependent manner. Expression of TCDD toxicity-related genes, i.e., aryl hydrocarbon receptor (AhR), AhR nuclear translocator, and cytochrome P450 1A1, were subsequently down-regulated by LRE in a dose-dependent manner. Analysis of cell cycle distribution after treatment of MCF-7 cells with TCDD and various concentrations of LRE showed that LRE inhibited the proliferation of MCF-7 cells via G2/M phase arrest. Reverse transcription-polymerase chain reaction and Western blot analyses also revealed that LRE dose-dependently increased the expression of the tumor suppressor genes p53 and p27 and down-regulated the expression of cell cycle-related genes. These data suggest that LRE can mitigate the tumorigenic effects of TCDD in breast cancer cells by suppression of AhR expression and cell cycle arrest. Thus, LRE can be used as a potential toxicity-alleviating agent against EDC-mediated disease.