Low-Temperature Fabrication of Integrated Substrates by Aerosol Deposition Method

• 김형준;남송민
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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  • pp.296-296
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  • 2009
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Metal Layer Patterning for Fabricating Miniaturized Microwave Devices by Room-Temperature Aerosol Deposition Method

• 김윤현;남송민
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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  • pp.297-297
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  • 2009
• PDF

in-situ XPS Characterization of cubic Boron Nitride Thin Films Grown by Dual Ion Beam Sputter Deposition

• 박기선;이덕열;김경중;문대원
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.116-117
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  • 1996
• PDF

Silicon Carbide and Oxide Layers Formed by Low Energy (5-100eV) Ion Beam. Deposition and Sppectroscopic Characterization

• 김병찬;강헌
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.120-120
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  • 1996
• PDF

Electrical property of Coper Film by PIBD(Partially Ionized Beam Deposition)

• Sung Han;KiH
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1996년도 제11회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.72-72
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  • 1996
• PDF

Design and Characterization of Self-Ions Bombarded Electron Beam Gun with High Flux and High Deposition Rates

• 이충만;최성창;조원일;송종한;최원국
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.95-95
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  • 1997
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DEPOSITION OF CONTINOUS AND WELL ADHERING DIAMOND FILMS ON STEEL

• Hoffman, A.
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.20-20
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  • 1997
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Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 $SnO_{2-x}$ 박막의 특성 연구

• 송석균;최원국;정형진;고석근;백홍구
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.75-75
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  • 1995
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Ion Beam Energy effect of the Carbon Nitiride Thin Film formation by direct Dual Ion Beam Deposition

• 김용환;최동준;한동원;백홍구
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1997년도 제13회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.36-36
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  • 1997
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Molecular dynamics simulation of deposition and thermal behaviors of Al atoms on Cu surface

• 김상필;이광렬
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
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  • pp.217.2-217.2
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  • 2009
• PDF

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