• 제목/요약/키워드: tungsten effect

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텅스텐 CMP 연마액에서 산화제와 첨가제가 연마 성능에 미치는 영향 (Effect of oxidants and additives on the polishing performance in tungsten CMP slurry)

  • 이재석;최범석
    • 분석과학
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    • 제19권5호
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    • pp.394-399
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    • 2006
  • 본 연구에서는 반도체 웨이퍼 연마 공정에 사용한 산화제와 첨가제의 연마 속도에 미치는 영향과 전기 화학적 특성에 대해 조사하였다. 산화제로는 과산화수소, 질산화 철과 요오드산 칼륨을 사용하였으며, 이들은 연마액의 pH와 종류에 따라 텅스텐 막질에서 상이한 산화반응을 나타내었다. 이러한 차이점은 연마성능에 영향을 끼치며, 과산화수소는 식각반응이 질산화 철과 요오드산 칼륨에서는 부동태 반응이 우세하였다. 그리고 염기성 화합물인 TMAH와 KOH를 연마액에 첨가하였을 때 텅스텐에 대한 전위 에너지 변화 증가 및 연마 제거속도 증가를 확인할 수 있었으며, 제타 전위 값의 절대 값 증가를 통해 분산성 향상에도 도움이 되는 것을 알 수 있었다. 마지막으로 음이온 계면 활성제중 평균 분자량이 25만인 폴리아크릴산을 100 ppm 첨가시 연마 입자의 뭉침 현상이 줄어들면서 분산성 향상에 효과적인 것을 알 수 있었다.

저탄소 보론강의 경화능에 미치는 W 첨가의 영향 (Effect of W Addition on the Hardenability of Low-Carbon Boron Steels)

  • 황병철
    • 한국재료학회지
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    • 제24권9호
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    • pp.488-494
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    • 2014
  • The effect of tungsten (W) addition on the hardenability of low-carbon boron steels was investigated using dilatometry, microstructural observations and secondary ion mass spectroscopy. The hardenability was discussed with respect to transformation behaviour aspects depending on the segregation and precipitation of boron at austenite grain boundaries. A critical cooling rate producing a hardness corresponding to 90 % martensite structure was measured from a hardness distribution plot, and was used as a criterion to estimate hardenability at faster cooling rates. In the low-carbon boron steel, the addition of 0.50 wt.% W was comparable to that of 0.20 wt.% molybdenum in terms of critical cooling rate, indicating hardenability at faster cooling rates. However, the addition of 0.50 wt.% W was not more effective than the addition of .0.20 wt.% molybdenum at slower cooling rates. The addition of 0.20 wt.% molybdenum completely suppressed the formation of eutectoid ferrite even at the slow cooling rate of $0.2^{\circ}C/s$, while the addition of 0.50 wt.% W did not, even at the cooling rate of $1.0^{\circ}C/s$. Therefore, it was found that the effect of alloying elements on the hardenability of low-carbon boron steels can be differently evaluated according to cooling rate.

바이오가스 열병합 발전에서 발생하는 NOx 제거를 위한 텅스텐 함량에 따른 NH3-SCR 바나듐계 촉매 연구 (A Study on NH3-SCR Vanadium-Based Catalysts according to Tungsten Content for Removing NOx Generated from Biogas Cogeneration)

  • 정민기;홍성창
    • 청정기술
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    • 제27권4호
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    • pp.315-324
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    • 2021
  • 본 연구에서는 바이오가스를 이용하는 열병합 발전에서 배출되는 질소산화물을 환원제인 암모니아와 촉매를 이용하여 제거하는 선택적촉매환원법(selective catalytic reduction, SCR)에 있어서 다양한 배가스 특성에 대한 바나듐 촉매 연구를 수행하였다. 연구에 사용한 촉매는 상용촉매인 V/W/TiO2를 사용하였으며 다양한 운전조건에서 텅스텐 함량에 따라 영향을 확인하였다. NH3-SCR 실험 결과 380 ~ 450 ℃에서 95% 이상의 탈질 성능을 확인하였으며 SO2 내구성 실험 및 TGA 분석을 통해 미량의 SO2에 대한 촉매의 내구성을 확인하였다. 또한 H2-TPR 분석결과 텅스텐 함량이 높을수록 우수한 산화·환원(redox) 특성을 확인할 수 있었다. 이에 따라 열병합 발전에서 배출되는 미량의 일산화탄소에 대한 산화실험을 수행하였으며 역시 우수한 일산화탄소의 산화력을 확인할 수 있었다. NH3-DRIFTs 분석에서는 텅스텐 함량이 높을수록 Bronsted/Lewis acid sites 모두 증가하였으며 텅스텐을 촉매에 첨가 시 우수한 열적 내구성을 갖는 것으로 확인되었다. 따라서 다양한 운전조건에 따른 실험 결과, 텅스텐 함량이 높은 촉매가 바이오가스를 이용하는 열병합 발전에 적용하기 바람직하다고 판단된다.

슈퍼 2상 스테인리스강에서 χ와 σ상의 석출거동에 미치는 W치환의 영향 (Effect of W Substitution on the Precipitation Behavior of χ and σ Phase in Super Duplex Stainless Steels)

  • 한현성;김성휘;강창룡
    • 한국재료학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.200-206
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    • 2016
  • This study was carried out to investigate the effect of W substitution on the precipitation behavior of ${\chi}$ and ${\sigma}$ phases in super duplex stainless steel. The ${\chi}$ phase was precipitated at the interface of ferrite / austenite phases and inside the ferrite phase at the initial stage of aging. With an increase in the aging time, the volume fraction of the ${\chi}$ phase increased, and then decreased with the transformation from the ${\chi}$ phase to the ${\sigma}$ phase. The ${\sigma}$ phase was precipitated later than the ${\chi}$ phase, and the volume fraction of x phase increased with the increase in the aging time. The ferrite phase was decomposed into the new austenite (${\gamma}2$) and ${\sigma}$ phases by aging treatment. The decomposition of the ferrite phase into the ${\gamma}2$ and ${\sigma}$ phases was retarded by W substitution for Mo. The volume fraction of the ${\chi}$ phase increased and that of the ${\sigma}$ phase decreased due to W substitution. The ${\chi}$ and ${\sigma}$ phases were intermetallic compounds, which had lower nickel concentration, and higher chromium, molybdenum, and tungsten concentrations. The ${\chi}$ phase has higher molybdenum and tungsten concentrations than those of the ${\sigma}$ phase. The amounts of chromium and nickel in the ${\chi}$ and ${\sigma}$ phases did not change, but these phases have higher concentrations of molybdenum and tungsten due to W substitution for Mo.

PET/CT실에서 사용되는 주사기 차폐체의 산란선 측정 (Scattering Measurement of Syringe Shield Used in PET/CT)

  • 장동근;박철우;박은태
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제43권5호
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    • pp.375-382
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    • 2020
  • PET/CT is a medical equipment that detects 0.511 MeV of gamma rays. The radiation workers are inevitably exposed to ionizing radiation in the process of handling the isotope. Accordingly, PET/CT workers use syringe shields made of lead and tungsten to protect their hands. However, lead and tungsten are known to generate very high scattering particles by interacting with gamma rays. Therefore, in this study, we tried to find out the effect on the scattering particles emitted from the syringe shield. In the experiment, first, the exposure dose to the hand (Rod phantom) was evaluated according to the metal material (lead, tungsten, iron, stainless steel) using Monte Carlo simulation. The exposure dose was compared according to whether or not plastic is attached. Second, the exposure dose of scattering particles was measured using a dosimeter and lead. As a result of the experiment, the shielding rate of plastics using the Monte Carlo simulation showed the largest difference in dose of about 40 % in lead, and the lowest in iron, about 15 %. As a result of the dosimeter test, when the plastic tape was wound on lead, it was found that the reduction rate was about 15 %, 28 %, and 39 % depending on the thickness. Based on the above results, it was found that 0.511 MeV of gamma ray interacts with the shielding tool to emit scattered rays and has a very large effect on radiation exposure. However, it was considered that the scattering particles could be sufficiently removed with plastics with a low atomic number. From now on, when using high-energy radiation, the shielding tool and the skin should not be in direct contact, and should be covered with a material with a low atomic number.

Electrochromic 막의 특성과 물질이동 방지막의 효과에 대한 연구 (Studies on the properties of electrochromic films and the effect of migration barrier)

  • 황하룡;백지흠;허증수;이덕동;임정옥;장동식
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.221-226
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    • 2000
  • 졸겔법 및 진공증착법으로 $WO_3$$V_2O_5$ 박막을 제조하고, 리튬이온을 이용하여 전기변색 소자를 제작한 후 광학적 특성을 조사하였다. 측정결과 졸겔법으로 제조된 $WO_3$ 박막과 $V_2O_5$ 박막을 수증기 분위기에서 $500^{\circ}C$로 1시간 열처리한 경우 가장 우수한 투과율 변화량을 나타내었다. 정.역방향 동작을 거듭할수록 $WO_3$막의 텅스텐과 ITO막의 인듐이 상호 확산하는 것을 관찰할 수 있었으며 이를 방지하기 위해 수백 $\AA$의 텅스텐 박막을 ITO와 $WO_3$막 사이에 삽입한 결과, cyclic voltamogram의 peak의 감소량이 1/10 이하로 감소하였으며, 리튬이온의 흐름에 의한 인듐과 텅스텐의 이동을 효과적으로 방지할 수 있었다.

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Clostridium ljundahlii를 이용한 합성가스 발효에서 배지 내 tryptone 및 tungsten의 영향 (Effect of Tryptone and Tungsten in Medium on Syngas Fermentation Using Clostridium ljundahlii)

  • 박소은;김영기
    • 공업화학
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    • 제34권3호
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    • pp.327-329
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    • 2023
  • 본 연구에서는 Clostridium ljungdahlii 배양에서 유기질소공급물인 tryptone과 sodium tungstate의 배양액 내 농도가 균주 성장과 아세트산, 에탄올 생산에 대한 영향을 확인하기 위한 실험을 수행하였다. 대조군 실험의 배지 조건(0 g/L tryptone)보다 tryptone 2.5 g/L를 투입한 경우 균주 성장이 144.6% 증가하였고, 에탄올 및 아세트산 생산은 각각 8.6%와 36.7% 향상되었다. 대조군 실험에 사용된 배지의 조건(0.01 µM Na2WO4·2H2O)보다 100배인 1 µM Na2WO4·2H2O를 사용한 실험군에서, 균주 성장과 C2 대사산물의 총생산량에는 큰 차이가 없지만, 에탄올 생산 증가하고 아세트산 생산은 감소하여 에탄올/아세트산 생산비가 0.56로 대조군의 0.24에서 크게 증가하였다.

방사가열원이 Si의 흡수효과와 OSF 성장에 미치는 영향 (Influence of Radiation Heating Sources on the Absorption Effect and Growth of OSF in Si)

  • 홍순관;김철주;이철승;정관수
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1988년도 전기.전자공학 학술대회 논문집
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    • pp.332-334
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    • 1988
  • Influence of incoherent lamp heating sources on the absorption effect and variation of OSF' size were investigated. The absorption effect on I.R lamp caused by free carrier excitation is greater than that of Tungsten-Halogen lamp. The variation of DSF' size weakly affected by oxidation time.

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Effect of Particle Size of Tungsten Powder on the Properties of Vacuum Plasma Sprayed Tungsten coatings

  • 김호석;문세연;홍봉근
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.205.1-205.1
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    • 2016
  • 핵융합로에서 고온, 고에너지 플라즈마에 장기간 노출되는 플라즈마 대면재는 고속 입자와 중성자에 의한 열화 및 침식과 높은 열부하를 견뎌야 하므로 높은 수준의 재료기술과 표면 코팅기술의 개발이 필요하다. 텅스텐은 용융점이 높고, 스퍼터링(Sputtering) 현상이 적으며, Tritium 재침적 현상이 제한되는 우수한 특성 때문에 핵융합로 대면제에 적용하기 위한 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 VPS(vacuum plasma spray) 장비를 이용하여 5, 10, $25{\mu}m$ 크기의 텅스텐 분말을FM(ferritic-martenitic) steel 기판에 용사 코팅하였다. 입자 크기를 달리하여 제작한 3종의 시편은 시편 전후 두께 및 무게 변화, 현미경이미지, 비커스 경도, 3D 표면 형상, XRD를 이용하여 코팅층의 특성을 평가하였으며, $10{\mu}m$ 크기의 텅스텐 분말 시편이 가장 우수한 특성을 나타내는 것을 확인하였다.

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절삭공구용 초경합금의 성형체 및 소결체의 강도에 미치는 성형조건의 영향 (Effect of the Forming Condition on Flexural Strength of Green and Sintered Bodies of Tungsten Carbide for Cutting Tool)

  • 이재우
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.796-799
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    • 2004
  • The effects of forming presure, organic binder content and moisture on flexural strength were investigated. As moisture content increased in the granules during compaction, the density and strength of the green body were increased. Green strengths were found to improve more strongly with increasing forming pressure in the case of using the granules of higher organic content. The sintered strength was the highest with the organic content of 0.2wt% under all forming pressures.

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