• 한국가스학회지
• /
• 제24권5호
• /
• pp.74-81
• /
• 2020

일반적으로 반도체를 제조할 때는 인화성, 독성, 부식성의 유해·위험물질이 다수 사용되며, 특히 화학적 증착(CVD), 식각(Etch) 등의 공정에서는 특수가스를 사용하여 반도체를 제조하고 있다. 특수가스는 압축 또는 액화가스의 상태로 용기에 충전되어 있는데, 특수가스를 반도체 제조공정에 공급하는 설비로서 가스캐비닛(Gas Cylinder Cabinet)이 사용되고 있다. 이러한 가스공급시스템 내에서 실린더 이상 발생 시 배관·계측기 등 공급시스템의 안전 확보를 위해 가스실린더에 설치된 압력방출장치를 통해 가스가 방출하게 되는데, 이 경우 가스캐비닛 내부에 방출되는 가스가 캐비닛 외부로 누출될 위험성이 존재한다. 따라서 가스캐비닛 내부의 유체유동을 분석하여 누출에 따른 위험성을 파악하고 이에 대한 위험도 감소를 위한 대책을 제시하고자 한다.

• 반도체디스플레이기술학회지
• /
• 제5권4호
• /
• pp.23-27
• /
• 2006

Semiconductor industry has been dramatically developed with the information era of 21C, and the trend now is to consider that the technology of management system of the computer utility that has a high efficiency is important. This study investigated the intelligent decision system for residual gas purge process to effectively remove the residual gas in the tube after replacing the cylinder that is used for the gas cabinet or BSGS(Bulk Specialty Gas Supply System) of the semiconductor process. It was suggest from this study that it is possible to decide the type, frequency and volume of purge gas using various toxic gases which is necessary for each process. Also, this result will be utilized for operating the system, increasing the efficiency of management and saving energy.

• 한국재난정보학회:학술대회논문집
• /
• 한국재난정보학회 2015년 정기학술대회
• /
• pp.212-214
• /
• 2015

독성가스는 반도체, LCD, 태양전지 등 첨산 산업 발달로 그 수요가 증가하고 있으나, 독성가스 용기 무단폐기 등 관리 및 유통에 대한 체계가 열악한 실정이다. 독성가스를 제조 유통하는 시설이 2013년 기준으로 2,774개소가 있으며, 2012년 가스사용량은 2010년 대비 62.5% 급증하였다. 대학교, 연구소 등 사용량은 적으나 독성가스를 사용하지만 고압가스안전관리법의 검사 대상에서 제외되는 기관도 4천개 이상이 되는 상태에서 이에 대한 유통 이력 추적 관리는 매우 중요한 상태이다. 이에 따라 본 연구에서는, RFID를 이용하여 독성가스 용기의 제조, 유통, 충전 및 폐기 전 영역에서 이력정보를 관리하는 독성가스 용기 유통 이력추적관리기술을 개발하였으며, 본 기술을 통하여 투명하고 추적 가능한 독성가스 용기 관리 체계를 갖추었다.

• 한국자동차공학회논문집
• /
• 제16권3호
• /
• pp.144-150
• /
• 2008

This research aims to develop parts for advanced fuel/oil filtering re-circulation applicable to this kind of regulation proof engines. These parts can playa role of converting traditional air emission type crankcase into recovery type crankcase so that the engine can deal with environmental regulations, which do not allow minimal amount of toxic gas discharge. For the experiment, test method and specially made testing equipment are prepared. The results showed that oil separation efficiency of the cone type CCV(Crank Case Ventilation) system was higher than one of cylinder type both in bench test and in engine.