• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제15권3호
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• pp.47-52
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• 2008

높은 종횡비를 갖는 비아 및 트렌치 상에 절연 막으로서 $SiO_2$를 증착하고 증착 특성 및 막의 특성을 연구하였다. 실리콘 관통 전극에서 절연 막은 전극의 벽면과 그 내부에 충진 된 물질간의 상호 확산 감소와 물질 간 접착, 전기적 절연, 디바이스로의 전기적 누수 차단 등의 역할을 해야 한다. 따라서 이러한 특성을 확인하기 위해 3종의 화학 기상 증착법인 PECVD, PETEOS, ALD을 선정하고 절연 막 증착 후 특성평가를 진행 하였다. 특성평가 항목 중 step coverage는 PECVD : <30%, PETEOS : 45%, ALD : 75%, 표면 거칠기는 PECVD : 27.8 nm, PETEOS : 2.1 nm, ALD : <2.0 nm으로 측정되어 막질의 특성은 ALD가 가장 우수하게 평가 되었으나, 실제 기술의 적용에서 가장 중요한 요소인 증착률에서 ALD는 $18\;\AA/1cycle$로서 $10\;\AA/min$ 이라는 대략적 시간이 소요되어 $5000\;\AA/min$의 증착률을 보인 PETEOS에 비해 매우 낮은 수준으로 최소 $1000\;\AA$ 이상의 두께가 요구되는 절연 막의 적용에는 어려움이 있고, 따라서 PETEOS가 본 연구에서 최적의 recipe라 평가되었다.

• Archives of Reconstructive Microsurgery
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• 제8권1호
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• pp.35-43
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• 1999

저자들은 1988년부터 1998년까지 시행한 252예의 유리피판술 중 9예에서 미세혈관 문합부의 혈전 등의 이유로 실패하였으며, 이들 중 두경부 및 하지의 7예에서는 첫 수술 4-16일 사이에 제 2의 유리피판술을 성공적으로 시행하여 환부를 치유시키고, 처음에 계획하였던 수술적 목표를 달성하였다. 수부의 2예는 환자 및 보호자와 충분한 상의하여 원거리 피판과 피부이식 등 고식적인 치료 방법을 선택하였다. 수부의 경우는 다른 부위보다 고식적 치료 방법이 덜 부담되었던 것으로 생각되었으며, 두경부와 하지는 환부의 특성상 제 2의 유리 피판술이 최선의 선택으로 생각되었다. 유리 피판술이 실패한 환부에서 계속된 제 2의 유리 피판술을 시행하는 것은, 처음의 수술보다 면밀한 술전 계획과 준비, 완벽한 수술, 수술후의 철저한 환자 관리가 요구되었으나, 이들 환부의 처치에 매우 효과적이고 환자의 기대에 부응할 수 있는 방법이라고 생각된다.

• 한국재료학회지
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• 제8권5호
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• pp.377-382
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• 1998

Ti[N ($C_{2}$$H_{5}$ $CH_{3}$)$_{2}$]$_{4}$ [tetrakis(ethylmethylammino)titanium.TEMAT]와 $NH_{3}$를 반응가스로 하여 각각 펄스(pulse) 형태로 시분할 주입되는 새로운 박막 증착방법(이하 Cycle-CVD라 함)을 이용하여 TiN박막이 $SiO_2$.기판위에 증착되었다.Cycle-CVD에서 반을로 내로 주입되는 반응가스와 Ar가스는 TEAM 펄스, Ar 펄스,$NH_{3}$펄스, Ar 펄스의 순서로 시분할주입되었고, 이렇게 차례대로 주입되는 4개의 펄스를 하나의 cycle로 규정하고, Cycle-CVD는 이러한 cycle이 연속하여 반복적으로 주입되도록 설계되었다. 기판온도가 $170^{\circ}C$-$210^{\circ}C$에서는 atomic layer deposition(ALD)특성을 보였고, $200^{\circ}C$에서 충분한 반응가스의 펄스시간 후에 cycle당 증착된 박막의 두께가 0.6nm/cycle로 포화되는 양상을 보여주었는데, 이는 cycle당 증착된 TiN 박막의 두께가 1.6 monolayer(ML)/cycle에 해당된다. 이와 같이 반등가스의 흡착을 이용ㅇ하여 TiN이 제한된 표면반응만에 의하여 ALD 기구에 의해 증착이 이루어지므로 TiN 박막의 두께는 단지 cycle 횟수만으로 정확하게 제어할 수 있었고, 우수한 step coverage 특성을 얻었다. 또한 반응가스간의 기상반응을 방지함으로써 입자의 발생을 억제할 수 있었고, 상대적으로 낮은 온도임에도 불구하고 4at% 이하의 낮은 탄소함량을 갖는 양호한 특성을 보여주었다.

• 한국작물학회지
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• 제57권4호
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• pp.331-336
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• 2012

밀 재배면적 확대를 위해서는 노력절감을 통하여 생산비를 낮추고 농가 소득의 증가와 더불어 수입산 밀과의 경쟁력을 향상시키고자 밀 재배 작업의 단계별 체계적인 기계화로 노력절감 및 기계 이용효율 효과를 분석한 다음과 같다. 1. 밀 재배 작업 중 복토작업이 ha당 683분이 소요되어 작업소요시간이 가장 길었으며, 파종단계인 파종, 시비와 복토작업을 한번에 할 수 있는 동시작업기 이용, 제초제 살포는 승용살포기 이용으로 노력절감을 최소화 할 수 있었다. 2. 밀 파종에서 수확까지의 작업 소요시간은 ha당 부분 기계화 작업인 관행(인력)의 118시간 대비 트랙터부 착용 살포기로 밑거름 시비와 파종+트랙터부착용 배토기로 복토+승용관리기 제초제 살포+트랙터부착용 살포기로 웃거름 살포+콤바인 수확 작업체계(작업체계 I)에서 26시간으로 78% 절감되었으며, 작업체계 I에서 파종단계인 시비, 파종, 복토 작업을 트랙터부착용 동시작업기 활용 작업(작업체계 II)으로 18시간으로 85%가 절감되었다. 3. 밀의 생육, 수량구성요소 등 모두 인력에 비해 기계파종이 짧거나 적어서 수량도 떨어지는 경향을 보였다. 따라서 기계파종 방법에 따라 적합한 파종량 설정에 관한 연구가 요구되어 졌다. 4. 기계화에 따른 기계비용 부담을 감안하여 볼 때 손익분기점은 작업체계 I은 3.7ha, 작업체계 II는 4.2 ha로 판단되었으며, 농가 소득은 ha당 각각 778,110원, 849,930원이 향상되는 효과가 있었다.

• Journal of Hospice and Palliative Care
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• 제18권2호
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• pp.85-96
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• 2015

한국의 현대적 예술치료는 1960~1970년대 국내 정신과 환자들을 대상의 보조치료인 활동요법(activity program)의 형태에서, 1982년 정신과 의사들을 중심으로 한국임상예술학회가 창립되면서, 음악치료(music therapy), 미술치료(art therapy), 무용치료(dance therapy), 시치료(poetry therapy), 정신치료극(Psychodrama) 등의 예술치료가 정신장애환자를 대상으로 발전하였다. 1990년대에는 한국미술치료학회와 한국음악치료학회 등 분야별 전문단체가 본격적으로 출범하였고, 2001년 한국예술치료학회가 창립되었다. 통합예술치료의 예술은 한 개인의 내적인 세계와 연관된 인간자체가 가지는 본연의 능력인 창조적 활동이며, 여기에는 음악치료, 미술치료, 무용치료, 시치료 등이 포함된다. 통합예술치료는 인간의 체험현상을 그대로 인정하고 자각하게 하는 현상학적 측면에서 신체와 창조성의 회복을 목표로 예술매체를 활용한 심신치료활동이면서 심신의 성장과 발달을 목표로 하는 치료예술활동이다. 최근 국내 음악치료, 미술치료, 무용동작치료, 통합예술치료를 중심으로 예술치료의 효과에 대한 메타분석 결과, 신체기능 효과 변인군을 제외한 모든 변인군에서 효과크기가 유의했고, 심리적응 효과, 행동적응 효과 그리고 생리적 효과 변인군 순으로 효과크기가 확인되었다. 2015년 7월, 보건복지부는 완화의료 건강보험수가 급여를 일당정액제로 시행하면서, 국내 56개 호스피스전문기관에서 대부분 시행중인 음악치료, 미술치료, 원예치료에 대한 수가를 인정하는 방향으로 논의하고 있다. 이것은 1977년 정신과 환자에 대한 예술요법의 수가가 인정된 이후, 호스피스 완화의료 환자에 대한 예술치료의 수가가 인정된다는 데 그 의의가 있다. 그러나, 예술치료매체와 중재유형, 그리고 치료효과간의 인과관계의 명확한 제시, 즉 치료기전의 문제와 무분별하게 발급되는 자격증 취득자의 교육 수련 수퍼비젼을 통한 전문성과 정체성의 문제를 해결하기 위해, 전문학회 및 협회 등 전문단체간의 유기적인 협력과 노력이 요구된다.

• 공업화학
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• 제10권7호
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• pp.985-989
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• 1999

유기 실란화합물을 사용하여 실리카($SiO_2$)박막을 감압 유기금속 화학증착법(LPMOCVD)으로 제조하였다. 원료로는 triethyl orthosilicate(TRIES)를 사용하였다. 실험조건은 반응기의 출구압력을 1~100 torr, 반응온도는 $600{\sim}900^{\circ}C$로 하였다. 높은 반응온도와 원료농도에서는 $SiO_2$가 빠른 성장속도를 나타내었다. 마이크로 스케일 트랜치에서 층덮임이 좋게 나타났는데, 이것은 응축된 다량체들이 트랜치쪽으로 유동하는 현상 때문으로 생각되었다. 원료가스가 중합반응을 하여 다량체(2량체, 3량체, 4량체 등)들이 생성되고, 그 다량체들이 확산하여 고체표면에서 응축되는 반응경로를 따를 것으로 추정된다. 반응관의 출구에서 기상중의 화학종들을 사극질량분석기로 분석한 결과, 반응온도 $650{\sim}700^{\circ}C$에서는 단량체, 원료가스의 2량체, 고분자들의 피크가 관측되었다. 고온($900^{\circ}C$)에서는 거의 모든 원료가스와 중간체(중합된 다량체) 분자들이 산화되었거나 차가운 관벽에 응축되어 고분자들의 피크가 없어졌다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제47권6호
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• pp.715-719
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• 2009

본 연구에서는 DNA 정보를 상변화 물질의 전기저항 변화특성으로 검출할 수 있는 상변화 전극 기판을 개발하였다. 이를 위해 반도체 공정에서 사용하는 Al을 사용하여 전극 기판을 제작하였다. 하지만 주사전자현미경을 이용하여 Al 전극의 단면 상태를 확인해 본 결과 PETEOS(plasma enhanced tetraethyoxysilane) 내에서 보이드(void)가 발생하여 후속공정인 에치백과 세정공정 분위기에 과도하게 노출되어 심하게 손상되어 전극과 PETEOS 사이에 홀(hole)로 변형된다. 이 문제점을 해결하기 위하여 에치백 및 세정 공정을 진행하지 않으면서 $Ge_2Sb_2Te_5$(GST) 박막의 단차피복성(stepcoverage)을 좋게 할 수 있고, 열역학적으로 GST 박막과의 반응성을 고려했을 때 안정적이면서 비저항이 낮은 TiN 재료를 사용하여 상변화 전극 기판을 제작하였다. 주사전자현미경을 통하여 전극의 단면의 상태를 관찰하였으며 TiN 전극과 GST 박막이 정상적으로 연결되어 있는 것을 확인하였다. 또한 저항측정 장비를 사용하여 TiN 상변화 전극 기판 위에 증착된 GST의 비정질과 결정질의 저항을 측정하였고, GST의 비정질과 결정질저항의 차이는 약 1,000배 정도로 신호를 검출하는데 충분함을 확인하였다.

• 한국지리정보학회지
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• 제11권3호
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• pp.166-173
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• 2008

최근 지구환경 문제가 국제적 이슈로 떠오르는 가운데, 친환경적이면서 재생 가능한 바이오매스 에너지원에 대한 관심이 주목되고 있다. 특히 우리나라는 기후변화 협약 및 교토의정서 발효 등에 따라 탄소배출량을 조절해야 하는 시점이기에 산림 바이오매스에 대한 중요성이 더욱 커지고 있다. 산림지역이 전체국토의 약 2/3을 차지하는 국내의 경우 넓은 지역을 포함하고, 일률적인 데이터 처리가 가능한 원격탐사 자료를 이용하여 바이오매스를 추정하는 것이 보다 경제적이고 효율적인 방법이다. 본 연구에서는 원격탐사 자료 중 개체목 구분 및 수고 추출이 가능한 LiDAR 데이터와 항공사진을 이용하여 산림지역의 바이오매스를 추정하고, 현장실측 자료와 비교를 통해 정확도 평가를 수행하였다. 총 3종류의 바이오매스 산출식을 사용하여 조사구 내 개체목의 평균 바이오매스와 조사구 내 전체 바이오매스를 계산하여 현장조사 자료와 비교하였다. 개체목 평균 바이오매스의 회귀분석 $R^2$는 모두 0.8이상으로 높계 추정되었고, 조사구 내 전체 바이오매스의 $R^2$도 0.65이상의 값을 나타내었다. 이를 통해 기존의 현장조사를 통한 방법보다 원격탐사 자료를 이용하여 보다 효율적이고 경제적으로 관측할 수 있음을 확인하였다.

• Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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• 제16권17호
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• pp.7785-7788
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• 2015

Utilization of high energy photons (>10MV) with an optimal weight using a mixed energy technique is a practical way to generate a homogenous dose distribution while maintaining adequate target coverage in intact breast radiotherapy. This study represents a model for estimation of this optimal weight for day to day clinical usage. For this purpose, treatment planning computed tomography scans of thirty-three consecutive early stage breast cancer patients following breast conservation surgery were analyzed. After delineation of the breast clinical target volume (CTV) and placing opposed wedge paired isocenteric tangential portals, dosimeteric calculations were conducted and dose volume histograms (DVHs) were generated, first with pure 6MV photons and then these calculations were repeated ten times with incorporating 18MV photons (ten percent increase in weight per step) in each individual patient. For each calculation two indexes including maximum dose in the breast CTV ($D_{max}$) and the volume of CTV which covered with 95% Isodose line ($V_{CTV,95%IDL}$) were measured according to the DVH data and then normalized values were plotted in a graph. The optimal weight of 18MV photons was defined as the intersection point of $D_{max}$ and $V_{CTV,95%IDL}$ graphs. For creating a model to predict this optimal weight multiple linear regression analysis was used based on some of the breast and tangential field parameters. The best fitting model for prediction of 18MV photons optimal weight in breast radiotherapy using mixed energy technique, incorporated chest wall separation plus central lung distance (Adjusted R2=0.776). In conclusion, this study represents a model for the estimation of optimal beam weighting in breast radiotherapy using mixed photon energy technique for routine day to day clinical usage.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제37권6호
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• pp.43-49
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• 2000

ALE(atomic layer epitaxy)법을 이용하여 (100)면의 Si 기판위에 TiN 박막을 증착하였다. 증착된 TiN 박막을 XRD, 4-point probe, AFM, AES, SEM등의 장비를 사용하여 분석하였다. ALE법에 의한 TiN의 증착을 위한 반응 전구체(precusor)로는 TEMAT(tetrakis (ethylmethylamino)titanium)와 반응 가스로는 $NH_3$를 사용하였다. 표면 포화반응을 형성하기 위해 각 반응 기체는 TEMAT-$N_2-NH_3-N_2$의 순서로 교대로 반응로에 주입하였다. 그 결과 TiN 박막은 150 ~ 220 $^{\circ)C$에서 자기 제어 성장(self-limiting growth) 기구에 의한 박막 증착 특성을 보였다. 증착된 TiN 박막은 증착율이 4.5 ${\AA}$/ cycle로 일정하였고, 비정질 (amorphous)의 구조를 보였다. 박막의 저항율과 표면 평균 거칠기는 210~230${\mu}{\Omega}{\cdot}$cm와 7.9~9.3${\AA}$로 측정되었다. TiN 박막을 2000 ${\AA}$의 두께로 증착하였을 때, 폭이 0.43${\mu}$m이고 단차비 (aspect ratio)가 6인 트렌치 구조에서 매우 우수한 단차피복성을 보였다.