$CeO_2$ 박막의 결정성 및 전기적 특성에 미치는 sputtering시 산소분압비의 영향
(Effects of oxygen partial pressure during sputtering on texture and electrical properties of $CeO_2$ thin films)
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- 한국진공학회지
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- 제10권1호
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- pp.51-56
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- 2001