Park, Jae-Hyeong;Mun, Dae-Yong;Han, Dong-Seok;Gang, Yu-Jin;Sin, So-Ra;Park, Jong-Wan
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.02a
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pp.409-409
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2013
최근, 집적 소자의 미세화에 따라 늘어난 배선 신호 지연 및 상호 간섭, 그리고 소비 전력의 증가는 초고집적 소자 성능 개선에 한계를 가져온다. 이에 따라 기존의 알루미늄(Al)/실리콘 절연 산화막은 구리(Cu)/저유전율 박막(low-k)으로 대체되고 있고, 이는 소자 성능 개선에 큰 영향을 미친다. 그러나 Cu는 Si과 low-k 내부로 확산이 빠르게 일어나 소자의 비저항을 높이고, 누설 전류를 일으키는 등 소자의 성능을 저하시킬 수 있는 문제점을 가지고 있다. 이러한 Cu의 확산을 막기 위하여 Ta, TaN 등과 같은 확산방지막에 대한 연구가 활발히 진행되어 왔으나, 배선 공정의 집적화와 low-k 대체에 따른 공정 및 신뢰성 문제로 인해 새로운 확산방지막의 개발이 필요하게 되었다. 이를 위해, 본 연구에서는 Cu-V 합금을 사용하여 low-k 기판 위에 확산방지막을 자가 형성 시키는 공정에 대한 연구를 진행하였다. 다양한 low-k 기판에서 열처리조건에 따른 Cu-V 합금의 특성을 확인하기 위해 4-point probe를 통한 비저항 평가와 XRD (X-ray diffraction) 분석이 이뤄졌다. 또한, TEM (transmission electron microscope)을 이용하여 $300^{\circ}C$에서 1 시간 동안 열처리를 거쳐 자가형성된 V-based interlayer가 low-k와 Cu의 계면에서 균일하게 형성된 것을 확인하였다. 형성된 V-based interlayer의 barrier 특성을 평가하고자 Cu-V합금/low-k/Si 구조와 Cu/low-k/Si 구조의 leakage current를 비교 분석하였다. Cu/low-k/Si 구조는 비교적 낮은 온도에서 leakage current가 급격히 증가하는 양상을 보였으나, Cu-V 합금/low-k/Si 구조는 $550^{\circ}C$의 thermal stress 에서도 leakage current의 변화가 거의 없었다. 이러한 결과를 바탕으로 열처리를 통해 자가형성된 V-based interlayer의 Cu/low-k 간 확산방지막으로서 가능성을 검증하였다.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.14
no.6
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pp.1613-1620
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1990
For the purpose of the study on the spray characteristics of a coaxial nozzle, the measurement of the velocity and size of droplets, concentration, and the statistical correlation coefficient between the fluctuation of the velocity and that of the corresponding drop diameter have been carried out. Various method of simultaneous measurement of velocity and drop size have been developed from LDV techniques. The technique used here belongs to the method that supposed by Yule, Holve and Self. It has the advantages of making use of a standard LDV apparatus to which minor modifications have been brought, photomultiplier is equipped with a slit instead of a pinhole and observed the measuring volume at an angle of 90.deg.. The voltage supplied by the photomultiplier has undergone an appropriate analog and digital processing. The experimental results give a good idea of the two phase flow organization and can be helpful to find a drop diffusion model when suitable data are imput.
The authors' theory developed in the preceding Paper 1 was applied to plastic deformation of ceramics, metals, alloys and single crystals. For polycrystalline substances, the flow mechanisms due to dislocation movement and grain boundary movement appear together or separately according to the experimental conditions whereas for single crystals, only the mechanism of dislocation movement appears. The parameters appearing in the flow equations $({\alpha}_{d1},\;1/{\beta}_{d1})and\;({\alpha}_{gj}/X_{gj},\;1/{\beta}_{gj})$ (j = 1 or 2), and the activation enthalpies ${\Delta}H_{k1}^{\neq}$ (k = d or g) were determined and tabulated. Here, the subscript d1 indicates the first kind of dislocation flow units and gj expresses the jth kind of grain boundary flow units. The predictions of the theory were compared with experiment with good agreement. Concerning the activation enthalpies, it was found that ${\Delta}H_{d1}^{\neq}$ 〉{\Delta}H_{g1}^{\neq}$ and that the former agrees with the activation enthalpy for bulk self-diffusion whereas the latter agrees with the activation enthalpy for grain boundary self-diffusion. These facts support the adequacy of the authors' theory which is considered as a generalized theory of plastic deformation.
The recombination motion of Partial dislocations on basal slip (0001) 1/3<1120> in sapphire ($\alpha$-Al$_2$$O_3$) single crystals was investigated using the four-point bending test with the prism plane (1120) samples. These bending experiments were carried but in the temperature range from $1200^{\circ}C$ to $1400^{\circ}C$ at various engineering stresses 90MPa, 120MPa, and 150MPa. During these tests it was shown that an incubation time was needed for basal slip to be activated. The activation energy for the incubation time was 5.6-6.0eV in the temperature range from $1200^{\circ}C$ to $1400^{\circ}C$. The incubation time is believed to be related to recombination of climb dissociated partial dislocations via self-climb. In addition, these activation energies are nearly same as those for oxygen self-diffusion in $Al_2$$O_3$ (approximately 6.3 eV). Thus, the recombination of the two partial dislocations would be possibly controlled by oxygen diffusion on the stacking fault between the partials.
The sizes and structures of micelles formed in aqueous solutions of cationic octadecyl trimethyl ammonium chloride (OTAC) and anionic ammonium dodecyl sulfate (ADS) surfactants were investigated using smallangle neutron scattering (SANS), self-diffusion coefficients by pulsed-gradient spin-echo (PGSE) NMR, and dynamic light scattering (DLS) methods. SANS and DLS data indicate that their structures are spherical at concentrations as high as 300 mM. As the total surfactant concentration increases, the peaks of SANS spectra shift to higher scattering vector and become sharper, indicating that the intermicellar distance decreases and its distribution becomes narrower. This is due to more compact packing of surfactant molecules at high concentrations. The intermicellar distance of around 100 ${\AA}$ above 200 mM corresponds approximately to the diameter of one micelle. The sizes of spherical micelles are 61 ${\AA}$ and 41 ${\AA}$ for 9 mM OTAC and 10 mM ADS, respectively. Also the self-diffusion coefficients by PGSE-NMR yield the apparent sizes 96 ${\AA}$ and 31 ${\AA}$ for micelles of 1 mM OTAC and 10 mM ADS, respectively. For ADS solutions of high concentrations (100-300 mM), DLS data show that the micelle size remains constant at $25{\pm}2{\AA}$. This indicates that the transition in micellar shape does not take place up to 300 mM, which is consistent with the SANS results.
Binary system of water and polyoxyethylene dodecyl ether, $C_{12}H_{25}(OCH_2CH_2)nOH$, have been studied by $^1H$ NMR techniques. For n=5($C_{12}EO_5$) and n=8($C_{12}EO_8$), the self-diffusion coefficients of nonionic surfactants in the isotropic phase($L_1$) have been measured by using pulsed field gradient technique for a range of temperature and concentrations. In addition the line widths of the different proton signals have been monitored, and samples of some liquid crystalline characteristic were also studied. Dramatic Broadening of the methylene signals of the alkyl($C_{12}H_{25}$) chain is observed as the hexagonal liquid crystalline phase is approached in the $C_{12}EO_5-$water system, while only small broadening is observed in the $C_{12}EO_8-$water system. It was shown that there was a growth of $C_{12}EO_5$ micelles to rods with increasing concentrations, while the $C_{12}EO_8-$ micelles at low temperature remain small in the concentration range. The self-diffusion coefficients of the surfactants decrease rapidly with increasing concentration until a minimum is reached after which there is slow increase. The location of the minimum point occurs at lower concentrations the temperature is close to the cloud point, where the system separate into two isotropic phase. In the line width studies, broadening is found at a certain temperature interval when the concentration is increased in the $C_{12}EO_5$ system. The results indicate that the surfactant aggregates grow in size at the cloud point is approached. The aggregates seem to be flexible and probably not to be of a definite shape close to the cloud point. In the $C_{12}EO_8$ system, the micelles are much less affected by an increase in temperature and micellar growth can't be unambiguously established. The methylene signals of the ethylene oxide moieties consistantly show narrower $^1H$ signals, showing that in the aggregates they are less ordered than the chain methylenes. The various changes in aggregate size and shape are correlated with the stability ranges of the isotropic and liquid crystalline phases according to phase diagrams from the literature. Both aggregate size and phase structure are in qualitative agreement with concentration based on the effective shape of the molecules at different temperature and concentration.
Jung-Il, Suh;Yoon-Suk, Choi;Byung-Sun, Park;Kwang-Myong, Lee
Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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v.10
no.4
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pp.561-568
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2022
In this study, the mechanical properties and self-healing performance of cement mortar containing clinker binder, calcium sulfoaluminate(CSA), and sodium sulfate(Na2SO4) were evaluated. The mechanical properties of cement mortar were investigated by measuring compressive strength and flexural strength, and the healing performance was evaluated through hydrostatic water permeability test and gas diffusion test. In addition, the healing products precipitated in the cracks were visually observed through an optical microscope and a scanning electron microscope(SEM). As a result, the incorporation of the clinker binder-based inorganic additives improved the initial and 28-day strength by about 20 %. Depending on the healing performance evaluation method, there was a difference in the healing rate, and the healing rate showed a tendency to be underestimated. Nevertheless, CaCO3 was precipitated as the main healing product inside the 0.3 mm crack when the inorganic additives were mixed with cement mortar, improving the self-healing performance.
In this paper, we proposed problem and improvement of halftoning using random space filling curve. Random space filling curve is developed as a solution for shortcoming which space filling curve has self-similarity. It is used to reduce regular pattern can be occurred in constant brightness area in order that randomness apply to scanning path. But there is a problem that some area along scanning path can show too bright result in halftoning using random space filling curve. In this paper, we analyzed cause of problem and proposed single pixel error diffusion as a solution method. This method can avoid over-accumulated error and show better result in halftoning.
Purpose: Chatbots are widely diffusing across various industries to substitute human manpower in the industry. However as researchers only develop technology that is applied to chatbot, the diffusion is slow in progress. The purpose of this study is to propose useful implications to accelerate diffusion of chatbots across industries by analyzing the perception of customers. To achieve the research purpose this study analyzes causal effect relationship between characteristics of chatbot character, service quality, individual difference, and intention to use chatbot. Methods: This study developed a survey that contains various questionnaires for each construct based on literature review. Data collected through survey was tested for convergent validity and discriminant validity and further analyzed the relationship using PLS-SEM method to verify hypotheses. Results: Trustworthiness of the chatbot character, ease of use, application design, responsiveness, customization, assurance, inertia, and previous experience have significant influence on forming user satisfaction, consumer trust, and intention to use. The others, likability, appropriateness, technology anxiety, and need for interaction were not significant in this research. Conclusion: Although the constructs of the research model was significant in previous literatures, some do not have significant effect on intention to use chatbots. Based on the results, chatbot managers will be able to develop chatbot systems which are more appealing to users and more academic researchers will focus on analyzing user perception and intention.
In this study, we estimated the performance of PEMFC's unit cell as changing operating temperature in different inlet humidity condition at cathode side but anode dry, and tried to match experimental results with 1-dimensional simulation. We used $Nafion^{\circledR}112$ membrane and a self-manufactured PEMFC with active area of $25cm^{2}$ was used in this study. The range of operating temperature was $40{\sim}70^{\circ}C$ and oxygen through bubbled humidity chamber was supplied $0{\sim}80$% humidity condition as changing water temperature in humidity chamber. For figuring out governing equations, represent water contents in electrolyte membrane, the linear forward difference method was applied about time progress and quadratic central difference method was used about space progress. It was assumed that pressure terms were linearly changed due to thin electrolyte membrane. In low operating temperature condition, $40{\sim}60^{\circ}C$, increasing temperature rarely effected cell performance but we can see performance drop at $70^{\circ}C$. By modifying Henrry's constant and/or diffusion coefficient, the modified one-dimensional model was accomplished for calculation.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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