• International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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• 제9권1호
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• pp.25-29
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• 2008

We introduce a new fabrication process for antireflective structured surfaces. A 4-inch silicon wafer was dipped in a suspension of 300-nm-diameter silica particles dispersed in a toluene solution. When the wafer was drawn out of the suspension, a hexagonally packed monolayer structure of particles self-assembled on almost the complete wafer surface. Due to the simple process, this could be applied to micro- and nano-patterning. The self-assembled silica particles worked as a mask for the subsequent reactive ion etching. An array of nanometer-sized pits could be fabricated since the regions that correspond to the small gaps between particles were selectively etched off. As etching progressed, the pits became deeper and combined with neighboring pits due to side-etching to produce an array of cone-like structures. We investigated the effect of etching conditions on antireflection properties, and the optimum shape was a nano-cone with height and spacing of 500 nm and 300 nm, respectively. This nano-structured surface was prepared on a $30\;{\times}\;10-mm$ area. The reflectivity of the surface was reduced 97% for wavelengths in the range 400-700 nm.

• 공업화학
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• 제23권6호
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• pp.515-520
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• 2012

이 총설에서는 개별인식 태그와 바이오센서 등에 사용가능성이 높은 실리콘 기반의 캐패시터와 유기 박막트랜지스터 소자의 제작과 차이점이 논하여 진다. 금속이나 혹은 비금속의 나노입자는 화학물질이나 혹은 바이오분자, 즉, 단백질과 올리고 DNA 등에 표면이 싸여질 수 있으며, 상응하는 목표 바이오분자가 결합되어져 있는 절연체에 자기조립 단일층을 형성할 수 있다. 단일층으로 형성된 나노입자는 정전하 기본단위로서 유기 메모리 소자의 나노 플로팅 게이트로서 역할을 하는 것이다. 특히, 바이오분자의 선택적이고 강한 결합 메카니즘을 통하여도, 메모리 캐패시터나 유기 메모리 박막트랜지스터가 성공적으로 시연되었다. 더불어, 이러한 유기 메모리 소자는 차후 유연기판의 유기전자소자 영역의 발전을 촉진할 것으로 기대된다. 또한, 유기 메모리 박막트랜지스터는 앞으로 새로운 개념의 소자로의 적용이 가능하다.

• 공업화학
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• 제22권5호
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• pp.545-550
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• 2011

바이오 분자의 고정 링커로 전기전도도가 높은 방향족 공액구조의 4-(2-(4-(acetylthio)phenyl)ethynyl)benzoic acid (APBA) 분자를 합성한 후, APBA 자기조립 단분자막을 제작하였다. 제작한 APBA 자기조립 단분자막의 구조를 분석하였고, 페로센으로 고정화시킨 APBA의 자기조립 단분자막의 전기화학적 특성을 조사하였다. 부탄티올 단분자막에 APBA를 삽입시켜 혼합 단분자막을 제조하여 XPS로 금 기판에 대한 혼합 단분자막의 수직 배향성을 조사하였다. 또한, APBA 혼합 시간에 따른 APBA와 부탄티올(BT) 혼합 단분자막에 페로센을 고정화하여 전기화학적 산화 환원 특성을 조사하였다. 혼합 단분자막의 전기화학적 활성은 혼합 시간의 증가에 따라 증가하였고, 부탄티올 단분자막 기판을 APBA 용액에 36 h 침지시켰을 때 가장 높은 페로센 분자의 산화 환원 전류값을 얻었다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제31권5호
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• pp.1415-1418
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• 2010

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제27권10호
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• pp.1701-1704
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• 2006

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
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• pp.230.2-230.2
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• 2005

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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• pp.43-46
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• 2007

기존 사용되어온 절연막의 $SiO_2$의 절연특성이 신호의 간섭 등의 문제가 있어서 절연특성을 좋게 하기 위해 낮은 유전상수와 비결정질의 절연막을 요구하고 있다. 본 연구에서는 OTS를 이용하여 액상 상태에서 SAMs를 형성하였으며 FTIR을 이용한 결합구조의 변화를 살펴보았다. OTS 유기물의 함량을 0.1%에서부터 0.9%까지 다르게 혼합하여 희석시킨 유기화합물 용액에 따른 $650\;cm^{-1}$에서 $4000\;cm^{-1}$까지 전구간에 대한 FTIR 스펙트라를 보았다.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
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• pp.26.2-26.2
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• 2007

• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제24권2호
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• pp.161-162
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• 2003

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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• pp.81-81
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• 2006