CDMA base station SAW filter has been designed and fabricated successfully. Through the computer simulation, SAW filter is designed to have center frequency of 69.99MHz, ripples lower than 0.7dB and rejection level lower than 50dB. To obtain low noise band pass SAW filter, Input electrode has a apodization type and output electrode has a withdrawal type. For the fabrication of the SAW filter, Al thin film is deposited to the quartz substrates. The fabricated SAW filter has center frequency of 70.5MHz, ripples of 1dB and rejection level of 45dB.
본 연구에서는 SPUDT 중에서도 현재 가장 일반적으로 사용되면서 동시에 좋은 성능을 가지는 DART와 EWC/SPUDT형 SAW 필터에 대해서 그 효용성을 Smith 등가회로 해석법을 이용하여 분석하였고, apodization weighting을 하였을 때 각각 어떠한 차이를 보이는지를 정량적으로 평가하였다. 그리고 단순히 apodization weighting된 SAW 필터에 SPUDT를 적용하였을 때 생기는 특성열화를 보상하기 위한 방법으로 이 두 종류의 SPUDT에 대해서 폭이 넓은 전극(wide electrode)에 대한 weighting을 독립적으로 행하였다. 그리고 전극두께 및 전극개수에 따른 SPUDT의 성능변화를 DART 및 EWC/SPUDT형 SAW 필터에 대하여 비교하여 분석하였다. 본 연구의 결과는 특정 형태의 SAW 필터에 SPUDT를 적용하는 문제에 있어서 적절한 SPUDT의 타입을 결정하는데 도움을 주리라 기대된다.
SAW filters of transversal type were fabricated on some piezoelectric substrates of the LN 128$^{\circ}$ Y-X, LN 64$^{\circ}$Y-X, Quartz ST-cut wafers through the simulation in which the number o: IDT and window function were changed for the required frequency, and the mask making. Their IDT spacing and width were 3 ${\mu}{\textrm}{m}$, chip size was 4.462 $\times$ 2.086 mm$^2$, and they had double electrode transversal type IDTs. In addition to pure Al electrode devices, Ti thin films having the different thicknesses was introduced between the Al electrode and the substrate for improving the power resistance strength. They had 11-12 dB insertion losses similar to those of pure Al electrode SAW filters in case of LN 128$^{\circ}$ Y-X, LN 64$^{\circ}$ Y-X, meaning that Ti thin film was not detrimental to the insertion loss and general frequency properties. The filters had the center frequencies 162MHz for LN 128$^{\circ}$ Y-X, 186MHz for 64$^{\circ}$ Y-X, and 131MHz for Quartz ST-cut substrates.
The effect of arc like streamer discharge is investigated on the hydrogen generation in the plasma reactor with multineedle - plate electrode geometry and SDR (Plasma reactor using the surface discharge). An additive of the two type (the saw type and the pellet type) was placed under the water surface to investigate the effect of the water surface conditions. The experimental results are compared in case of the reactor with and without an additive on the water surface. The generation of arc streamer discharge is more powerful with increasing applied voltage in the saw type. The maximum hydrogen Production concentration is about 4300 ppm at 74W in the SDR with additive of the saw type. Also, the Energy yield of the SDR (28990 g/kWh, 4300ppm, 74W) is higher than of the multineedle - plate electrode geometry (20892g/kWh, 3300ppm, 77W).
As power durable RF SAW filters, AL-(0∼2wt%)Cu alloy multi-layered thin electrodes were deposited on 42° LiTaO$_3$ piezoelectric substrates by magnetron sputtering process, and then ladder-type RF SAW filters, satisfying the electrical specification of CDMA transmission band, were fabricated through optimizing SAW resonator structures. The temperature of film electrodes in SAW filter was increased with RF power, and reached the maxima to cause a failure of SAW filters at the cut-off frequencies of the RF filter band. As RF power increases, the electrodes of Al-Cu alloy showed higher power durability than that of pure Al. The multi-layer laminated film of Al-1wt.% Cu/Cu/Al-1wt%Cu resulted in the best power durability up to 4W of RF power. Every film electrode, however, was destroyed within seconds whenever applying a critical RF power to SAW filters, regardless of the composition and structure of film electrodes. The breakdown of film electrodes under FR power seems to believe due to the fatigue of electrodes caused by repetitive cyclic stress of surface acoustic wave, which is amplified as RF power increases.
본 논문에서는 단일 SAW 공진기의 불규칙적인 전극배열에 대한 주파수 특성을 계산할 수 있도록 기존의 Smith 등가회로를 이용한 집중소자 해석법을 한 단계 발전시켜 불규칙적인 전극배열까지 해석할 수 있는 수정된 집중소자 해석법을 처음으로 유도, 제시하였다. 이를 위해 단일전극에 대한 Smith 등가회로의 y-파라미터를 유도하고 이를 전체 IDT로 조합한 경우의 총 전류를 계산함으로써 전극단에서의 어드미턴스 값을 수식으로 유도하였다. 이 수식을 통해 위드로월 (withdrawal) 가중이 부여된 SAW공진기의 집중소자해석이 가능하며 그 예로서 여섯 개의 공진기를 결합한 사다리 필터를 구성하고 이 때 각 공진기의 위드로월 가중에 따른 필터 특성변화를 조사하였다. 그 결과 SAW 공진기에 위드로월 가중법을 적용할 경우 기존의 단순공진기 필터에 비해 더욱 개선된 대역폭과 천이대역의 특성을 구현할 수 있었다. 본 해석법은 공진기형 SAW필터의 설계 및 분석도구로 유용하게 활용될 수 있을 것이다.
SAW filters of transversal type were fabricated on some piezoelectric substrate of the LN 128 $^{\circ}$ Y-X waters through the simulation in which the number of IDT and window function were changed for the required frequency, and the mask making. Their IDT spacing and width were 1.63$\mu\textrm{m}$, 1.239$\mu\textrm{m}$, respectively. Titanium thin films having different thicknesses were introduced between the Al electrode and the substrate for improving the power resistance strength due to its high temperature durability and good adhesion characteristics. All of specimens showed similar insertion loss results, which means the possibility of introducing the Ti layer though it is known to have a higher resistivity leading to a worse insertion loss result. Ti inserted specimens had a better power durability than that of pure Al electrode though their thickness had no effect on the performance.
본 연구에서는 1-단자 표면탄성파 공진기를 적용한 사다리형 구조 필터에 대한 전극 두께, 공진기의 반사기 하중 및 정적 정전용량비에 따른 주파수 응답특성의 고찰이 이루어졌으며, 최적화된 매개변수를 이용하여 송신 및 수신단용 RF 필터를 제작하였다. 제작된 필터는 800㎒ 대역 이동통신 시스템에 적용 가능하며, 외부회로에 의한 임피던스 정합이 필요하지 않다. 36°LiTaO₃ 압전기판 위에 Al-Cu(W 3%) 전극을 형성하여 제작하였으며, 3.8㎜×3.8㎜×1.5㎜세라믹 패키지에 실장되었다. 통과대역(25 ㎒)에서의 최소 삽입손실은 2.3 dB, 3-dB 대역폭은 약 33 ㎒, 통과대역 리플은 0.5 dB 미만이며, 약 30 dB 이상의 저지대역 감쇄를 확보할 수 있었다. 또한, 제작된 RF 필터의 내전력성 및 온도 변화에 따른 주파수 응답특성 실험을 통해 약 3.5 W의 내전력성과 -20℃∼80℃에서 최대 0.09 dB/℃의 3-dB 삽입손실 변화를 측정할 수 있었다.
본 논문에서는$CO_2$를 발생시키지 않고 물로부터 직접 수소를 제조하기 위하여 비열플라즈마를 이용하였다. 다중침-평판형(Multineedle-plate electrode geometry reacto: MPER)과 단일침-평판형(Needle-plate electrode geometry reactor: NPER) 두종류의 수소제조 반응기를 설계 제작하여 수소 발생에 미치는 영향에 대하여 실험하였다. 수소발생을 높이기 위해서는 강한 아크성 스트리머 방전 발생과 효과적인 수표면 방전을 위한 수표면 조건을 고려해야만 된다.
대역통과용 표면 탄성파 필터 제작하기 위하여 Langasite 기판위에 빗살무의 변환기를 형성 시켜 모의실험을 수행하였으며, 전극재료로는 Al-Cu를 사용하였다. 모의실험을 바탕으로 입력단에는 IDT를 직렬형태로 연결시킨 block 형태로 하중을 가하는 전극 방법을 쓰고 출력 단은 withdrawal 형태로 하중을 가하는 방법을 써서 제작하였다. 이를 바탕으로 광대역의 SAW 필터 전극 설계 방식에 대한 적절한 위상조건도 얻고자 시도하였다. Langasite 기판위에 형성시킨 입출력 빗살무의 변환기 전극 수는 50쌍, 두께는 $5000\;{\AA}$으로 하였으며, 반사기 폭은 $3.6{\mu}m$으로 하였다. 그리고 hot전극과 반사기사이의 거리는 각각 $2.0{\mu}m\;2.4{\mu}m$로 제작하였고, hot전극에서부터 접지전극까지 간격은 $1.5{\mu}m$로 하였으며 전극 모양은 좌우 동일한 형상을 채택하였다. 제작한 필터의 주파수 특성은 중심주파수가 대략 190MHz정도, 대역폭은 7.8MHz 이하로 측정되었으며, matching 후 return-loss는 -18dB 이하이고, 리플 특성은 3dB 이하이며, 반사에 의한 잔향은 -25dB 이하로 측정되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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