• 제목/요약/키워드: rugged

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저압 화학 증착법으로 제조된 Hemispherical Poly Si 박막의 미세구조 및 전기적 성질 (Microstructure and Electrical Property of Hemispherical Poly Si Film made by Low Pressure Chemical Vapor Deposition)

  • 라사균;김동원
    • 한국진공학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.99-108
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    • 1993
  • 저압화학증착법에 의해 제조된 hemispheircal 및 rugged Si 박막들은 64 Mbit DRAM 이상의 캐패시터에 사용하기 위해 개발되었다. 이 공정을 사용하므로써 종래에 사용되던 Si 전극의 평평한 표면이 hemispherical 혹은 rugged 박막 형태의 표면으로 변한다. 위와 같은 박막은 비정질 Si 표면에서 핵생성되며 Si 원자 확산에 의해 결정립들이 결정체로 성장한다. 화학증착의 변수, 열처리 및 in-situ doping process들은 hemispherical 및 rugged Si 박막의 미세구조에 영향을 준다. 동일 두께에서는 고온에서 이루어질 때 혹은 동일 온도일 경우에는 얇은 박막층일 때에 하부전극의 표면들이 rugged poly Si 형상을 나타내며 이렇게 됨으로써 유효면적은 2.1배로 증가한다. 이와 같은 캐패시터 유효면적 증가는 대체로 높은 신뢰성을 갖는 두꺼운 절연막을 사용하면서 stack 캐패시터 구조의 높이를 감소시킬 수 있다. 따라서 이러한 제조기술은 차세대 캐패시터에 적용될 수 있다.

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The Development of Rugged Embedded Measurement System by Using PXI Bus

  • Yu, Jae-Taeg;Kim, Dae-Won;Goo, Sang-Haw;Lee, Jang-Myung
    • 제어로봇시스템학회:학술대회논문집
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    • 제어로봇시스템학회 2001년도 ICCAS
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    • pp.53.1-53
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    • 2001
  • We have used many Instrumentations to acquire the performance data of vehicles for many years. but these could not satisfied with environment specifications (vibration, shock, temperature) and data processing speed to applicate the performance test for armored military vehicles because of having developed as a common vehicles/fixed installation equipments. So new rugged embedded measurement system required to do large data acquisition and high processing speed (Maximum sample rate : 1.25MHz/ch) with rugged environment specifications. We have developed embedded measurement system by using PXI(PCI eXtension for Instrumentation)bus interface which were composed of stand alone controller and versatile data acquisition boards(analog, digital, vision ...

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입체표면 폴리실리콘 전극에서 PECVD $Ta_2O_5$ 유전박막의 전기적 특성 (Electrical Characteristics of PECVD $Ta_2O_5$ Dielectic Thin Films on HSG and Rugged Polysilicon Electrodes)

  • 조영범;이경우;천희곤;조동율;김선우;김형준;구경완;김동원
    • 한국진공학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.246-254
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    • 1993
  • DRAM 커패시터에서 축정용량을 증대시키기 위한 기초연구로서 2가지 방법을 시도하였다. 첫째로, 커패시터의 유효 표면적을 증대시키기 위해 HSG(hemispherical grain)와 rugged 형태의 표면형상을 갖는 폴리실리콘 전극을 저압 화학기상증착법을 이용하여 제잘하였다. 그 결과 기존의 평평한 폴리실리콘 전극에 비하여 유효면적이 증대된 폴리실리콘 전극이 형성되었다. 둘째로, 고유 전상수를 갖는 $Ta_2O_5$ 박막을 각각의 전극에 플라즈마 화학기상증착법으로 증착시키고 후열처리한 후 전기적 특성변화를 조사하였다. MIS(metal-insulator-semiconductor) 구조의 커패시터를 제작하여 전기적 특성을 측정한 결과, HSG와 rugged 형상의 표면을 갖는 전극에서 기존의 평평한 표면을 갖는 전극에 비하여 축전용량은 1.2~1.5배까지 증대하였으나, 주설전류는 표면적의 증가에 따라 함께 증가함을 보였다. TDDB 특성에서도 HSG와 rugged 형상의 표면을 갖는 전극들이 평평한 표면형상에 비하여 더 열화되었음을 보여주었다. 이상과 같은 결과는 $Ta_2O_5$ 유전박막을 이용한 차세대 DRAB 커패시터 연구에 기초자료로 이용될 수 있을 것으로 본다.

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TPI 응용에 의한 산악지형 분류기법의 적용을 위한 scale factor 선정방법 개발 (An Objective Procedure to Decide the Scale Factors for Applying Land-form Classification Methodology Using TPI)

  • 장광민;송정은;박경;정주상
    • 한국산림과학회지
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    • 제98권6호
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    • pp.639-645
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    • 2009
  • 이 연구는 우리나라의 산악형 산림지대의 지형을 분류하기 위한 방안으로 TPI를 응용하기 위해 수행되었다. 이 방법을 적용하기 위해서는 지형특성에 적합한 기초분석단위로 scale factor들이 요구된다. 따라서 본 연구에서는 scale factor를 결정하기 위한 객관적으로 결정하기 위한 방안을 제시하였다. 즉, 산지의 기복 패턴를 반영하기 위한 scale factor를 결정하기 위해 음영기복도를 이용하여 제작된 지형성장곡선으로부터 기울기변화도 곡선을 작성하였다. 기울기변화도 곡선을 이용하여 기복의 변화량이 최대가 되는 지점을 찾고, 그 극대점에서의 grid 크기를 찾아 지형 분류를 위한 scale factor로 결정하였다. scale factor 결정 알고리즘의 적용성을 검토하기 위하여 지형특성이 다른 3곳의 산악지대에 대한 scale factor를 도출하고, 지형분류를 수행하였다. 이 방법에 따른 연구결과 scale factor는 지형기복이 심할수록 짧아지는 경향이 있음을 보여주었다. 또한 TPI를 이용하여 분류한 능선과 계곡의 수가 종단면도를 이용한 방법과 유사하게 나타났고, scale factor의 크기가 대상지역의 능선 간 평균거리와 일치하는 경향이 있음을 보여주었다.

PXI 버스를 이용한 강인한 범용계측시스템 개발 (Development of Robust Embedded Measurement System by Using PXI Bus)

  • 유제택
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제10권2호
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    • pp.171-177
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    • 2004
  • Many instrumentations have been used to acquire the performance data of military systems fer many years. But they could not satisfy environmental specifications(vibration, shock, temperature) and processing speed to apply for the performance test of military systems because of having developed as common vehicles/fixed installation equipments. Thus a new rugged embedded measurement system is required to process large data in high processing speed(Maximum sample rate:1.25Mhz/ch) with rugged environmental specifications. We have developed embedded measurement systems by using PXI(PCI extension for Instrumentation)bus interface composed of a stand alone controller and versatile data acquisition boards(analog, digital, vision, temperature and small signal conditioner) on PC-based environment to solve these problems. Operation programs have been developed using Lab_View and the performances have been validated experimentally.

4WD 및 4WS이 가능한 로더 개발(I) (4륜 구동 변속기) (development of Loader Equipped with 4WD and 4WS (I) (4 Wheel Driving Transmission))

  • 조현덕
    • 한국생산제조학회지
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    • 제7권6호
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    • pp.141-148
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    • 1998
  • A loader is construction & road or agricultural machinery for lifting, moving, and mixing. This study deals with the agricultural mini loader for stock raising farming. The performance of the machine is established by pulling power, working lifting capacity, and minimum circling radius, etc. Also, driving easiness and endurance are very important in manufacturing. Thus, this study has developed the loader with the 4-wheel driving equipment by gear transmission, the 4-wheel steering equipment by power handle steering type, and the equipment making four wheels touch simultaneously on the rugged ground. The developed loader having these functions was very fit in a small cattle shed or a rugged ground. This study is divided into two parts; (I) development of 4WS transmission and (II) construction of the loader by 4WS system and other equipments.

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A Study on the Land Cover Characteristics in Korea : Application of Hybrid Classifier and Topographic Normalization

  • Jeon, Seong-Woo;Jung, Hui-Cheul;Chung, Sung-Moon;Lee, Sang-Ik
    • 대한원격탐사학회:학술대회논문집
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    • 대한원격탐사학회 1999년도 Proceedings of International Symposium on Remote Sensing
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    • pp.271-280
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    • 1999
  • The topographical effect resulted from rugged terrains and inhomogeneous spectral characteristics due to the complexly mixed land cover condition of Korea substantially lower the remotely sensed land cover classification accuracy In this study, a topographic correction method using digital elevation model to alleviate the topographic effects. To deal with inhomogeneous spectral characteristic, a hybrid classifier with inclusion of prior probabilities was introduced. This investigation concluded that the topographical normalization and hybrid classification with prior probabilities are effective on rugged landscape. The overall and average classification accuracies were improved by 0.92% and 1.016% respectively. The most substantial and noticeable accuracy improvement was observed in forest areas.

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상용 워크스테이션의 방진 (Isolation of a Commercial Workstation)

  • 이재홍;박혁성;권병현;안광철;박영필
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 1997년도 춘계학술대회논문집; 경주코오롱호텔; 22-23 May 1997
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    • pp.121-127
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    • 1997
  • Normal operation of a workstation in a ship must be secured under any circumstances. Rugged workstation has been imported and there have been many difficulties in maintaining that system such as high cost, delayed after-service and etc. For that reason, a commercial workstation is decided to replace the rugged workstation. But as there is no anti-vibration design in the commercial workstation, a passive vibration isolation system consisted with oil damper and spring is applied. Through theoretical study and experiments, the proposed vibration system is proved to work effectively and make the commercial workstation be able to be used in a ship.

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단일 궤도를 갖는 가변형 로봇 바퀴 구조 (Variable Shapes Single-Tracked of Belt Type Wheel Mechanism)

  • 김지홍;이창구
    • 제어로봇시스템학회논문지
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    • 제15권2호
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    • pp.198-202
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    • 2009
  • Urban Search and Rescue (USAR) involves locating, rescuing (extricating), and medically stabilizing victims trapped in confined spaces. In this paper we state the current approach to USAR, address the limitations and discuss the way for moving in rugged topography. To achieve objectives such as surveillance, reconnaissance, and rescue, it is necessary to develop a driving mechanism that can handle rugged geographical features. We propose a new type of driving mechanism for a rescue robot that has a variable shape single-track. By using a variety shapes, it can get the gain of steering and rotating and the ability to overcome stairs. In this paper, we analyzed the design parameters for making variable transform shapes and determined the specifications of the robot to enhance adaptability to stairs.

이동차량 및 탐사용 장비 분야에서 Jansen 메커니즘을 통하여 정숙성/굴곡지 형 이동성능 개선에 관한 연구 (Improvement based on Jansen mechanism in moving vehicles and exploration equipment sector.)

  • 박민제
    • EDISON SW 활용 경진대회 논문집
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    • 제5회(2016년)
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    • pp.516-517
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    • 2016
  • I use Jansen mechanism to reduce the unnecessary motion of car body and improve the motion performance capability in the rugged terrain To reduce the unnecessary motion, the positional variation of a main body of vehicle should be minimized. In order to reduce the change of height and control the speed at every moment when vehicle move, 16 legs or more are installed on a crankshaft and the paths of leg motions need to be considered in the rugged terrain. The vehicle will be optimized so that it produces a sufficient speed and torque for practical use. Finally, I designed proper body with Edison simulation. The simulation is good for beginners of mechanism design.

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