A Study on Alkali ion-Sensitivity of $Si_{x}O_{y}N_{z}$ Fabricated by Low Pressure Chemical Vapor Deposition
(저압화학기상 성장법으로 제작된 $Si_{x}O_{y}N_{z}$ 의 알칼리이온 감지성에 관한 연구)
-
- Journal of Sensor Science and Technology
- /
- v.6 no.3
- /
- pp.200-206
- /
- 1997