Ar/$O_2$ 에 따른 ZnO 박막의 C-축 배향성에 관한 연구
(A Study on C-axis Preferred Orientation of ZnO Thin Film at Ar/$O_2$ gas ratios)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제13권7호
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- pp.617-624
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- 2000