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잉크젯 프린팅을 이용한 저항형 고분자 습도센서 (Resistive Polymeric Humidity Sensor Fabricated with Ink-Jet Printing Technique)

  • 공명선;금내리
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.49-57
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    • 2004
  • 습도센서의 감습막으로 응용하기 위하여 폴리이온넨계 전해질 잉크를 제조하였다. 감습필름 은 금전극이 인쇄된 알루미나 기판 위에 잉크젯 인쇄 기법을 사용하여 도포 하였다. 또한 methyl methacrylate, acrylic acid, 2-hydroxyethyl methacrylate 그리고 [(2-methacryloyloxy)ethyl)ethyl]trimethylammonium chloride의 공중합체를 합성하였으며, 이것은 침적코팅에 의한 감습막 제조에 사용하였다. 상대습도에 따른 전기적 특성을 측정하였으며 침적코팅에 의한 습도센서와 비교하였다. 습도센서는 상대습도가 증가함에 따라서 저항의 감소함을 보여주었으며 그들의 저항특성은 시료간에 가깝게 일치함을 보여주었다.

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