Design and Fabrication of microheaters based oil polycrystalline 3C-SiC with large uniform-temperature area for high temperature (다결정 3C-SiC 기반으로 한 넓은 범위에서 균일한 온도 분포를 갖는 초고온용 마이크로 히터 설계 및 제작)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2009.06a
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- pp.214-215
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- 2009