A study on the formation and properties of TMDSO/$O_2$ thin film by the RF Plasma CVD
(RF Plasma CVD에 의한 TMDSO/$O_2$ 의 합성과 박막의 특성에 관한 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1991.11a
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- pp.265-268
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- 1991