• 제목/요약/키워드: photosensitive

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졸-침투와 감광성 직접-패턴 기술을 이용하여 스크린인쇄된 Pb(Zr,Ti)O3 후막의 하이브리드 제작 (Hybrid Fabrication of Screen-printed Pb(Zr,Ti)O3 Thick Films Using a Sol-infiltration and Photosensitive Direct-patterning Technique)

  • 이진형;김태송;박형호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.83-89
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    • 2015
  • 본 논문에서는 졸-침투와 직접-패턴 공정을 이용하여 향상된 압전 후막의 전기적 특성과 우수한 패터닝 특성을 동시에 만족할 수 있는 제작 방법을 제시한다. 저온(< $850^{\circ}C$) 공정 후 후막의 고밀도 및 직접-패턴의 목적을 달성하기 위해서, 감광성 티탄산 지르콘산 연 ($Pb(Zr,Ti)O_3$, PZT) 졸을 스크린인쇄된 PZT 후막 내부로 침투시켰다. 직접-패턴된 PZT막은 포토크롬마스크와 UV 조사에 의해서 일정한 간격으로 인쇄된 후막 위에 성공적으로 형성되었다. 스크린인쇄된 후막은 분말형태의 기공성 구조를 갖고 있어 조사된 UV빛이 산란되기 때문에, 감광성 졸-침투 공정을 할 때 PZT 후막의 특성을 증가시키기 위한 공정의 최적화가 필요하다. 침투된 감광성 PZT 졸의 농도, 조사된 UV 시간 및 용매 현상 시간을 최적화한 결과, 0.35 M의 PZT 농도, 4 분의 UV 조사시간과 15 초의 용매 현상시간으로 졸-침투된 PZT 후막은 $800^{\circ}C$ 소결 온도에서 입자들의 성장에 의해 치밀화 정도가 증가되었다. 또한 PZT후막의 강유전 특성(잔류분극 및 항복 전압)도 향상되었다. 특히 잔류분극값은 스크린인쇄된 후막보다 약 4배정도 증가되었다. 이렇게 제작된 후막은 어레이타입의 압전형 마이크로미터크기의 센서 및 액츄에이터 등에 응용 가능성을 제시할 수 있었다.

감광성 수지로 제작된 위조 인영의 특성에 관한 연구 (A Study On Characteristics Of Forged Sealing Made Of Photosensitive Resin)

  • 한상덕;정양권;최재호
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제7권6호
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    • pp.1385-1391
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    • 2012
  • 문서 전체의 진정 성립의 요건을 위해서는 문서에 날인된 인영이 작성한 사람의 도장에 의한 인영임이 인정되어야 한다. 그러나 문서에 날인된 인영을 이용한 모각에 의한 위조, 전사에 의한 위조, 컴퓨터 도장조각기에 의한 위조, 감광성 수지를 이용한 위조 등이 범람하고 있다. 그 가운데 가장 손쉬운 위조 방법 중의 하나는 감광성 수지판을 이용한 방법이다. 이 방법은 원본 인영을 이용하여 네거티브 필름을 제작하고 이를 수지판에 밀착하여 자외선을 조사하는 작업 등을 통해 원본 그대로의 위조 도장을 제작하는 것이다. 그러나 이에 대한 충분한 연구가 없어 실제 수지 인영을 사용한 위조 인영의 감정에 상당한 어려움을 겪고 있는 실정이다. 그런 이유로 위조 도장 제작에 대한 통제가 이루어지지 않는다면 감광성 수지를 이용한 위조범죄는 계속 늘어날 것이다. 이에 본 연구에서는 굵고 가는 획으로 조각된 두 종류의 원본 도장을 이용하여 10개의 수지 도장을 제작하고 날인한 후 인영감정 방법을 통하여 원본 인영과 위조 인영간의 차이점을 분석하였다. 그 결과 원본 인영과 위조 인영 간에는 통계적으로 유의한 차이가 있는 것을 확인하였다.

Crystallization in Li$_2$O-A1$_2$O$_3$-SiO$_2$ Glass induced by 355 nm Nd:YAG Laser Irradiation

  • Lee, Yong-Su;Kang, Won-Ho
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.43-46
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    • 2000
  • Nd:YAG laser of 355 nm wavelength, which amounts to 3.5 eV, produced by a harmonic generator was used to create Ag metallic particles as seeds for nucleation in photosensitive glass containing $Ag^+$ and $Ce^{3+}$ . The pulse widths and frequency of the laser were 8ns and 10 Hz, respectively. For crystalline growth, heat-treatment following laser irradiation was carried out at $570^{\circ}C$ for 1h. Then, the $LiAlSi_3O^8$ crystal phase appeared in the laser irradiated lithium aluminum silicate glass. We present the effect of laser-induced nucleation compared with spontaneous nucleation by heat treatment fur crystallization in the glass.

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건식법을 이용한 폴리이미드 박막의 제조 및 광특성 (A Study of The Photosensitive Characteristic and Fabrication of Polyimide Thin Film by Dry Processing)

  • 이붕주
    • 전기학회논문지
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    • 제56권1호
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    • pp.139-141
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    • 2007
  • Thin films of polyimide (Pl) were fabricated by a vapor deposition polymerization method (VDPM) and studied for the photosensitive characteristic. Polyamic acid (PAA) thin films fabricated by vapor deposition polymerization (VDP) from 6FDA and 4-4' DDE were converted to PI thin films by thermal curing. From AFM and Ellipsometer experimental, the films thickness was decreased and the reflectance was increased as the curing temperature was increased. Those results implies that thin film is uniform. From UV-Vis spectra, PI thin films showed high absorbance in 225 $\sim$ 260 [nm] region.