• 제목/요약/키워드: penetrated channeling crack

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전해 Cr/Ni-P 도금막의 열 사이클 신뢰성 및 균열거동 분석 (Thermal Cycle Reliabilties and Cracking Characteristics of Electroplated Cr/Ni-P Coatings)

  • 이진아;손기락;이규환;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.133-140
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    • 2019
  • 열 사이클 조건이 전해 Cr/Ni-P 이중도금 시편의 접합강도 및 균열성장거동에 미치는 영향을 분석하였다. 전해 Ni-P 도금층을 열처리를 통해 결정화 시킨 후 전해 Cr 도금 후 한번 더 열처리한 결과, Cr/Ni-P 계면에서 상호확산으로 인해 Cr-Ni 고용체 band layer가 관찰되었다. 열 사이클 전 접합강도는 25.6 MPa이였으나, 1,000사이클 후 Cr 도금층의 균열 밀도 및 표면 거칠기 증가로 인해 도금층과 접착제 사이의 기계적 고착효과가 향상되어 접착제와 Cr 도금층 사이에서 박리되었고, 접합강도는 47.6 MPa로 점차적으로 증가하였다.