GMT secondary mirror system consists of 7 segmented adaptive mirrors. Each segment consists of a thin shell mirror, actuators and a reference body. The thin shell has a few millimeters of thickness so that it can be easily bent by push and pull force of actuators to compensate the wavefront disturbance of light due to air turbulence. The one end of actuator is supported by the reference body and the other end is adapted to this thin shell. One of critical role of the reference body is to provide the reference surface for the thin shell actuators. Therefore, the reference body is one of key components to succeed in development of GMT ASM. Recently, Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) and University of Arizona (UA) has signed a contract that they will cooperate to develop the first set of off-axis reference body for GMT ASM. This project started August 2021 and will be finished in Dec. 2022. The reference body has total 675 holes to accommodate actuators and 144 pockets for lightweighting. The rear surface has a curved rib shape with radius of curvature of 4387 mm with offset of 128.32mm. Since this reference body is placed just above the thin shell so that the front surface shape needs to be close to that of thin shell. The front surface has a concave off-axis asphere, of which radius of curvature is 4165.99 mm and off-axis distance is about 1088 mm. The material is Zerodur CTE class 1 (CTE=0.05 ppm/oC) from SCHOTT. All the actuator holes and pockets are machined normal to the front surface. It is a very complex challenging optical elements that involves sophisticated machining process as well as accurate metrology. After finishing the fabrication of reference body in KRISS, it will be shipped to UA for final touches and finally sent to Adoptica in Italy, in early 2023. This paper presets the development plan for the GMT ASM Reference Body and relevant fabrication and metrology plans.
This paper presents the real time control method of 5-axis NC machine for high precision and productivity based on the curvature theory, of a ruled surface. The trajectory, of NC machine is described by, way of a ruled surface generated by the points on part surface and tool axis direction vector. The curvature theory, of a ruled surface is then applied to deter-mine the motion parameters of the 5-axis machine for control. The controller computes position, orientation, and differential motion parameters of the tool in each sampling period. The real-time approach produces smoother surfaces and requires substantially less machining time compared to conventional off-line approaches. The propose real-time control method based of the curvature theory of a ruled surface may give new methodology of precision 5-axis machine control.
본 논문에서는 연안 지역 저고도 원격측정을 위한 소형 무인항공기 용 초분광센서 개발의 일환으로 비축 삼반사경 전단광학계의 설계와 성능분석 결과를 제시하였다. 이 광학계는 수 cm의 공간해상도(4cm@500m 운영고도)와 $4^{\circ}$의 시야각, 그리고 신호대 잡음비 100(@660 nm) 이상의 요구사항을 만족시키기 위하여, 70 mm의 입사동 크기와 개구수 5.0으로 설계 사양을 가지는 비구면의 주경과 부경이 포함된 비축 삼반사경 형태로 설계되었다. 본 설계의 광학성능은 $1/15{\lambda}$ 이하 RMS 파면오차 성능과 0.75이상의 MTF 성능(@660 nm)이 기대된다. 제작과 조립 단계를 고려하여 민감도 분석을 통해 3 반사경을 정렬 보상자로 선정하였으며, 경사 공차범위는 요소별로 0.17 mrad 으로 결정되었다. 이 비축 삼반사경 광학설계는 기존 초분광센서의 전단광학계에 비해 높은 광학성능을 보이고, 소형 무인항공기에 맞추어 경량화가 가능하도록 제작 기반을 설정하여, 향후 연안 원격탐사 연구에 활용될 예정이다.
본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.
일차원적 비균일 진폭변조가 광학계 MTF에 미치는 영향을 조사하였다. 시험평가 렌즈는 국산 유효경 10 mm, 초점거리 87.8 mm인 이중렌즈를 택하였다. 시험렌즈의 수차특성은 축상과 시계각 1.deg.와 2.deg.인 비축에 대해 각각 ray-fan과 파면수차를 계산하여 그림으로 도시하였다. 진폭변조는 시험렌즈 앞에 근접하여 진폭변조판을 위치함으로 이루어진다. 진폭변조판은 계단식으로 투과도가 다른 것과 선형적으로 투과도가 변하는 것을 사용하였다. 진폭변조하지 않았을 때 60 cycles/milimeter(c/mm)의 공간주파수에서 최대 MTF값을 가지는 상평면을 최적 상평면으로 결정하였다. 진폭변조의 경우와 변조하지 않은 경우에 대하여 MTF를 측정해서 그 값을 서로 비교하였다. 축상에서는 변조할 경우 MTF값이 변조하지 않은 경우에 비해 약간 저조하나 축외에서 변조할 경우에는 MTF 값이 시계각이 클수록 많이 증진되었다.
This paper presents a method of grinding and polishing automation of precision die after CNC machining. The method employs a robot system equipped with a pneumatic spindle and a special abrasive film pad. The robote program is automatically generated off-line from a PC and downloaded to robot controller. Position and orientation data for the program is supplied from cutter contact (CC) data of NC machining process. This eliminates separate robot teaching process. This paper aims at practical automation of die finishing process which is very time consuming and suffering from shortage of workpeople. Time loss for changeover from one product to next is eliminated by off-line programming exploiting appropriate NC machining data. Dextrous 6-axis robot with rigid wrist and simple tooling enables the process applicable to larger, rather complex 3 dimensional free surfaces
The time variation in the Kuroshio is studied by use of nine observed distances of the main Kuroshio axis from the Japanese coast. The observed distances over 1975 - 1995 are estimated from the Prompt Report of Oceanographic Conditions published by Hydrographic Department of the Maritime Safety Agency of Japan. It is shown that large sea level difference between Naze and Nishinoomote, which represents the volume transport of the southern inflow south of Kyushu, coincides with larger distance of the Kuroshio in the upstream area from off Kyushu to off eastern Kii Peninsula and smaller distance in the downstream area from off Omae-zaki to off Boso Peninsula. In contrast, large sea level difference between Nishinoomote and Aburatsu, which represents the volume transport of northern inflow south of Kyushu, corresponds to smaller distance in the upstream area and larger distance in the downstream area. Path dynamics of the Kuroshio is discussed with reference to the variation in Volume transport south of Kyushu.
This paper presents a method of grinding and polishing automation of precision die after CNC machining. The method employs a robot system equipped with a pneumatic spindle and a special abrasive film pad. The robot program is automatically generated off-line program form a PC and downloaded to robot controller. Position and orientation data for the program is supplied form cutter contact (CC) data of NC machining process. This eliminates separate robot teaching process. This paper aims at practical automation of die finishing process which is very time consuming and suffering from shortage of workpeople. Time loss due to changeover from one product to another is eliminated by PC off-line programming exploiting appropriate NC machining data. Dextrous 6-axis robot with rigid wrist and simple tooling enables the process applicable to larger, rather complex 3 dimensional free surfaces.
Loading/Unloading task in the real industry is performed by crane, but most of the loading/unloading task with the weight of 5kg∼30kg is done by human workers and this kind of work causes industrial disaster of workers. Therefore it is necessary to develop low cost loading/unloading manipulator system to prevent this kind of industrial accidents. This paper is concerned with the design and fabrication of 2 axis pneumatic manipulators using on/off solenoid valves and accurate position control without respect to the external load and low damping in the pneumatic rotary actuator. To overcome the change of external load, switching of control parameter using LVQNN (Learning Vector Quantization Neural Network) is newly applied, which estimates the external loads in the pneumatic cylinder. As an underlying controller, a state feedback controller using position, velocity and acceleration is applied to the switching control system. The effectiveness of the proposed control algorithms are demonstrated through experiments of pneumatic cylinder with various loads.
In this paper, a novel algorithm for increasing the steady state efficiency during light load operation of the induction generator that integrated with a wind power generation system is presented. The proposed algorithm based on the flux level reduction, where the flux level is estimated using Support-Vector -Machines for regression (SVR) for the optimum d-axis current of the generator. SVR is trained off-line to estimate the unknown mapping between the system's inputs and outputs, and then is used online to calculate the optimum d-axis current for minimizing generator loss. The experimental results show that SVR can define the flux-power loss accurately and determine the optimum d-axis current value precisely. The loss minimization process is more effective at low wind speed and the percent of power saving can approach to 40%.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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