Currently miniaturized electron-optical columns find their way into electron beam lithography systems. For better lithography process, it is required to make smaller spot size and longer working distance. But, the micro-columns of the multi-beam lithography system suffer from chromatic and spherical aberration, even when the electron beam is exactly on the symmetric axis of the micro-column. The off-axis error of the electron emitting source is expected to become worse with increasing off-axis distance of the focusing spot. Especially the electron beams far from the system optical axis have a non-negligible asymmetric intensity distribution in the micro-column. In this paper, the effect of the off-axis e-beam source is analyzed. To analyze this effect is to introduce a micro-column model of which the e-beam emitting source is aligned with the center of the electron beam by shifting them perpendicular to the system optical axis. The presented solution can be used to analysis the performance of the multi-electron-beam system. The performance parameters, such as the working distances and the focusing position are obtained by the computational simulations as a function of the off-axis distance of the emitting source.
Kim Jeung-kee;Choi Young-Min;Lee Hyung-Sik;Hur Won-Joo
Radiation Oncology Journal
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v.14
no.3
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pp.237-244
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1996
Purpose : The accurate dosimetry of independent collimator equipped for 6MV and 15MV X-ray beam was investigated to search for the optimal correction factor. Materials and Methods : The field size factors, beam quality and dose distribution were measured by using 6MV, 15MV X-ray Field size factors were measured from $3{\times}3cm^2$ to $35{\times}35cm^2$ by using 0.6cc ion chamber (NE 2571) at Dmax. Beam qualities were measured at different field sizes, off-axis distances and depths. Isodose distributions at different off-axis distance using $10\times10cm^2$ field were also investigated and compared with symmetric field. Result: 1) Relative field size factors was different along lateral distance with maximum changes in $3.1\%$ for 6MV and $5\%$ for 15MV. But the field size factors of asymmetric fields were identical to the modified central-axis values in symmetric field, which corrected by off-axis ratio at Dmax. 2) The HVL and PDD was decreased by increasing off-axis distance. PDD was also decreased by increasing depth For field size more than $5{\times}cm^2$ and depth less than 15cm, PDD of asymmetric field differs from that of symmetric one ($0.5\~2\%$ for 6MV and $0.4\~1.4\%$ for 15MV). 3) The measured isodose curves demonstrate divergence effects and reduced doses adjacent to the edge close to the flattening filter center was also observed. Conclusion . When asymmetric collimator is used, calculation of MU must be corrected with off-axis and PDD with a caution of underdose in central axis.
An off-axis system refers to an optical system in which the optical axis and normal vector at the vertex of each surface do not match. The most important specification in an optical system is its focal length. Among the various methods for measuring the focal length, the most suitable method for the off-axis system is the method that adopts magnification. However, head-mounted display (HMD) optics must be measured while considering the virtual image distance, which is not infinity owing to product characteristics. For the virtual image distance, a camera with a focusing function was used. By measuring HMD optics via this magnification method, the error generated in this measurement was 0.68% of the HMD's focal length, which is within the 1%-3% range of the conventionally permitted design error for the focal length allowed at the optical design stage. Therefore, it can be verified that the measurement accuracy of the method proposed in this study is sufficiently feasible in practice.
Micro array lens systems are designed for a faximile or copy machine. The array type is hexagonal. Diameter of a lens is 0.16 mm and the distance of the center of the nearest neighbor is 0.192 mm. The magnitude of the lens system is 1:1. Working distane is 10.55 mm and the spot size is less than 0.04 mm radius on axis and 0.20 mm off-axis in case of single layer system. Working distance is 7.90 mm and the spot size is less than 0.07 mm radius on axis and 0.09 mm radius off axis in case of double layer system. Performance of single layer micro array lens system and double layer micro array lens system are compared with the characteristics of the ray fans.y fans.
The time variation in the Kuroshio is studied by use of nine observed distances of the main Kuroshio axis from the Japanese coast. The observed distances over 1975 - 1995 are estimated from the Prompt Report of Oceanographic Conditions published by Hydrographic Department of the Maritime Safety Agency of Japan. It is shown that large sea level difference between Naze and Nishinoomote, which represents the volume transport of the southern inflow south of Kyushu, coincides with larger distance of the Kuroshio in the upstream area from off Kyushu to off eastern Kii Peninsula and smaller distance in the downstream area from off Omae-zaki to off Boso Peninsula. In contrast, large sea level difference between Nishinoomote and Aburatsu, which represents the volume transport of northern inflow south of Kyushu, corresponds to smaller distance in the upstream area and larger distance in the downstream area. Path dynamics of the Kuroshio is discussed with reference to the variation in Volume transport south of Kyushu.
Anh, Nguyen Nu Hoang;Rhee, Hyug-Gyo;Kang, Pilseong;Ghim, Young-Sik
Current Optics and Photonics
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v.6
no.1
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pp.44-50
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2022
An off-axis zone plate is able to focus on a single order while neglecting the zeroth order in a visible imaging system. This allows one to enhance the contrast quality in diffractive images, which is the major advantage of this type of zone plate. However, most previous reflection zone plates are used in focusing X-rays with a small grazing incident angle and are intricately designed with the use of a local grating period. In this study, we suggest the design of an off-axis elliptical zone plate (EZP) that is used to focus a monochromatic light beam with separation between the first and unfocused orders under a large grazing incident angle of 45°. An assumption using the total grating period, which depends on the average and constant grating period, is proposed to calculate the desired distance between the first and zeroth order and to simplify the construction of a novel model off-center EZP. Four diffractive optical elements (DOEs) with different parameters were subsequently fabricated by direct laser lithography and then verified using a performance evaluation system to compare the results from the assumption with the experimental results.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.9
no.5
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pp.14-19
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2010
A computational study was carried out to analyze the characteristics of supersonic (Mach 2.0) coaxial/off-axis jet's impingements on a slanted kerf surface in laser machining. The effects of various parameters such as gas pressure, distance between nozzle exit and kerf edge surface, and application of off-axis nozzles on the impingement phenomena of the assist-gas on kerf surface were observed. The present study showed that simply increasing the assist-gas pressure for coaxial supersonic nozzle was not effective to alleviate the strength of flow separation on kerf surface. It also presented the optimized operating condition of the coaxial nozzle to have the highest skin friction values over kerf surface.
The Journal of Korean Society for Radiation Therapy
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v.16
no.1
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pp.1-9
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2004
Purpose : The aim of this study is to investigate the properties of small field size and to measure the penumbra and central axis depth dose varying to the jaw setting and off axis distance for indicate this data to small field sizes radiation therapy. Material and methods : The percentage depth dose, beam profile and central axis output dose was measured by farmer type ion chamber and pinpoint chamber using Primart linac with 6MV energy. Beam quality and penumbra variations according to the central axis shift, from center to every 2cm outside increment, and field size, from $1{\times}1cm$ to $10{\times}10cm$ was investigated and compared with that of the standard geometrical condition's results Results : The differences of measured values between two ion chamber was about $37\%$ at 10cm depth with $1{\times}1cm$ field sizes but as field size increased this differences was diminished gradually. Measured data from various off axis distance with the different asymmetric collimations are not changed significantly but as size decreased the dose variation was increased and at $1{\times}1cm$ field size dose difference among off axis distance was as much as $13\%$, and as shallower the measured depth the central axis dose variations among the OAD was increased, penumbra was not changed noticeably depending on off axis distance but the percentage of penumbra from its initial field sizes was strongly dependant on field sizes and penumbra occupation rates of its own field sizes ranging from $6\%$ at $10{\times}10cm$ to $50\%$ at $1{\times}1cm$ field size. Conclusion : For imrt treatment, there are several numbers of different gentry angles with beams of nonuniform fluences are required and several complex factors involved. Among them the characteristics of beam output varying to the geometrical setting and design of collimators are of important to attaining a good treatment results. As mentioned in results the differences of measured values are changed significantly depends on ion chamber volume, depths and field size. For providing quality radiation treatment, especially at small field size, those factor's should have considering deliberately.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2006.05a
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pp.611-614
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2006
Resolution 122 requires to study power limitation applicable for HAPS ground stations to facilitate sharing with space station receivers in 47/48GHz bands. ITU-R Recommendation 1481-1 recommends to improve the side lobe characteristics of HAPS ground station antenna for sharing between FSS system and HAPS system. Thus, in this paper, we propose maximum allowable off-axis e.i.r.p. level of HAPS ground station antennas by considering power limitation to HAPS ground station in Resolution 122 in order to reduce unfeasible separate distance between HAPS and GSO FSS service coverage and improve the side lobe characteristics of HAPS ground station antennas in Recommendation SF.1481-1.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.11
no.3
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pp.459-464
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2007
Resolution 122 requires to study power limitation applicable for HAPS ground stations to facilitate sharing with space station receivers in 47/48GHz bands. ITU-R Recommendation 1481-1 recommends to improve the side lobe characteristics of HAPS ground station antenna for frequency sharing between FSS system and HAPS system. In this paper, we propose the maximum allowable off-axis e.i.r.p. level of HAPS ground station antennas by considering power limitation to HAPS ground station in Resolution 122, and by improving the side lobe characteristics of HAPS ground station antennas in Recommendation SF.1481-1. The simulation results show that the unfeasible sharing distance between HAPS ground station and FSS earth station can be reduced remarkably, and give the possibility of frequency sharing between two above systems.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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