RF-PACVD를 이용한 Hydrogenated Carbon Nitride박막의 합성 및 특성에 관한 연구 (Study on characterization of hydrogenated carbon nitride thin films prebared by Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1998년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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- pp.856-857
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- 1998