• Journal of Chest Surgery
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• 제32권7호
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• pp.603-612
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• 1999

연구배경: 짧은 기간 동안 허혈-재관류를 반복(ischemic preconditioning, IP)할 경우 후속되는 보다 긴 기간 동 안의 허혈에 대하여 재관류시 심근의 수축기능 회복이 증가, 심근괴사 범위 감소 등의 심근보호효과가 있음 은 여러 가지 동물실험으로 밝혀졌으며 인간의 심장에서도 유사한 효과가 나타나는 것으로 보고되고 있다. 최근 칼슘이 매개가 되어 protein kinase C(PKC)의 활성화가 일어남으로서 IP효과가 나타날 것이라는 실험결 과들이 제시되고 있으나 논란이 많다. 본 연구에서는 적출 토끼심장을 이용하여 칼슘이 심근세포내의 PKC 활성도에 어\ulcorner 영향을 미치는가를 연구하고자 하였다. 대상 및 방법: 적출관류 흰토끼 심장을 이용하여 관 류를 차단하는 방법으로 전체허혈을 유도하였으며 전체허혈(5분), 재관류(10분)를 1회 실시하여 IP를 유도하 고 45분 동안 전체허혈후 120분 동안 재관류를 실시하였다(IP군, n=13). 허혈 대조군(n=10)에서는 IP없이 45 분 동안 전체허혈후 120분 동안 재관류를 실시하였다. 칼슘투여군에서는 5분 동안 허혈후 10분 동안 10 (n=10) 또는 20 mM(n=11)의 칼슘을 포함한 관류액으로 관류하고 이어서 45분 동안 전체허혈과 120분 동안 재관류를 실시하였다. 전 실험 기간 동안 좌심실기능, 관혈류를 측정하였으며 실험 종료 후 PKC-specific peptide와 32P-${\gamma}$-ATP incorporation으로 PKC활성도(nmol/g tissue)를 측정하였다. 심근괴사 크기는 1% tetra zolium chloride로 염색하여 형태계측하였다. 결과: IP를 실시한 결과, LVDP(left ventricular developed pressure), 심근수축력, 관혈류 등은 허혈 대조군에 비하여 현저히 증가하였으며(p<0.05) 이완말기압의 상승폭은 저하되 었고(p<0.05) 심근괴사 크기는 38%에서 20%로 감소하였다(p<0.05). 칼슘투여군에서는 LVDP, 심근수축력, 관 혈류 등에는 허혈 대조군에 비하여 큰 차이가 없거나 오히려 저하되었으나 심근괴사 크기는 19~23%로 현 저히 감소하였다(p<0.05). 세포질분획의 PKC활성도(nmol/g tissue)는 IP군, 칼슘투여군에서 각각 5.98$\pm$0.57, 6.30$\pm$0.24(20 mM 칼슘 전처치군), 4.19$\pm$0.39(10 mM 칼슘 전처치군)로 기준(7.31$\pm$0.31)에 비하여 특히 10 mM 칼슘 전처치군에서 유의하게 감소하였으며(p<0.01), 세포막분획의 PKC활성도는 각각 4.00$\pm$0.14, 2.50$\pm$ 0.31, 4.02$\pm$0.70으로 기준(1.84$\pm$0.21)에 비하여 IP군과 10 mM 칼슘 전처치군에서 유의하게 증가하였다 (p<0.05). 그러나 허혈대조군에서는 두 분획 모두 기준선과 비교하여 큰 차이가 없었다. 결론: 이상으로 적출 관류 토끼심장에서 장시간 동안의 허혈전 높은 농도의 칼슘으로 전처치하면 허혈후 재관류시 심근기능의 회 복증가는 기대하기 어려우나 IP와 유사한 심근괴사 범위 감소효과가 있으며 이러한 효과는 아마도 칼슘의 매개에 따라 PKC활성화가 일어남으로써 나타나는 것으로 생각된다.

• 지능정보연구
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• 제26권1호
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• pp.135-149
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• 2020

인공지능을 기반으로 한 다양한 연구들이 현대사회에 많은 변화를 불러일으키고 있다. 금융시장 역시 예외는 아니다. 로보어드바이저 개발이 활발하게 진행되고 있으며 전통적 방식의 단점을 보완하고 사람이 분석하기 어려운 부분을 대체하고 있다. 로보어드바이저는 인공지능 알고리즘으로 자동화된 투자 결정을 내려 다양한 자산배분 모형과 함께 활용되고 있다. 자산배분 모형 중 리스크패리티는 대표적인 위험 기반 자산배분 모형의 하나로 큰 자산을 운용하는 데 있어 안정성을 나타내고 현업에서 역시 널리 쓰이고 있다. 그리고 XGBoost 모형은 병렬화된 트리 부스팅 기법으로 제한된 메모리 환경에서도 수십억 가지의 예제로 확장이 가능할 뿐만 아니라 기존의 부스팅에 비해 학습속도가 매우 빨라 많은 분야에서 널리 활용되고 있다. 이에 본 연구에서 리스크패리티와 XGBoost를 장점을 결합한 모형을 제안하고자 한다. 기존에 널리 사용되는 최적화 자산배분 모형은 과거 데이터를 기반으로 투자 비중을 추정하기 때문에 과거와 실투자 기간 사이의 추정 오차가 발생하게 된다. 최적화 자산배분 모형은 추정 오차로 인해 포트폴리오 성과에서 악영향을 받게 된다. 본 연구는 XGBoost를 통해 실투자 기간의 변동성을 예측하여 최적화 자산배분 모형의 추정 오차를 줄여 모형의 안정성과 포트폴리오 성과를 개선하고자 한다. 본 연구에서 제시한 모형의 실증 검증을 위해 한국 주식시장의 10개 업종 지수 데이터를 활용하여 2003년부터 2019년까지 총 17년간 주가 자료를 활용하였으며 in-sample 1,000개, out-of-sample 20개씩 Moving-window 방식으로 예측 결과값을 누적하여 총 154회의 리밸런싱이 이루어진 백테스팅 결과를 도출하였다. 본 연구에서 제안한 자산배분 모형은 기계학습을 사용하지 않은 기존의 리스크패리티와 비교하였을 때 누적수익률 및 추정 오차에서 모두 개선된 성과를 보여주었다. 총 누적수익률은 45.748%로 리스크패리티 대비 약 5% 높은 결과를 보였고 추정오차 역시 10개 업종 중 9개에서 감소한 결과를 보였다. 실험 결과를 통해 최적화 자산배분 모형의 추정 오차를 감소시킴으로써 포트폴리오 성과를 개선하였다. 포트폴리오의 추정 오차를 줄이기 위해 모수 추정 방법에 관한 다양한 연구 사례들이 존재한다. 본 연구는 추정 오차를 줄이기 위한 새로운 추정방법으로 기계학습을 제시하여 최근 빠른 속도로 발전하는 금융시장에 맞는 진보된 인공지능형 자산배분 모형을 제시한 점에서 의의가 있다.

• 한국유통학회지:유통연구
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• 제15권3호
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• pp.1-34
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• 2010

본 연구의 목적은 국내 외식 프랜차이즈 시스템에서 가맹점에 대한 가맹본부의 관계품질에 영향을 미치는 변수를 사후 지원서비스로 설정하고, 사후 지원서비스가 가맹점의 관계품질(신뢰, 만족, 몰입)과 경영성과(재무적 성과, 비재무적 성과)에 미치는 영향에 대한 포괄적인 모형을 개발하는 것이다. 제안된 모형을 검증하기 위하여 서울 및 경기 지역의 외식 프랜차이즈 가맹점 경영자 500명을 대상으로 설문 조사를 하여, 구조방정식을 통해 실증 분석하였다. 분석결과는 다음과 같다. 첫째, 사후 지원서비스 요인 중 제품범주 및 가격 요인과 정보제공 및 문제해결 능력 요인은 가맹점의 만족과 몰입에만 영향을 미치는 것으로 나타났다. 둘째, 물류지원과 슈퍼바이저 지원 요인은 신뢰와 만족에만 영향을 미치는 것으로 나타났다. 셋째, 재교육 및 훈련지원 요인은 가맹점의 신뢰와 몰입에만 영향을 미치는 것으로 나타났다. 넷째, 판매촉진 요인은 신뢰 만족, 그리고 몰입 모두에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 다섯째, 관계품질요인들 간의 관계는 신뢰가 만족에 긍정적인 영향을 미치지만 몰입에는 직접적으로 영향을 미치지 못하고, 만족을 통해서 몰입에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 여섯째, 신뢰는 재무적 성과에만 긍정적인 영향을 미치고, 만족과 몰입은 재무적 성과와 비재무적 성과 모두에 긍정적 영향을 미치는 것으로 나타났다. 마지막으로 본 연구의 결과요약과 시사점, 그리고 연구의 한계점과 향후 연구방향이 제시되었다.

• 헤리티지:역사와 과학
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• 제53권4호
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• pp.234-249
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• 2020

정릉(신덕왕후릉)의 축조와 이장에 얽힌 논란은 조선 초기, 신구(新舊) 지배 이데올로기 사이의 충돌이 잘 드러난 사례이다. 태조의 경처였던 신덕왕후 강씨의 무덤은 도성 안에 조성되지만 태조 사후, 태종에 의해 도성 밖으로 이장되고 그곳에 남아 있던 석물들은 청계천의 광통교를 보수하는데 쓰인다. 야사에서는 태종이 강씨를 저주하기 위해 도성 밖으로 능을 옮기고 남은 석물들로 광통교를 만들어 사람들이 밟고 다니게 했다고 전한다. 태조 말년, 강씨와 태종은 대립하던 관계였으나 태조가 왕으로 옹립되기 전까지는 오히려 정치적 동반자에 가까웠다. 정릉이나 광통교와 관련된 실록의 기록은 더 담백하다. 정릉의 천장은 능묘가 도성 안에 있는 것이 적합하지 않다는 의정부의 상언을 따른 것이다. 광통교 개수를 위해 정릉을 격하하고 이장시켰다는 주장에는 사실 관계가 반영되어 있지 않다. 논자는 광통교 개수에 정릉의 석물이 재사용된 것에 대해 당시 도성 안팎에서 건축자재소요량이 급증하여 효율적인 조달 필요성이 대두되었을 가능성을 상정하였다. 정릉이 도성 안에 조성되었다가 다시 도성 바깥으로 이장된 원인은 태조와 태종이 가졌던 사상적 배경의 이질성에서 찾았다. 태조는 유교국가의 통치자였으나 죽은 왕비를 위해 도성 내에 원찰과 무덤을 조성한다. 여기에는 불교의 힘을 빌려 죽은 신덕왕후의 권위를 위의하고 지지세력을 규합하고자 한 노림수가 있었다. 원의 다루가치 집안에서 태어나 지방군벌로 성장한 이성계는 높은 유학적 소양을 가지지는 못했던 것으로 생각된다. 오히려 호불적 성향을 띄는 구체제의 인물이었다. 반면 태종 이방원은 고려 말 과거시험에 급제했던 엘리트 유생이었으며 주자학에 대해서도 깊이 이해하고 있었다. 다시 말해 유교국가에서 도성이 가지는 상징성에 대한 이해가 더 깊었을 것이라고 말할 수 있다. 삼국시대 이후, 율령에 의해 통치되는 국가 시스템이 정립된 이래로 도성 바깥에 무덤을 만드는 경외매장의 원칙은 거의 예외 없이 지켜져 왔다. 정릉은 태조 개인의 강한 의지로 도성 내부에 조성되지만 왕 이전에 유학자였던 태종에게 이러한 모습은 바람직하게 보이지 않았을 것이다. 태종은 즉위 후, 주도적으로 도성 재정비를 추진하는데 이는 '예치'를 강조하는 유교 이데올로기를 한양도성의 경관에 명확하게 구현하고자 한 의지의 발현으로 보여진다. 정릉의 이장도 이러한 역사적 배경 아래 진행되었던 일로 이해하는 것이 바람직할 것이다.

• 자원환경지질
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• 제56권2호
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• pp.125-138
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• 2023

수계 내 세슘(cesium: Cs)을 제거하기 위하여 개발된 대부분의 기존 Cs 흡착제들은 원재료 값이 고가라는 단점과, 해수와 같이 높은 이온 강도와 낮은 Cs 농도를 가지는 대규모의 오염수를 실질적으로 정화하는데 한계를 가지고 있었다. 본 연구에서는 석탄광산배수를 처리하는 과정에서 생성되는 슬러지(CMDS)에 Na와 S를 첨가하여 친환경적이고 높은 Cs 제거 효율을 가지는 Cs 흡착제를 개발하였다. Fe 및 Ca 함량이 풍부한 CMDS를 1차 소재로 사용하였고, 열처리 과정으로 Na와 S를 첨가하여 새로운 Cs 흡착제를 제조하였다(이하 본 연구에서 개발한 흡착제는 Na-S-CMDS라 명명함). Na-S-CMDS의 Cs 흡착능 및 흡착 기작을 평가하기 위해 실험실 규모의 실험과 흡착 동역학 및 등온 모델링 연구를 수행하였으며, XRF, XRD, SEM/EDS, XPS 등의 분석을 통해 Na-S-CMDS의 물리화학적, 광물학적 특성을 조사함으로써 Cs 흡착 기작을 규명하였다. 흡착 배치 실험 결과, Cs은 빠르게 Na-S-CMDS에 흡착되어 1시간 내 평형에 도달하였으며, 낮은 Cs 농도(0.5 mg/L) 조건에서도 높은 Cs 제거 효율(> 90.0%)을 보였다. 흡착 등온 모델링 결과, 단일 흡착을 가정하는 Langmuir 흡착 등온 모델에 대응되는 경향을 보였으며, 흡착 동역학 모델링 결과 흡착 경향이 유사 2차 속도(pseudo second order kinetic) 모델과 일치하는 경향을 보였고, 이러한 결과는 단순한 물리적 흡착보다 이온 교환과 같은 화학적 흡착이 우세함을 의미한다. 고농도의 Cs 용액으로 반응시킨 Na-S-CMDS의 XRF/XRD 분석 결과, Na-S-CMDS 내 Na 함량은 감소하고 흡착 전 존재하던 erdite (NaFeS₂·2(H₂O))가 관찰되지 않는 것을 통해, Na⁺과 Cs⁺ 사이에서 활발한 이온 교환 반응이 진행되었음을 알 수 있었다. XPS 분석 결과, Na-S-CMDS에서 Cs와 S 사이의 강한 결합 작용이 관찰되었으며, 이러한 Cs와 S(또는 S-복합체)내 결합에너지 감소도 Na-S-CMDS의 Cs 흡착능을 증가시키는 요인으로 판단되었다. 본 연구를 통해 기존에 폐기물로 처리되었던 석탄광산배수슬러지를 개량하여 제조한 Na-S-CMDS는 기존의 Cs 흡착제보다 제조 비용이 저렴하고, 해수 및 지하수와 같이 이온 강도는 높지만 Cs 농도가 낮은 대규모 오염 수계에서도 Cs 흡착능이 높게 유지되어, 현장에서 효과적인 Cs 흡착제로 사용할 수 있을 것으로 기대한다.

• Journal of Chest Surgery
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• 제36권6호
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• pp.397-403
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• 2003

폐의 다형성 암종은 일반적으로 드문 폐암종의 아형으로 알려져 있다. 1999년 WHO 폐암분류의 기준을 적용하여 계명대학교 동산의료원에서 진단된 42예의 다형성 암종에 대한 임상적 특징에 대해 알아보고자 하였다. 대상 및 방법: 1992년 1월부터 2001년 12월까지 본원에서 폐암으로 폐 절제술을 시행한 256예 중, 광학현미경적 재검색과 면역조직화학염색을 실시하여 다형성 암종으로 진단한 42예를 대상으로, 연구를 시행하였다. 결과: 42예 중 남자는 31예, 여자는 11예였고, 나이는 26세부터 77세까지였다. 임상증상은 기침, 객혈, 객담이 주로 나타났으며, 진단 시 병기는 Ia 3예, (7%), Ib 16예(38%), IIa 1예 (2%), IIb 8예(19%), IIIa 15예(35%), IIIb 1예(2%)였고, 이 중 림프절 전이가 없는 N0 경우는 23예(54%), 림프절 전이가 있는 N1과 N2인 경우는 19예(46%)로 나타났다. 원격전이가 발생한 환자는 총 19예로 뇌 5예(26%),뼈 4예(21%),근육 4예(21%), 림프절 2예(10%), 간, 난소, 편측 폐, 부신이 각 1예씩 발생하였다. 종양의 크기는 1 cm부터 11 cm까지 분포하였고 평균 5.85 cm이었다. 42예의 환자에서 조사 기간 중 생존자는 11예(26%), 사망자는 31예(74%)이었다. Kaplan-Meier method에 의한 이들의 전체 2년, 5년 생존율은 각각 26%와 13%로 조사대상 256예에서 다형성암종을 제외한 증례의 2년생존율 44%와 5년 생존율 34%에 비해서 유의하게 낮은 것으로 조사되었다(p<0.002). 나이와 종양의 크기, 병기 I과 병기 II 이상, N0 N1 이상의 생존율 비교에서는 유의한 차이는 없었다. 술 후 원격전이가 발생한 증례는 모두 사망하였고 이들은 원격전이가 없는 증례에 비하여 생존율이 유의하게 낮게 나타났다(p<0.002). 걸론: 1999년 WHO 폐암분류에 따른 새로운 진단 기준을 적용할 경우 다형성 암종은 이전의 WHO 폐암분류에서보다 높은 발생률을 보이며, 술 후 이들의 생존율은 다른 비소세포암종의 유형보다 유의하게 낮은 것을 확인할 수 있었다.

• 한국안광학회지
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• 제19권2호
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• pp.179-188
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• 2014

목적: 본 연구에서는 계면활성성분 및 함유량이 다른 콘택트렌즈 관리용액의 세척효율 및 가시광선투과율에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 방법: 다른 재질의 소프트렌즈(etafilcon A 및 hilafilcon B 재질)에 인공누액을 이용하여 각각 단백질을 침착시킨 후 계면활성성분 및 함유량이 다른 6종류의 다목적용액을 사용하여 세척한 후 그에 따른 세척효율 및 광투과율을 비교하였다. 결과: Etafilcon A 재질 렌즈의 경우 다목적용액으로 문지르기를 하여 세척하였을 때 세척효율은 다목적용액의 계면활성성분 농도와 표면장력에 따라 약 23~43%로 다양하게 나타났으며, 계면활성성분 이외에 과산화수소를 함유하는 다목적용액으로 세척 시 가장 높은 세척효율을 보였으나 렌즈에 잔존하는 단백질량이 많았다. 다목적용액으로 세척 후 가시광선투과율은 89.8%~90.8%으로 나타났다. Hilafilcon B 재질 렌즈에서는 인공누액에 7일간 배양하더라도 침착되는 단백질양이 매우 적어 etafilcon A 재질 렌즈의 5~10% 수준의 단백질량을 보였으며 가시광선투과율 감소도 크지 않았다. 다목적용액으로 문질러 세척하였을 경우 45.4~67.4%의 세척효율을 보였으나 etafilcon A 재질 렌즈와는 다른 세척효율 순서를 보였으며, 광투과율은 새 렌즈 수준으로 회복되었다. 결론: 이상의 결과로 소프트렌즈의 단백질 침전물의 올바른 관리를 위하여서는 다목적용액의 계면활성성분이나 원리에 대한 이해를 바탕으로 렌즈 재질과 침착된 단백질량에 따라 적절한 다목적용액을 선택하여야 하며, 제조사의 가이드라인과 상관없이 문지르기를 하여 관리하는 것이 보다 효율적임을 알 수 있었다.

• 한국조경학회지
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• 제42권4호
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• pp.10-20
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• 2014

본 연구는 가로 시설물 디자인의 조형 요소와 가로경관 선호도 간의 상관성 분석을 목적으로 수행되었으며, 일산 신도시의 가로 공간 내 입지하고 있는 휴식, 위생, 조명, 정보, 판매, 교통, 조경 관련 다양한 가로시설물을 연구 대상으로 하였다. 연구는 가로시설물 관련 문헌조사를 기반으로 이론을 고찰하고, 설문조사 및 분석을 통해 결과를 고찰하는 방법으로 진행하였으며, 다음과 같은 연구 결과를 얻을 수 있었다. 첫째, 가로경관에 영향을 미치는 요소를 파악하기 위한 분석에서 '휴식시설'과 '정보시설', '조경시설' 등 3개 요소가 가로경관에 주요 영향을 미치는 요소로 나타났다. 특히 이들은 '휴식', '조경', '정보' 시설 순으로 경관 선호도에 큰 영향력을 미치고 있었으며, 휴식시설에는 각종 '의자 요소'가, 정보시설'에는 '사인보드'가, 조경시설에는 '조형물', '분수', '문주'등의 시설 요소가 경관 선호도에 주된 영향을 미치는 요소인 것으로 분석되었다. 둘째, 형태, 색채, 질감, 스케일 등 조형요소가 가로시설물의 선호도에 미치는 영향을 분석한 결과, 휴식시설인 의자는 '질감', '형태', '스케일', '색채'의 순으로 조형디자인 요소가 경관 선호도에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 특히 '색채' 요소가 다른 3개 요소에 비해 상대적으로 경관 선호도에 적은 영향을 미치고 있는 것으로 통계적 유의성이 있는 것으로 나타났는데, 이것은 의자 등 편의시설에서는 질감, 형태, 스케일 등 기능적인 사항이 색채 등 시각적 것보다 선호도에 크게 영향을 미치고 있음을 시사하고 있는 것이었다. 조경시설 중 모뉴먼트와 관련된 시설은 경관 선호도에 있어 '색채', '형태', '질감', '스케일' 등의 순으로 영향을 미치고 있는 것으로 나타남으로써 의자 등 편의시설과는 다른 양상을 보이고 있는 것으로 나타났다. 이것은 색채, 형태등 시각적 요소가 오히려 경관 선호도에 중요한 영향을 준다는 것을 의미하고 있는 것으로 사료되었다. 셋째, 특히, 사인보드 등 정보시설에 있어 경관 선호도와 디자인의 조형 요소와의 상관관계에 있어서는 부(否)의 상관성이 있는 것으로 나타났다. 즉, 사인보드가 경관 선호도에 매우 부정적 영향을 끼치는 것을 의미하고 있음인데, 디자인 조형요소와의 상관성은 '스케일', '색채', '질감'의 순으로 나타남으로써 '스케일' 즉 광고물의 '크기'와 '색채'가 경관 선호도에 악영향을 미치고 있음을 의미하였다. 이상의 결과는 가로 경관 요소로서 가로 시설물을 디자인하고자 할 경우, 시설물의 종류에 따라서 상이한 조형 요소에 상대적으로 집중적 관심을 쏟아야 할 필요가 있음을 보여주고 있었다. 마지막으로, 가로시설물을 분류함에 있어서 지금까지 교과서적으로 분류해 온 '기능' 중심의 '계' 차원의 분류체계는 경관성과 관련하여서는 바람직하지 않은 것으로 나타났으며, 따라서 경관과 관련한 연구를 수행할 경우, '계'보다는 '시설 종류' 차원으로 분류하는 것이 보다 바람직한 것으로 나타났다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.80-81
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• 2012

Recently, one of the critical issues in the etching processes of the nanoscale devices is to achieve ultra-high aspect ratio contact (UHARC) profile without anomalous behaviors such as sidewall bowing, and twisting profile. To achieve this goal, the fluorocarbon plasmas with major advantage of the sidewall passivation have been used commonly with numerous additives to obtain the ideal etch profiles. However, they still suffer from formidable challenges such as tight limits of sidewall bowing and controlling the randomly distorted features in nanoscale etching profile. Furthermore, the absence of the available plasma simulation tools has made it difficult to develop revolutionary technologies to overcome these process limitations, including novel plasma chemistries, and plasma sources. As an effort to address these issues, we performed a fluorocarbon surface kinetic modeling based on the experimental plasma diagnostic data for silicon dioxide etching process under inductively coupled C4F6/Ar/O2 plasmas. For this work, the SiO2 etch rates were investigated with bulk plasma diagnostics tools such as Langmuir probe, cutoff probe and Quadruple Mass Spectrometer (QMS). The surface chemistries of the etched samples were measured by X-ray Photoelectron Spectrometer. To measure plasma parameters, the self-cleaned RF Langmuir probe was used for polymer deposition environment on the probe tip and double-checked by the cutoff probe which was known to be a precise plasma diagnostic tool for the electron density measurement. In addition, neutral and ion fluxes from bulk plasma were monitored with appearance methods using QMS signal. Based on these experimental data, we proposed a phenomenological, and realistic two-layer surface reaction model of SiO2 etch process under the overlying polymer passivation layer, considering material balance of deposition and etching through steady-state fluorocarbon layer. The predicted surface reaction modeling results showed good agreement with the experimental data. With the above studies of plasma surface reaction, we have developed a 3D topography simulator using the multi-layer level set algorithm and new memory saving technique, which is suitable in 3D UHARC etch simulation. Ballistic transports of neutral and ion species inside feature profile was considered by deterministic and Monte Carlo methods, respectively. In case of ultra-high aspect ratio contact hole etching, it is already well-known that the huge computational burden is required for realistic consideration of these ballistic transports. To address this issue, the related computational codes were efficiently parallelized for GPU (Graphic Processing Unit) computing, so that the total computation time could be improved more than few hundred times compared to the serial version. Finally, the 3D topography simulator was integrated with ballistic transport module and etch reaction model. Realistic etch-profile simulations with consideration of the sidewall polymer passivation layer were demonstrated.

• 한국방사선학회논문지
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• 제11권5호
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• pp.297-302
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• 2017

최근 실내공기 중의 라돈기체의 농도를 저감하기 위하여 친환경 숯을 이용한 공기정화 필터 및 건축자재를 개발하기 위한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 종래의 입상 활성탄 필터에 비해 취급이 용이하고, 효율적으로 라돈을 흡착 및 제거할 수 있는 새로운 판재형 활성탄을 설계 및 제작하여 라돈 저감 성능을 평가하였다. 판재형 활성탄은 분말 활성탄과 폴리우레탄 폼을 일정한 비율로 혼합하고 믹싱 및 압착 공정을 통해 성형제품으로 제작하였으며, 다이아몬드 절삭을 통해 2 mm, 4 mm, 6 mm 두께로 각각 제작하였다. 제작된 활성탄 필터에 대한 물리적 특성을 분석하기 위해 비표면적과 휨 강도를 측정을 하였다. 또한, 실내 라돈기체의 저감성능을 평가하기 위해 3개의 아크릴 챔버를 이용하였으며, 일정한 공기유량에 대해 필터 통과 전과 후의 라돈 농도를 연속 측정하여 저감율을 평가하였다. 측정결과, 제작된 판재형 활성탄의 비표면적은 약 $1,008m^2/g$으로 종래의 활성탄과 유사한 값을 보였으며, 휨 파괴 하중은 435 N으로 석고보드보다 3배 이상 높은 강도를 가지는 것을 알 수 있었다. 끝으로, 실내 라돈기체의 저감은 활성탄의 두께가 증가함에 따라 저감효율이 증가하였으며, 6 mm 두께의 활성탄 필터에서 90 % 이상의 우수한 라돈제거율을 보였다. 이러한 결과로부터 본 연구에서 제작된 판재형 활성탄은 밀폐된 실내에서 라돈 기체의 농도를 감소시키기 위한 친환경 건축 재료 및 공기 정화 필터로 활용이 가능할 것으로 기대된다.