$Si_3N_4$ 마스크를 이용한 PZT nanodot 제작과 PFM을 이용한 특성 분석
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2006년도 제30회 학술논문발표회 초록집
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- pp.200-200
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- 2006