In this study, multilayer piezoelectric actuators were fabricated with 75 layers by a conventional multi-layer capacitor (MLC) techniques, using 70Ag/30Pd paste as an internal electrode which can be sintered at low temperature and have cost down effect in mass productions. The multilayer piezoelectric actua-tors had no defects such as diffusions of internal electrode to ceramic bodies and shortages of internal electrodes. The multilayer piezoelectric actuators did not show the crack in the ceramics parts and the gapping phenomena in the external eletrodes when Ag paste was used as external electrodes. The multilayer piezoelectric actuators showed a maximum displacement of 4${\mu}{\textrm}{m}$ at 100V dc voltage and kept the maximum displacement constant for 300 seconds. The multilayer piezoelectric actuators showed good matching properties between ceramic bodies and AgPd internal electrodes. We confirmed the possibility of large-scaled production of the multilayer piezoelectric actuators with superior electrical properties and cost down effect using 70Ag/30Pd paste as an internal electrodes.
In this study, in order to develop low temperature sintering piezoelectric ceramics for LTCC (Low-Temperature Cofired Ceramic) multilayer piezoelectric actuator, PMW-PMN-PZT ceramics using $0.2wt%\; Li_2CO_3$ and $0.25wt%\;CaCO_3$ as sintering aids were investigated according to the varation of PMW substution. Composition ceramics could be sintered at $900^{\circ}C$ by adding sintering aids. As the amount of PMW substitution increased, the crystal structure of PMW-PMN-PZT ceramics moved from tetragonal phase to rhombohedral phase gradually, and MPB(Morphotrophic Phase Boundary) region appeared at 2 mol% PMW substitution. At the sintering temperature of $900^{\circ}C$, the density, electromechanical coupling factor(kp), mechanical quality factor(Qm), dielectric constant(${\epsilon}r$), piezoelectric constant(d33) and Curie temperature(Tc) of 2 mol% PMW substituted PMW-PMN-PZT ceramics showed the optimal values of $7.88g/cm^3$, 0.58, 1002, 1264, 352 pC/N and $336^{\circ}C$, respectively, for LTCC multilayer piezoelectric actuator application.
The rheological characteristics of PNN-PZT ceramics with high electromechanical coupling factor and electricstrictive constant was investigated. Green sheets of piezoelectric PNN-PZT ceramics were made by tape-casting method with controlling the mixing ratio of a dispersant, an organic binder, and a plasticizer. When the dispersant content was 1 wt.%, the slurry showed the best rheological characteristics for tape casting. The amounts of the plasticizer and the binder was simultaneously varied in the ranges of 1.5~18 and 3~9 wt.%, respectively. When both the plasticizer and binder of 6 wt.% mixed in the solution, respectiveley, the highest green density of the sheet was obtained without macrodefects. Multilyered structures of PNN-PZT/Ag-Pd were successfully fabricated using the optimized tape casting condition. The polarization behavior of these actuators seemed to similar to typical electricstrictive polarization behavior. The multilayer ceramic actuator is about $0.6{\times}10^{-3}$ of strain.
In this study, in order to develop multilayer piezoelectric actuator, PMN-PNN-PZT ceramics were fabricated using $Li_2CO_3-Na_2CO_3$ as sintering aids and their piezoelectric and dielectric characteristics were investigated with the function of PNN substitution. With increasing PNN substitution, dielectric constant(${\varepsilon}r$), electromechanical coupling factor(kp), and piezoelectric d constant($d_{33}$) were increased at 10~12[mol%] PNN substitution and then decreased at all sintering temperature. With increasing PNN substitution, phase changed from tetragonal to rhombohedral at [10~12mol%] PNN substitution. At the 12[mol%] PNN substituted PMN-PZT composition ceramic sintered at 950[$^{\circ}C$], density, ${\varepsilon}r$, kp, $d_{33}$ and Qm showed the optimum value of 7.79[$g/cm^3$], 1160, 0.599, 419[pC/N) and 894, respectively for multilayer piezoelectric actuator application.
이동통신용 유전체 필터에 사용되는 유전체 재료 는 많이 상용화 되어 있다. 그러나 향후 IMT2000, BIuetooth. Wireless LAN등에 채용될 부품은 더욱 소형화로 여기에 필요한 새로운 유전체 재료가 요 구된다. 이러한 필터는 결국 적층 일체형 필터의 제작이 대두되고 이를 위해서는 높은 유전율에 높은 Q값을 갖는 저온소결(900˚C이하)재료가 필요하다. 본고에서는 저온소결이 가능한 BiNbO$_{4}$,재료를 갖고 설계, 적층공정 등을 통하여 적층일체형 필터를 제 작하였다.
In this study, In order to develop the low temperature sintering multilayer piezoelectric actuator, PMN-PNN-PZT system ceramics were manufactured with the sintering temperature, and their microstructure and piezoelectric properties were investigated. At the composition ceramics sintered at $900^{\circ}C$, dielectric constant(${\varepsilone}_r$), electromechanical coupling factor($k_p$), piezoelectric constant($d_{33}$) and mechanical quality factor(Qm) showed the optimal value of 1095, 0.60, 363 and 1055, respectively, for multilayer piezoelectric actuator application.
In this study, in order to develop multilayer low temperature sintering piezoelectric transformer, $Pb_{0.97}Sr_{0.03}[(Mn_{1/3}Nb_{2/3})x(Zr_{0.48}Ti_{0.52})_{1-x}O_3]+$ 0.25wt% $CeO_2$+0.3 wt% $Nb_2O_5$ system ceramics were fabricated using $Li_2CO_3-CaCO_3$ and CuO as sintering aids and their piezoelectric and dielectric characteristics were investigated with the amount of PMN substitution. With increasing PMN substitution, electromechanical coupling factor kp and dielectric constant were increased.
In order to develop the composition ceramics capable of being sintered at low temperature with high piezoelectric properties for multilayer piezoelectric actuator application, PZW-PMN-PZT system ceramics were manufactured according to sintering aid $Li_2CO_3$ addition and their microstructural, dielectric and piezoelectric properties were investigated. The crystal structure of the specimens showed a perovskite phase and no pyrochlore or other second phase was detected. At the sintering temperature of $900\;^{\circ}C,\;0.2\;wt%Li_2CO_3$ added specimen showed a optimum values of kp = 0.562, $d_{33}\;=\;360\;pC/N$ and Qm = 1184, respectively.
In this study, in order to develop the low temperature sintering ceramics for multilayer piezoelectric transformer, dielectric and piezoelectric properties of PSN-PZT ceramics were investigated as a function of CuO addition, At the 0.6wt% CuO added specimen sintered at $920^{\circ}C$, the most excellent mechanical quality factor and electromechanical coupling factor were obtained.
The multilayer piezoelectric transformer was manufactured using $Pb(Zn_{1/2}W_{1/2})O_3-Pb(Mn_{1/3}Nb_{2/3})O_3-Pb(Zr_{0.48}Ti_{0.52})O_3$ (abbreviated as PZW-PMN-PZT) ceramics and their electrical properties were investigated. The $k_{eff}$ of the input and the output calculated from the resonant and anti-resonant frequencies were 0.403 and 0.233, respectively. The voltage step-up ratio showed the maximum value in the vicinity of 81kHz. The multilayer piezoelectric transformer showed the temperature rise of about $36^{\circ}C$ at the output power of 12w.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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