$MgTiO_3$ thin films were prepared by r.f. magnetron sputtering in order to prepare miniaturized NPO type MLCCs. $MgTiO_3$ films showed a polycrystalline structure of ilmenite characterized by the appearance of (110) and (202) peaks. The intensity of the peaks decreased with an increase in the chamber pressure due to the decrease of crystallinity which resulted from the decrease of kinetic energy of the sputtered atoms. The films annealed at $600^{\circ}C$ for 60min. showed a fine grained microstructure without micro-cracks. The grain size and roughness of the $MgTiO_3$ films decreased with the increase of chamber pressure. The average surface roughness was 1.425~0.313 nm for $MgTiO_3$ films prepared at 10~70 mTorr. $MgTiO_3$ films showed a dielectric constant of 17~19.7 and a dissipation factor of 2.1~4.9% at 1MHz. The dielectric constant of the films is similar to that of bulk ceramics. The dielectric constant and the dissipation factor decreased with the increase of the chamber pressure due to the decrease of grain size and crystallinity. The leakage current density was $10^{-5}\sim10^{-7}A/cm^2$ at 200kV/cm and this value decreased with the increase of the chamber pressure. The small grain size and smooth surface microstructure of the films deposited at high chamber pressure resulted in a low leakage current density. $MgTiO_3$ films showed a near zero temperature coefficient and satisfied the specifications for NPO type materials. The dielectric properties of the $MgTiO_3$ thin films prepared by sputtering suggest the feasibility of their application for MLCCs.
Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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2000.11a
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pp.61-64
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2000
We fabricated and characterized Low Noise Amplifier (LNA) using MCM-C (Multi-Chip-Module-Cofired) technology for 2.14 GHz IMT-2000 mobile terminal application. First, We designed LNA circuits and simulated it's high frequency characteristics using circuits simulator. For the simulation, we adopted high frequency libraries of all the devices used in LNA samples. By the simulation, Gain was 17 dB and Noise Figure was 1.4 dB. We used multilayer process of LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) substrate and conductor, resistor pattern for the MCM-C LNA fabrication. We made 2 buried inductors, 2 buried capacitors and 3 buried resistors. The number of the total layers was 6. On the top layer, we patterned microstrip line and pads for the SMT device. We measured the high frequency characteristics, and the results were 14.7 dB Gain and 1.5 dB Noise Figure.
Theocharopoulos, Antonios L;Bushby, Andrew J;P'ng, Ken MY;Wilson, Rory M;Tanner, K Elizabeth;Cattel, Michael J
The Journal of Advanced Prosthodontics
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v.8
no.6
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pp.479-488
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2016
PURPOSE. The aim of this study was to test the modulus of elasticity (E) across the interfaces of yttria stabilized zirconia (YTZP) / veneer multilayers using nanoindentation. MATERIALS AND METHODS. YTZP core material (KaVo-Everest, Germany) specimens were either coated with a liner (IPS e.max ZirLiner, Ivoclar-Vivadent) (Type-1) or left as-sintered (Type-2) and subsequently veneered with a pressable glass-ceramic (IPS e.max ZirPress, Ivoclar-Vivadent). A $5{\mu}m$ (nominal tip diameter) spherical indenter was used with a UMIS CSIRO 2000 (ASI, Canberra, Australia) nanoindenter system to test E across the exposed and polished interfaces of both specimen types. The multiple point load - partial unload method was used for E determination. All materials used were characterized using Scanning Electron Microscopy (SEM) and X - ray powder diffraction (XRD). E mappings of the areas tested were produced from the nanoindentation data. RESULTS. A significantly (P<.05) lower E value between Type-1 and Type-2 specimens at a distance of $40{\mu}m$ in the veneer material was associated with the liner. XRD and SEM characterization of the zirconia sample showed a fine grained bulk tetragonal phase. IPS e-max ZirPress and IPS e-max ZirLiner materials were characterized as amorphous. CONCLUSION. The liner between the YTZP core and the heat pressed veneer may act as a weak link in this dental multilayer due to its significantly (P<.05) lower E. The present study has shown nanoindentation using spherical indentation and the multiple point load - partial unload method to be reliable predictors of E and useful evaluation tools for layered dental ceramic interfaces.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.17
no.2
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pp.63-68
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2007
A number of process problems should be solved in the multi-layered ceramic devices such as EMI filter. In particular, it is essential to control the sintering shrinkage in co-firing of different materials for obtaining defect-free samples such as crack, camber, and delamination which usually occur near the surface and interface. We studied the effect of the powder properties of ferrite on the co-firing behavior of green ceramic layers composed of ferrite and varistor. Three kind of ferrite powder samples as a function of milling time (24, 48, and 72 hr) were prepared. Varistor and ferrite ceramic green sheet were made by means of doctor blade process using slurry (ceramic powder and binder solution). Here, slurry was prepared by mixing 55 wt% powder with 45wt% binder solution. Varistor and ferrite green sheets were laminated at $80 kg/cm^2$, and co-fired at $900^{\circ}C$ and $1000^{\circ}C$ for 3 hr. We obtained the camber-free and co-fired ferrite/varistor layer structure by controlling the milling time and sintering temperature.
A Multi-Layer Ceramic (MLC) chip type Band-Pass Filter (BPF) using BiNb$\_$0.975/Sb$\_$0.025/ $O_4$ LTCC (Low Temperature Co-fired Ceramics) and MLC processing is presented. The MLC chip BPF has the benefits of low cost and small size. The BPF consists of coupled stripline resonators and coupling capacitors. The BPF is designed to have an attenuation pole at below the passband for a receiver band of IMT-2000 handset. The computer-aided design technology is applied for analysis of the BPF frequency characteristics. The attenuation pole depends on the coupling between resonators and the coupling capacitance. An equivalent circuit and structure of MLC chip BPF are proposed. The frequency characteristics of the manufactured BPF is well acceptable for IMT-2000 application.
Lee, Sang Sub;Park, Young-Seok;Duong, Trang An;Devita, Mukhlishah Aisyah;Han, Hyoung-Su;Lee, Jae-Shin
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.35
no.1
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pp.24-31
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2022
This study investigated microstructures, crystal structures, polarization, dielectric and electromechanical properties of 0.76Bi1/2Na1/2TiO3-0.24SrTiO3 (BNT-24ST)-based piezoceramcs by adding Li2CO3 and B2O3 (LB) as sintering aids for low-temperature sintering. All samples were successfully synthesized using conventional solid-state reaction method and sintered at 950, 1,000, 1,050, 1,100 and 1,175℃ for 2 hours. Without LB, specimens required sintering temperatures over 1,175℃ for sufficient densification, while the addition of 0.10-mol LB decreased the sintering temperatures down to 950℃. The average grain size and dielectric properties of BNT-24ST-10LB ceramics were enhanced with increasing sintering temperature. We found that the low-temperature sintered BNT-24ST piezoceramics by adding LB showed the d33*value of 402 pm/V at 4 kV/mm after sintering at 1,050℃, which was better than that of high-temperature fired specimens sintered at 1,175℃ without LB (242 pm/V). We believe that the results of this study promise a candidate for low-cost multilayer ceramic actuator applications.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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