나노패턴 구현을 위한 $\mu$ CP 공정기술
($\mu$ CP Process Technology for Nanopattern Implementation)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.624-627
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- 2003