• 제목/요약/키워드: micro flow sensor

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정압비례제어방식을 적용한 정압급수장치의 개발 (Development of a constant pressure feed system using a constant pressure proportional control mode)

  • 김주명;김광열;이건기
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제7권5호
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    • pp.1026-1031
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    • 2003
  • 자동 급수펌프는 압력스위치에 의해 운전 및 정지를 하게 된다. 따라서 수량 증감에 따른 펌프의 빈번한 운전 및 정지로 인해 지속적인 정격 및 정압 운전이 불가능하다. 또한 빈번한 작동으로 인해 지속적으로 일정한 압력을 얻을 수 없으며, 펌프의 소손과 에너지의 낭비가 심한 단점을 가지고 있다. 본 논문에서는 이러한 단점을 해결하고자 급수밸브, 유량센서, 제어장치로 구성되는 정압 급수장치를 설계 제작하였다. 급수밸브는 유출되는 물의 양과 관계없이 항상 일정한 양의 물을 유입하여 펌프의 부하를 줄이는 역할을 한다. 유량센서는 적외선 다이오드를 사용하여 유출되는 물의 양의 측정하며, 제어장치는 8 비트 마이크로프로세서를 이용하여 설계하였으며, 특별한 제어 알고리듬에 의해 펌프의 운전과 정지를 제어하게 하였다. 본 논문에서 개발한 장치는 토출 압력이 일정하게 유지되고 펌프의 작동 및 정지 동작이 부드럽게 이루어지며, 펌프의 지속적인 정압운전이 가능하므로 기존의 단점을 보완하는 장치로 사료된다.

턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석 (Analysis in Capacitor of Microaccelerometer Sensor Using Tunnelling Current Effect)

  • 김옥삼
    • 동력기계공학회지
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    • 제3권4호
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    • pp.57-62
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    • 1999
  • The microaccelerometer using a tunnelling current effect concept has the potential of high performance, although it requires slightly complex signal-processing circuit for servo-system. The paddle of micro accelerometer is pulled to have the gap width of about 2nm which almost allows the flow tunnelling current. This paper demonstrates at capacitor of microaccelerometer the use of the coupled thermo-electric analysis for voltage, current, heat flux and Joule heating then tunnelling current flows. Two electrodes are applied to the microaccelerometer producing a unform difference of temperature gradient and electric potential between the paddle and the substrate.

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Characterization of degree of alignment of polymer microfibers electrospun on a rotating water collector

  • Li, Shichen;Lee, Bong-Kee
    • 센서학회지
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    • 제30권3호
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    • pp.125-130
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    • 2021
  • In this study, the degree of alignment of polymer microfibers produced by electrospinning using a rotating water collector was evaluated. Aligned micro- and nano-fibers are required in various practical applications involving anisotropic properties. The degree of fiber alignment has many significant effects; hence, and accurate quantitative analysis of fiber alignment is necessary. Therefore, this study developed a simple and efficient method based on two-dimensional fast Fourier transform, followed by ellipse fitting. As a demonstrative example, the polymer microfibers were electrospun on the rotating water collector as the alignment of microfibers can be easily controlled. The analysis shows that the flow velocity of the liquid collector significantly affects the electrospun microfiber alignment, that is, the higher the flow velocity of the liquid collector, the greater is the degree of microfiber alignment. This method can be used for analyzing the fiber alignment in various fields such as smart sensors, fibers, composites, and textile engineering.

The Deposition and Characteristics of Ni Thin Films according to Annealing Conditions for the Application of Thermal Flow Sensors

  • Noh, Sang-Soo;Lee, Eung-Ahn;Lee, Sung-Il;Jang, Wen-Teng
    • Transactions on Electrical and Electronic Materials
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    • 제8권4호
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    • pp.161-165
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    • 2007
  • In this work, Ni thin films with different thickness from $1,523{\AA}\;to\;9,827{\AA}$ were deposited for the application of micro thermal flow sensors by a magnetron sputtering and oxidized through annealing at $450^{\circ}C$ with increasing annealing time. The initial variation of resistivity decreased radically with increasing films thickness, then gradually stabilizes as the thickness increases. The resistivity of Ni thin films with $3,075{\AA}$ increased suddenly with increasing annealing time at $450{\circ}C$, then gradually stabilizes as the thickness increases after the annealing time 9 h. In case of $3,075{\AA}\;and\;9,827{\AA}$ films, the average of TCR values, measured for the operating temperature range of $0^{\circ}C\;to\;180^{\circ}C$, were $2,413.1ppm/^{\circ}C\;and\;4,438.5ppm/^{\circ}C$, respectively. Because of their high resistivity and very linear TCR, Ni oxide thin films are superior to pure Ni and Pt thin films for flow and temperature sensor applications.

초소수성 전기 분무 마이크로 추진 장치 및 마이크로 추력 측정 (Study on super-hydrophobic electro-spray micro thruster and measurement of micro scale thrust)

  • 이영종;유용훈;;김상훈;박배호;변도영
    • 한국항공우주학회지
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    • 제37권2호
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    • pp.175-180
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    • 2009
  • 이 논문은 폴리머 기반의 전기 분무 장치를 만들기 위하여 이온빔 장치를 통하여 초소수성으로 가공 된 polytetrafluoroethylene(PTFE) 노즐을 사용하였다. 초소수성 표면을 만들기 위하여, PTFE 표면은 Ar과 $O_2$를 이용한 이온빔 공정 장치를 사용하였다. 최적의 표면 공정 조건은 Ar과 $O_2$ 유량 및 에너지 단위를 변화 시켜 얻을 수 있었다. 공정된 노즐의 표면 특성을 분석하기 위하여 접촉각 측정을 수행하였고, 표면의 형태적 분석을 위해 scanning electron microscope(SEM) 그리고 atomic force microscope(AFM) 측정을 하였다. 초소수성으로 공정된 노즐을 사용함으로써 보다 안정적이고 반복적인 전기 분무가 가능함을 확인 하였으며, 공정 된 노즐의 성능을 평가하기 위하여 외팔보와 이온빔으로 표면 처리 된 노즐 그리고 레이져 변위센서를 이용하여 마이크로 스케일의 추력을 측정하였다.

Spatiotemporal Routing Analysis for Emergency Response in Indoor Space

  • Lee, Jiyeong;Kwan, Mei-Po
    • 한국측량학회지
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    • 제32권6호
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    • pp.637-650
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    • 2014
  • Geospatial research on emergency response in multi-level micro-spatial environments (e.g., multi-story buildings) that aims at understanding and analyzing human movements at the micro level has increased considerably since 9/11. Past research has shown that reducing the time rescuers needed to reach a disaster site within a building (e.g., a particular room) can have a significant impact on evacuation and rescue outcomes in this kind of disaster situations. With the purpose developing emergency response systems that are capable of using complex real-time geospatial information to generate fast-changing scenarios, this study develops a Spatiotemporal Optimal Route Algorithm (SORA) for guiding rescuers to move quickly from various entrances of a building to the disaster site (room) within the building. It identifies the optimal route and building evacuation bottlenecks within the network in real-time emergency situations. It is integrated with a Ubiquitous Sensor Network (USN) based tracking system in order to monitor dynamic geospatial entities, including the dynamic capacities and flow rates of hallways per time period. Because of the limited scope of this study, the simulated data were used to implement the SORA and evaluate its effectiveness for performing 3D topological analysis. The study shows that capabilities to take into account detailed dynamic geospatial data about emergency situations, including changes in evacuation status over time, are essential for emergency response systems.

RPCVD system을 이용한 ${\mu}c$-Si:H의 저온 직접 성장 연구 (The study of direct ${\mu}c$-Si:H film growth using RPCVD system in low temperature)

  • 안병재;김도영;임동건;이준신
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 D
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    • pp.1818-1820
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    • 1999
  • This paper presents direct ${\mu}c$-Si:H thin film growth on the glass substrates using RPCVD system (remote plasma chemical vapor deposition) in low temperature. Hydrogenated micro-crystalline silicon deposited by RPCVD system in low temperature is very useful material for photovoltaic devices, sensor applications, and TFTs (thin film transistors). Varying the deposition conditions such as substrate temperature, gas flow rate, reactive gas ratio $(SiH_4/H_2)$, total chamber pressure, and rf power, we deposited ${\mu}c$-Si:H thin films on the glass substrates (Corning glass 1737). And then we measured the structural and electrical properties of the films.

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버클링 마이크로 적층형 압전밸브의 제작 (Fabrication of a buckling micro MCA valve)

  • 이종화;정귀상
    • 센서학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.47-52
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    • 2006
  • This paper describes the design, fabrication and characteristics of a buckling microvalve using a MCA (multilayer ceramic actuator). The mechanical and fluidic analysis are done by finite element method. The designed structure is normally closed microvalve using buckling effect, which is consist of three separate structures; a valve seat die, an actuator die and a small piezoelectric actuator. The flow rate of the fabricated MCA valve was 0-8.13 ml/min at the applied pressure of 0-50 kPa. Maximum non-linearity was 2.24 % FS at a duty cycle of 50 %. The maximum pressure was 230 kPa and the leak rate was $3.03{\times}10^{-8}\;Pa{\cdot}m^{3}/cm^{2}$ at a supply voltage of 100 V.

Excel을 이용한 마이크로 흐름센서의 열전달 해석 (Thermal Transfer Analysis of Micro Flow Sensor Based on Excel)

  • 김태용;정완영
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
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    • pp.251-254
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    • 2006
  • 마이크로 흐름센서는 종래의 반도체 집적회로 공정기술을 이용하여 소형으로 제작이 가능하며, 빠른 응답특성을 가지는 장점이 있어 다양한 응용이 기대되고 있다. 본 연구에서는 넓은 흐름의 세기영역에서 정밀한 감도를 가지는 2차원 마이크로 흐름센서를 실리콘 기판위에 설계하여 왔다. 이러한 흐름센서의 정확한 온도특성을 분석하고 이 결과로부터 최적을 온도 감지막 위치를 결정할 필요가 있다. 설계방법으로서 표계산 소프트웨어 Excel을 이용하여 열운송방정식의 차분 방정식을 매크로 기능을 이용하여 적용하고 워크시트 내에서 셀 참조방식을 활용하여 자동 계산을 수행하도록 구현하였다. 본 연구에서는 Excel을 활용한 효율적인 설계방법을 제시하고 하나의 히터와 양측에 한 쌍의 온도 감지막을 가진 마이크로 흐름센서에 대해서 열전달 특성을 계산하고 이로부터 최적을 온도 감지막 위치를 결정할 수 있었다.

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실리콘 마이크로머시닝을 이용한 플래퍼-노즐 밸브의 제작 및 특성 실험 (Flapper-nozzle Valve Fabrication Using Silicon Micromachining and Flow Characterization)

  • 권영신;김태현;조동일
    • 센서학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.72-80
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    • 1997
  • 실리콘 공정을 이용하여 마이크로 밸브(valve)를 제작할 때에 역방향 누설 유량은 중요한 문제중 하나이다. 본 논문에서는 플래퍼(flapper)와 노즐(nozzle)을 이용하여 누설 유량이 없는 마이크로 밸브를 설계하고, 실리콘 공정을 이용하여 제작하였다. 제작된 마이크로 밸브의 작동원리는 정방향 압력이 가해질 때에는 유체의 압력이 플래퍼를 위로 밀어서 유체를 흐르게 하고, 역방향 압력이 가해질 때에는 플래퍼를 밀지만 이때는 노즐의 입구에 의해 지지되므로 플래퍼나 노즐이 깨지지 않는 한 유체가 흐를 수 없게 된다. 노즐은 (100) 웨이퍼를 습식식각하여 제작하였고, 플래퍼는 역형상을 $20{\mu}m$만큼 플라즈마 식각장비(RIE)로 수직 식각한 뒤 뒷면에서부터 습식식각을 하여 제작하였다. 제작된 마이크로 플래퍼-노즐 밸브의 정적특성을 해석하였고, 순수를 사용한 실험결과와 비교하였다. 실험결과는 제작된 마이크로 플래퍼-노즐 밸브가 완전한 다이오드적인 특성을 가진다는 것을 보여 주었다.

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