CMP 공정을 통한 표면 특성 개선에 의한 $CeO_2$ 산소 센서 감도 향상 연구
(Sensitivity improvement of $CeO_2$ oxygen sensor by betterment of surface characteristics through chemical mechanical polishing process)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.65-65
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- 2007