• 제목/요약/키워드: laminate cantilever microbeam

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레이저 간섭계를 이용한 적층 마이크로 외팔보의 고유진동수 측정 (Measurement on the Natural Frequency of a Laminated Cantilever Microbeam using a Laser Interferometer)

  • 김윤영;한봉구
    • 한국전산구조공학회논문집
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    • 제31권1호
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    • pp.17-21
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    • 2018

  • 오늘날까지 적층 마이크로 외팔보의 고유진동수에 대하여 연구가 진행되었다. 마이크로 보는 실리콘 재질로 만들어 지지만, 그것의 상하 표면은 얇은 금 박막층(~30nm)이 증착되어 있다. 초음파 검사를 위해 초음파 테스트 플랫폼을 사용했으며, 시간영역 신호는 광학적으로 측정되었다. 고유진동수는 파형을 고속 Fourier 변환을 통해 정량화하였으며, 결과적으로 고전적인 보 이론과 일치하는 결과를 보여 주었다. 본 연구는 마이크로/나노스케일 재료와 마이크로 구조에 대한 동적평가기법을 제공할 것으로 기대된다.

  • https://doi.org/10.7734/COSEIK.2018.31.1.17 인용 PDF KSCI