• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.80-81
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• 2012

Recently, one of the critical issues in the etching processes of the nanoscale devices is to achieve ultra-high aspect ratio contact (UHARC) profile without anomalous behaviors such as sidewall bowing, and twisting profile. To achieve this goal, the fluorocarbon plasmas with major advantage of the sidewall passivation have been used commonly with numerous additives to obtain the ideal etch profiles. However, they still suffer from formidable challenges such as tight limits of sidewall bowing and controlling the randomly distorted features in nanoscale etching profile. Furthermore, the absence of the available plasma simulation tools has made it difficult to develop revolutionary technologies to overcome these process limitations, including novel plasma chemistries, and plasma sources. As an effort to address these issues, we performed a fluorocarbon surface kinetic modeling based on the experimental plasma diagnostic data for silicon dioxide etching process under inductively coupled C4F6/Ar/O2 plasmas. For this work, the SiO2 etch rates were investigated with bulk plasma diagnostics tools such as Langmuir probe, cutoff probe and Quadruple Mass Spectrometer (QMS). The surface chemistries of the etched samples were measured by X-ray Photoelectron Spectrometer. To measure plasma parameters, the self-cleaned RF Langmuir probe was used for polymer deposition environment on the probe tip and double-checked by the cutoff probe which was known to be a precise plasma diagnostic tool for the electron density measurement. In addition, neutral and ion fluxes from bulk plasma were monitored with appearance methods using QMS signal. Based on these experimental data, we proposed a phenomenological, and realistic two-layer surface reaction model of SiO2 etch process under the overlying polymer passivation layer, considering material balance of deposition and etching through steady-state fluorocarbon layer. The predicted surface reaction modeling results showed good agreement with the experimental data. With the above studies of plasma surface reaction, we have developed a 3D topography simulator using the multi-layer level set algorithm and new memory saving technique, which is suitable in 3D UHARC etch simulation. Ballistic transports of neutral and ion species inside feature profile was considered by deterministic and Monte Carlo methods, respectively. In case of ultra-high aspect ratio contact hole etching, it is already well-known that the huge computational burden is required for realistic consideration of these ballistic transports. To address this issue, the related computational codes were efficiently parallelized for GPU (Graphic Processing Unit) computing, so that the total computation time could be improved more than few hundred times compared to the serial version. Finally, the 3D topography simulator was integrated with ballistic transport module and etch reaction model. Realistic etch-profile simulations with consideration of the sidewall polymer passivation layer were demonstrated.

• 천문학회보
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• 제41권2호
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• pp.64.3-65
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• 2016

The NISS (Near-infrared Imaging Spectrometer for Star formation history) is the near-infrared instrument optimized to the Next Generation of small satellite series (NEXTSat). The capability of both imaging and low spectral resolution spectroscopy in the near-infrared range is a unique function of the NISS. The major scientific mission is to study the cosmic star formation history in local and distant universe. For those purposes, the main observational targets are nearby galaxies, galaxy clusters, star-forming regions and low background regions. The off-axis optical design is optimized to have a wide field of view ($2deg.{\times}2deg.$) as well as the wide wavelength range from 0.95 to $3.8{\mu}m$. Two linear variable filters are used to realize the imaging spectroscopy with the spectral resolution of ~20. The mechanical structure is considered to endure the launching condition as well as the space environment. The compact dewar is confirmed to operate the infrared detector as well as filters at 80K stage. The electronics is tested to obtain and process the signal from infrared sensor and to communicate with the satellite. After the test and calibration of the engineering qualification model (EQM), the flight model of the NSS is assembled and integrated into the satellite. To verify operations of the satellite in space, the space environment tests such as the vibration, shock and thermal-vacuum test were performed. Here, we report the test results of the flight model of the NISS.

• Environmental Engineering Research
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• 제25권3호
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• pp.299-308
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• 2020

Composting is among the most effective integrated waste management strategies used to recycle sewage sludge (SS) waste and generate a useful product. An encapsulated lifting system is a relatively new industrial-scale composting technology. The objective of this study was to evaluate the effectiveness of composting dewatered stabilized SS mixed with green waste using this new technology. The composting process was monitored by changes in the physico-chemical properties, UV-visible spectra, and fourier transform infrared (FTIR) spectra. The composting temperature was steady in the thermophilic range for 24 and 12 d in the intensive and maturation phases, respectively, which fulfilled the disinfection requirement. Moreover, the temperature increased rapidly to 76.8℃ within three days, and the thermophilic temperatures peaked twice and lasted longer than in traditional composting, which accelerated SS degradation and decreased the composting period necessary to obtain mature compost. FTIR spectroscopic analysis showed a diminished in methyl group derived from methylene C-H aliphatic groups because of organic matter degradation by microorganisms and an increased number of aromatic chains. The new technology may be a viable and sustainable alternative for SS management that converts waste into compost that is useful as a soil amendment.

• 대한기계학회논문집A
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• 제36권3호
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• pp.265-273
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• 2012

세계적 금융 위기로 인한 기업의 사업 환경이 빠르게 변화하고 있다. 기업이 빠르게 변화하는 환경에 적응하는 점은 과거보다 더욱 중요해 졌으며 이를 위해 세계적 제조 기업들은 기초 생산 인프라 와 고도의 IT 기술의 융합을 통해 위기 극복을 시도하고 있다. 특히 제조업의 제조 경쟁력을 증대 시킬 수 있는 제조 프로세스의 통합, 제품 개발과정에서의 협업, 공급자와 생산자의 유기적인 정보통합을 지원하는 시스템의 중요성이 부각되고 있다. 협업 및 정보통합에 대한 요구가 증대되고 있는 상황에서 본 논문에서는 파워보트 협업생산 및 정보통합을 지원할 수 있는 웹기반 시스템을 설계 및 구현을 수행하였다. 기 시스템은 설계 및 생산과정에서 협업을 지원하기 위해 파워보트의 제품구조 분석, 설계 및 생산 프로세스 분석 등을 통해 설계되었으며 제품정보 및 전사 컨텐츠 관리를 지원한다. 이를 통해 파워요트 개발 프로젝트에 참여하는 다수 기업 설계 및 생산 정보의 통합관리 및 동시 작업을 통한 생산성 증대가 기대된다.

• 한국컴퓨터정보학회논문지
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• 제16권8호
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• pp.1-10
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• 2011

최근 클라우드 컴퓨팅은 인터넷 접속을 통해 언제어디서든 사용할 수 있는 높은 이용편리성과 동시에 스마트폰, 넷북, PDA 등과 같은 각종 정보통신 기기로 데이터를 손쉽게 공유할 수 있는 사용환경을 제공하기 때문에 산업적 파급효과가 커 디지털혁명을 주도할 서비스로 주목받고 있다. 이와 같은 클라우드 컴퓨팅 기반의 협업 시스템을 통해 비즈니스 실무부서 간의 업무 통합이 점차적으로 이루어지면, 관련 부서 간 공유하게 되는 데이터가 더욱 많아지기 때문에 실무자가 필요한 데이터를 보다 쉽게 찾아 사용할 수 있는 방법이 필요하다. 기존 연구에서는 군집화를 통해 탐색과정을 단순화했지만, 본 논문에서는 관련 부서 간에 자주 발생하는 데이터 중복을 제거하고 시스템 성능을 향상시키기 위해 해쉬함수를 사용하고, 변경된 데이터에 대한 정보가 동적으로 반영되어 실무자에게 적합한 데이터가 분류될 수 있도록 데이터 마이닝 기법 중 베이지안 네트워크를 사용한 시스템을 제안하였다. 본 시스템은 기존 방법과 비교하여 탐색기능이 향상된 결과를 나타내었을 뿐만 아니라, CPU, Network Bandwidth 사용량 등의 시스템 성능에도 효율적인 것을 확인하였다.

• Ecology and Resilient Infrastructure
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• 제2권2호
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• pp.108-117
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• 2015

본 연구는 우리나라 하천수계의 하천환경 관리를 위해 적용되고 있는 생물학적 평가체계를 법제도적 기준과 실행계획 측면에서 검토 분석하여 문제점을 도출하기 위하여 수행되었다. 하천법과 하천사업의 계획 설계과정의 관련 지침, 수질 및 수 생태계 보전법과 수 생태계 건강성 평가 기준을 중점적으로 비교 검토하였다. 무엇보다 하천환경평가 관련 법제도적 근거가 미흡하고 관련 기준과 지침이 구체적이지 못하여 하천환경 관리의 실효성이 확보되지 못하고 있는 것으로 판단되었다. 또한 국토교통부와 환경부로 이원화된 하천수계 관리체계를 반영하듯 생물 분야의 평가항목과 기준이 수자원 관리와의 통합적 수준에 이르지 못한 채 두 부서의 사업추진 과정에서 단편적으로 고려되고 있었다. 특히 생물 중심의 평가항목과 기준은 물리구조적 서식환경 또는 수질과 연관된 수생생물에 국한되어 있을 뿐만 아니라 대다수 생물에 대한 정밀 조사를 필요로 하는 환경영향평가의 과정으로 고려되는 수준이었다. 결론적으로 하천수계를 대표할 수 있고 비교적 변동성이 적은 식생, 어류, 조류 등 고등생물을 지표화한 신속하면서도 공간 정보화된 정량적 평가기법이 마련되어야 할 것으로 판단되었다.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제61권3호
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• pp.378-387
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• 2023

석유화학은 전체 산업에너지 소비량 중 약 30%를 소비하는 에너지 다소비 업종으로써 대표적인 이산화탄소(carbon dioxide, CO₂) 배출원이다. 그 중 에틸렌, 프로필렌, 프로판 및 혼합 C4를 생산하는 납사 분해 공정(naphtha cracking center, NCC)은 많은 양의 에너지를 소비하고 상당한 양의 CO₂를 배출한다. 이러한 이유로 경제성과 환경적 측면에서의 효율성을 보장하기 위해 에너지 사용량 및 환경 영향 인자 감소를 목표로 하는 통합 기술경제적-환경영향 평가가 필요하다. 본 연구는 핀치분석에 근거하여 기존 NCC에서 사용되는 열 교환망의 효율성을 분석하고 이를 통해 에너지 사용량을 감축 시킬 수 있는 개선안을 선정하는 것을 목표로 한다. 공정 내 유틸리티 소비량을 줄이기 위하여 고온 스트림과 저온 스트림 사이를 고려한 최적의 열 교환망을 도출하고, 유틸리티 사용량 감소와 열교환기 설치 비용 증가 사이의 트레이드 오프를 고려하여 경제성 평가를 진행하였다. 또한, 환경적 측면을 고려하여 감소된 CO₂ 배출에 대한 환경영향평가를 실시하였고, 경제적-환경 영향 평가는 투자된 자금을 회수하는 회수기간을 사용하여 실제 공정을 바탕으로 적용 가능성이 있는 에너지 절감안을 도출하였다. 경제적-환경영향평가를 고려한 결과 경제성만을 고려한 부분에서는 각 사례별로 4.29개월, 3.21개월, 3.39개월로 나타났고, 경제적-환경 통합 평가의 경우에는 각 사 례별로 4.24개월, 3.17개월, 3.35개월로 각각의 회수기간을 보였다. 이러한 결과는 환경영향평가를 포함하지 않았을 때와 포함하였을 때 모두 동등하게 나타났다. 추가로 주요한 요소가 회수기간에 어느정도 영향을 미치는지 확인하기 위해 각 사례별 민감도 분석을 진행하였다. 민감도 분석결과 열 교환기 비용이 전체적인 비용에 영향을 미치는 주요 원인으로 확인되었다.

• 한국수자원학회논문집
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• 제52권6호
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• pp.429-440
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• 2019

기후변화로 인한 다년 가뭄은 전세계적으로 증가하는 추세이며, 충청남도에 위치한 보령댐 또한 2014년부터 2017년까지 지속된 다년 가뭄으로 인해 큰 피해를 받았다. 다양한 가뭄 피해 저감 정책 설립 과정에 있어 일방적인 하향식 의사결정 과정을 바탕으로 진행된 정책은 이해당사자간의 갈등을 야기했기에, 이를 방지하기 위해서는 이해당사자와 정책결정자들간의 참여형 의사결정 과정이 필수적이다. 본 연구에서는 다양한 그룹으로 구성된 이해당사자의 참여를 독려하는 참여형 의사결정 방식 중 하나인 비전공유계획을 충청남도 기후변화 적응 물관리정책 협의회를 통해 체계적으로 적용하였다. 또한, 비전공유계획의 핵심 요소인 비전공유모형을 시스템 다이내믹스 모형으로 개발하였고, 총 3회의 소위원회를 거쳐 이해당사자의 요청사항에 맞추어 모형을 보완하였다. 구축한 모형을 활용하여 미래에 발생 가능한 가뭄의 위험을 포함하고 있는 기후변화 시나리오로 모의하였고, 보령댐과 보령댐 계통 지자체의 가뭄으로 인한 취약성을 빈도, 지속기간, 크기 개념의 평가지표로 표현하였다. 모의 결과, 용수 공급원인 보령댐은 용수 수급처인 지자체보다 가뭄에 상대적으로 더 취약하며, 8개 지자체 중 가뭄 대응 대책이 주로 계획되어 있는 지역과 모의에서 추정한 가뭄 발생 지역이 일치하지 않음을 확인하였다. 모의 결과를 향후 협의회 회의에서 이해당사자와 공유하고, 댐과 지자체의 입장에서 용수 부족을 해소할 방안을 모형에 적용함으로써 미래 정책 결정 및 갈등 해소를 위해 개발한 비전공유모형을 이용할 수 있음을 제안하였다.

• International Journal of Contents
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• 제10권1호
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• pp.54-61
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• 2014

In this paper, we propose a pioneering concept of DPD(Disaster Prevention Design) to realize a securable society in the future. Features of danger in the future society are expected to be diverse, abrupt occurring, large scale, and complicated ways. Due to increment of dangers with their features of uncertainty, interactivity, complexity, and accumulation, human-oriented design concept naturally participates in activities to prevent our society against disasters effectively. We presented DPD is an essential design activity in order to cope with dangers expected in the future societies as well as realize securable environments. DPD is also an integrated design aids including preemptive protections, rapid preparing, recovery, and interactive cooperation. We also expect these activities of DPD is effective for generation of new values in the market, satisfaction of social needs, expansion of design industry, and a novel chance for development in the future society. Throughout this paper, we submit various aspects of DPD concepts including definition, classification, scope, necessity, strategy, influencing elements, process, and its principle. We expect these concepts will be the seed and/or basement of DPD research for the future works. For the direction of study for DPD in the future, we emphasize alarm system for preemptive protection rather than recovery strategy for the damage occurred. We also need to research about progressive prevention techniques and convergence with other areas of design. In order to transfer the concept of product design from facility-oriented mechanism to human-oriented one, we should develop new kinds of city basis facilities, public-sense design concepts referred to social weak-party, e-Learning content design preparing disasters, and virtual simulation design etc. On the other hand, we have to establish laws and regulations to force central and/or provincial governments to have these DPD strategies applying their regional properties. Modern design activities are expanding to UI(user interface) content design area overcoming the conventional design concept of product and/or service. In addition, designers are recognized as art directors or life stylists who will change the human life and create the social value. DPD can be divided into prevention design, preparedness design, response design, and recovery design. Five strategies for successful DPD are Precaution-oriented, Human-oriented, Sense-oriented, Legislation, and Environment Friendly Strategies.

• Asia pacific journal of information systems
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• 제3권2호
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• pp.3-54
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• 1993

Recently, executives learned of the strategic impact that information systems (IS) and information technology (IT) could provide to their organizations. In other words, through IS/IT companies could squelch competition, secure suppliers, obtain customer loyalty, reduce the threat of new entrants, and identify new opportunities. Because of these potential benefits, organizations are investing ever-increasing amount of organizational resources in IS/IT to make their organizations as information-based ones. Information-based organizations depend largely upon computer hardwares and softwares for their ongoing operations and management. Thus, organizations must manage their information resources, especially hardwares and softwares very effectively to remain competitive. Information resource management (IRI) is a program of activities directed at making effective use of information technology within an organization. These activities cover from corporate IS/IT planning to application system development, implementation, and maintenance. In more detail, IRV activities include planning for and acquiring computer hardwares and communication equipments, planning for, selection, and management of software development projects, and re-engineering business processes as IS/IT are integrated into organizational management. Among these activities, planning for and acquisition of computer hardwares, and planning for and management of software projects are the most critical ones since these activities require enormous amount of such important corporate resources as money, people, and time. Furthermore, corporate's eventual success largely depends upon whether corporate's policy on IS/IT is effective one or not. Numerous approaches and concepts to specific IRM activities have been proposed. However, many organizations have experienced various problems in the process of applying these approaches to their IRM activities mainly because existing methodologies and guidelines are too general to adapt to each firm's unigue situation. Also, these approaches are having its own strengths and weaknesses. Thus, people in charge of organization's IRM policy should come up with effective guidelines to maintain his position very long. In this study, we reviewed some existing approaches for planning, evaluation, and acquisition of computer hardware. Then, real experiences from Taechang Steel Co., Ltd. located in Taegu, which is one of the largest Coil Service Centers in Korea, are discussed. The major purposes of the study are : (1) to discuss the tradeoffs of existing approaches on hardware evaluation and acquisition, (2) to provide a real experience of a company to facilitate the application of theoretical concepts to the real environment.