• Smart Media Journal
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• v.12 no.1
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• pp.17-23
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• 2023

Design-For-Security (DFS) methodology is to protect integrated circuits from physical attacks, and that can be implemented by adding a security circuit to detect abnormal external access. Among the abnormal accesses called invasive attack, microprobing and FIB circuit editing are classified as the most powerful methods because they have direct access. Microprobing deliberately inject defects into the wire of circuit through probes, or reads and changes data. FIB circuit editing is methods of reconnecting or destroying circuits to neutralize security circuits or to access data. Previous DFS methodology have responded to the attacks by detecting arrival time asymmetry between the two signals or by comparing input/output data based on encrypted communication. This study conducted to reduce hardware overhead, and the proposed circuit detects the reflected signal asymmetry generated through probe or FIB circuit editing and detects the attacks through comparison. Since the proposed security circuit reduces the size and test cycle of the circuit compared to previous studies, the cost used for security can be reduced.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.545-545
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• 2012

집속이온빔장치(FIB: Focused Ion Beam System)에 사용하는 액체금속이온원(LMIS: Liquid Metal Ion Source)은 고 전류밀도, 고 휘도, 낮은 에너지퍼짐 등 많은 장점이 있다. 집속이온빔장치는 주로 표면 분석, 집적 회로의 수정, 마스크 교정(Repair) 및 잘못된 부분의 분석(Failure Analysis) 등에 사용되고 있는데 최근에는 고 분해능의 이온빔 리소그래피와 이온 주입의 기술 및 미세가공 기술 등의 분야에 집중되고 있으며 이를 위해서는 집속이온빔장치의 수렴성(Convergence)을 개선해 나가는 것이 중요하다. 집속이온빔장치의 수렴성은 이온빔의 에너지 퍼짐(Energy Spread)과 각 분포(Angular Distribution)에 많은 영향을 받으며 에너지퍼짐 특성은 색수차에 직접적인 영향을 준다. 수렴성을 개선하기 위해 기존의 에미터(Emitter), 저장소(Reservoir), 추출극(Extractor)으로 제작된 액체금속이온원에 서프레서(Suppressor)라는 새로운 전극을 사용하여 이 전극의 유 무에 따른 각 분포의 변화에 대해 연구하였다.