A Study on Optimal Ventilation Design for Gas Boxes Installed in Semiconductor Manufacturing Equipment Handling Flammable Liquids (인화성 가스를 취급하는 반도체 제조장비에 설치된 가스박스 최적 환기 설계에 대한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Gas
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- v.27 no.1
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- pp.63-69
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- 2023